硅片超精密磨床的發(fā)展現(xiàn)狀——一篇非常好的論文摘來(lái)給大家

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硅片超精密磨床的發(fā)展現(xiàn)狀
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% d. \0 ^0 S+ `0 `1 r' ?董志剛,， 田業(yè)冰,， 康仁科， 郭東明,， 金洙吉
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4 f" v6 l6 x. z/ ~& K1 e0 J. H, o（大連理工大學(xué)精密與特種加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 遼寧 大連 116024）

% z6 u# B% r; v9 K- l4 V% T　　 摘　 要： 硅片超精密磨床是半導(dǎo)體集成電路（ＩＣ）制造中的關(guān)鍵裝備,，主要應(yīng)用于ＩＣ制程中的硅片制備加工和ＩＣ后道制程中圖形硅片的背面減薄。國(guó)外硅片超精密磨床制造技術(shù)發(fā)展很快,，具有高精度化,、集成化、自動(dòng)化等特點(diǎn),。介紹了超精密磨床在大尺寸（≥φ300 ｍｍ）硅片超精密加工中的應(yīng)用狀況,，詳細(xì)評(píng)述了國(guó)外先進(jìn)硅片超精密磨床的特點(diǎn)，并指出了大尺寸硅片超精密加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì),。
4 p0 I1 d, o5 ~9 k+ ^% }8 B　　關(guān)鍵詞：超精密磨床,；超精密磨削；金剛石砂輪,；硅片,；集成電路（ＩＣ）
- ?* k: J' A/ N1 X- c

Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｓｔａｔｕｓ ｏｆ Ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ Ｍａｃｈｉｎｅ�,。妫铮� Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｗａｆｅｒ
, G+ D4 }% u* q6 [
ＤＯＮＧ Ｚｈｉ－ｇａｎｇ， ＴＩＡＮ Ｙｅ－ｂｉｎｇ,， ＫＡＮＧ Ｒｅｎ－ｋｅ,， ＧＵＯ Ｄｏｎｇ－ｍｉｎ， ＪＩＮ Ｚｈｕ－ｊｉ

（Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｆｏｒ Ｄａｌｉａｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ＆ Ｎｏｎ－ｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌ
4 U/ J8 }  R% A4 O3 pＭａｃｈｉｎｉｎｇ ｏｆ Ｍｉｎｉｓｔｒｙ ｏｆ Ｅｄｕｃａｔｉｏｎ,， Ｄａｌｉａｎ 116024,， Ｃｈｉｎａ）

　　 Ａｂｓｔｒａｃｔ： Ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｍａｃｈｉｎｅ ｉｓ ｏｎｅ ｏｆ ｔｈｅ ｋｅｙ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔｓ ｉｎ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ， ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｍａｉｎｌｙ ｕｓｅｄ ｉｎ ｂｏｔｈ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ ｏｆ ｐｒｉｍａｒｙ ｗａｆｅｒ ａｎｄ ｂａｃｋｓｉｄｅ ｔｈｉｎｎｉｎｇ ｏｆ ｐａｔｔｅｒｎｅｄ ｗａｆｅｒ． Ｔｈｅ ａｄｖａｎｃｅｄ ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｍａｃｈｉｎｅｓ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ ａｎｄ ｈａｖｅ ｆｅａｔｕｒｅｓ ｏｆ ｈｉｇｈ ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ,， ｉｎｔｅｇｒａｔｉｚａｔｉｏｎ ａｎｄ ａｕｔｏｍａｔｉｚａｔｉｏｎ ｅｔｃ． Ｉｎ ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ,， ｔｈｅ ｐｒｅｓｅｎｔ ｓｔａｔｕｓ ｏｆ ｔｈｅ ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｍａｃｈｉｎｅｓ ａｐｐｌｉｅｄ ｉｎ ｌａｒｇｅ ｓｃａｌｅ ｗａｆｅｒ （≥φ300ｍｍ） ａｒｅ ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ， ｔｈｅｉｒ ｆｅａｔｕｒｅｓ ａｒｅ ａｎａｌｙｚｅｄ ｉｎ ｄｅｔａｉｌ,， ａｎｄ ｔｈｅ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｔｒｅｎｄｓ ｏｆ ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｍａｃｈｉｎｉｎｇ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｆｏｒ ｌａｒｇｅ ｓｃａｌｅ ｗａｆｅｒ ａｒｅ ｐｒｅｄｉｃｔｅｄ．
6 F# C6 P/ @2 Y( U* e9 o4 S% Q" T　　 ＫｅｙＷｏｒｄｓ： Ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｍａｃｈｉｎｅ,； Ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｇｒｉｎｄｉｎｇ； Ｄｉａｍｏｎｄ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｗｈｅｅｌ,； Ｓｉｌｉｃｏｎ ｗａｆｅｒｓ,； ＩＣ
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其余見(jiàn)附件
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我在飛

天氣大俠的頭像好酷呀,！
; R3 F; b6 L. F4 y# i好資料收下了，謝謝,！

一劍飄紅

下來(lái)看看,。謝謝樓主！

星火燎原

天氣大俠,！還是你自己的照片好看,！

luyafeng

好東西，得慢慢看,。多知道點(diǎn)好

皓月當(dāng)空

壇子里不知道有沒(méi)有想讀研究生的 郭冬明此人有很多的課題,，如果你認(rèn)為自己的能力足夠強(qiáng)，而且能承受足夠的壓力那可以去體驗(yàn)以下,。如果能力一般那就算了,。

piaoxuegg

好東西，多謝樓主分享,！

samsun185

多謝分享,學(xué)習(xí)一下,增加吹牛的資本

一棍飄

謝謝,，我想看看.....