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標題: 一種硅片傳輸機械手 [打印本頁]
作者: 丹楓911    時間: 2013-5-30 20:28
標題: 一種硅片傳輸機械手
種應用于半導體設備上的硅片傳輸機械手
作者: gaolaodajiayou    時間: 2013-5-30 22:13
看的不是很清楚,，半導體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動,。
作者: 長江漂流    時間: 2013-5-30 22:16
是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧,。
作者: WAST1989    時間: 2013-5-30 22:42
gaolaodajiayou 發(fā)表于 2013-5-30 22:13   l  s8 a0 h4 F9 d+ }& b, R# G
看的不是很清楚，半導體行業(yè)真空用的很普遍,，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動,。

6 e$ ~  k: t5 ?7 n+ K斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理,，也是控制氣量嗎,？# m* v/ W4 _! D4 y  s
作者: xmdesign    時間: 2013-5-31 07:14
WAST1989 發(fā)表于 2013-5-30 22:42
1 j, M1 ?3 w" s9 U斗膽問大俠，懸浮移動是什么原理,，也是控制氣量嗎？

% d1 [5 T9 @1 G: o4 q. C* v: G用的是中學物理實驗的氣懸浮方式,，在傳動展路過過一臺成品機器的展位,，可以控制 前、后,、左,、右懸浮飄移
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作者: 931673326    時間: 2013-5-31 21:20
看看
作者: 天氣    時間: 2015-6-17 22:49
感覺稍顯笨重。,。,。
作者: bitter007    時間: 2016-7-19 16:59
xmdesign 發(fā)表于 2013-5-31 07:14* h+ N8 K6 X7 V) Y) V
用的是中學物理實驗的氣懸浮方式，在傳動展路過過一臺成品機器的展位,，可以控制 前,、后、左,、右懸浮飄移
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9 l0 n2 P/ z% T* z% [& X展會上見過磁懸浮傳動的, ?; n/ [4 D$ A- C. L




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