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標(biāo)題: 一個(gè)用于半導(dǎo)體行業(yè)的清洗方案，社友幫我看看可行嗎 [打印本頁(yè)]
作者: 丹楓911    時(shí)間: 2014-5-25 21:15
標(biāo)題: 一個(gè)用于半導(dǎo)體行業(yè)的清洗方案,，社友幫我看看可行嗎
一個(gè)用于半導(dǎo)體行業(yè)的清洗方案,，用來清洗晶圓片，用高壓水清洗,，伺服電機(jī)帶動(dòng)晶圓片旋轉(zhuǎn),，1000多轉(zhuǎn)每分鐘，晶圓片真空吸附，大家看看主軸旋轉(zhuǎn)這個(gè)結(jié)構(gòu)怎么樣,，基準(zhǔn)板是焊接到機(jī)架上的,，打算焊接后再加工一刀。
作者: 迷茫的維修    時(shí)間: 2014-5-25 21:19
沒看清,，感覺類似立車的主軸
你參考一下
再有就是,，你想得到什么樣的精度
選什么樣的軸承
端跳，經(jīng)跳
需要考慮什么工況,，盤子會(huì)不會(huì)飄,？
純屬瞎猜
作者: 走路empty    時(shí)間: 2014-5-25 23:04
藍(lán)寶石 ？
可以參考 涂膠機(jī) 清洗結(jié)構(gòu)
作者: 亂試佳人    時(shí)間: 2014-5-26 08:31
我看錯(cuò)了,，我以為你要清洗這個(gè)行業(yè)呢,！
作者: 八點(diǎn)半    時(shí)間: 2014-5-26 10:47
就一個(gè)普通轉(zhuǎn)臺(tái)就行啊，也不需要太大的精度吧,！
作者: 丹楓911    時(shí)間: 2014-5-26 22:54
八點(diǎn)半 發(fā)表于 2014-5-26 10:47
就一個(gè)普通轉(zhuǎn)臺(tái)就行啊,，也不需要太大的精度吧！

精度要求不高,，主要?jiǎng)悠胶庖�,，還有真空吸附要效果好
作者: 沉睡的紅楓葉    時(shí)間: 2014-5-27 22:14
值得學(xué)習(xí)
作者: desa2002    時(shí)間: 2014-5-28 08:29
學(xué)習(xí)
作者: 我很愛機(jī)械設(shè)計(jì)    時(shí)間: 2014-5-28 09:21
路過學(xué)習(xí)～



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