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標(biāo)題: Wafer的制造 [打印本頁]

作者: 天氣    時(shí)間: 2006-10-31 19:49
標(biāo)題: Wafer的制造
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Wafer的制造涉及到一系列的機(jī)械工藝,。

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Ingot兩頭的錐形末端會(huì)被切掉。剩下的就被磨成圓柱體,,它的直徑就決定了最后的wafers的尺寸,。研磨后就沒有看得見的晶體方向標(biāo)志了。晶體的方向是由實(shí)驗(yàn)確定的,,沿著ingot的某個(gè)邊會(huì)磨出一個(gè)平面,。每個(gè)從它上面切下來的wafer就會(huì)有一個(gè)刻面,或flat,,這樣就明白無誤的指出了晶體的方向,。

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研磨出flat后,制造商就用帶鉆石嘴的鋸子把ingot切成wafers。這道工藝中,,有大于三分之一的寶貴的硅晶體就這樣變成了沒用的粉塵。由于要經(jīng)過切割工藝,,wafers的表面都是刮痕,。由于集成電路的微小的尺寸要求特別光滑的表面,因此wafer的一面必須被拋光,。這道工藝開始于機(jī)械研磨結(jié)束于化學(xué)研磨,。最終像鏡子一樣亮的表面是暗灰色的并發(fā)出硅特有的接近金屬的光澤。


作者: ftghnj    時(shí)間: 2006-11-8 23:39
標(biāo)題: Re: Wafer的制造
“沿著ingot的某個(gè)邊會(huì)磨出一個(gè)平面”,,有的是磨兩個(gè)平面,,看具體是100,111,。,。還有摻雜類型(P型orN型)和濃度;現(xiàn)在最先進(jìn)10英寸,,12英寸的已經(jīng)不是磨平面的,,而是磨小凹操來標(biāo)志。7 r4 H- i" y$ a( }2 U& I





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