中國(guó)發(fā)展經(jīng)濟(jì)有兩個(gè)誤導(dǎo)，一個(gè)是只要你規(guī)模大就是好公司，還有一個(gè)只要你賺錢就好,，但實(shí)際上真的是這樣嗎,？什么樣的公司才是好公司,？如何和其他公司競(jìng)爭(zhēng),？
只有這個(gè)辦法可以解決，就是國(guó)家的戰(zhàn)略推動(dòng)和宏觀推動(dòng)，和企業(yè)的自立自強(qiáng)要結(jié)合,。
在本文中尹志堯博士講解的內(nèi)容還涉及半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備,、數(shù)碼產(chǎn)業(yè)格局、中國(guó)制造業(yè)升級(jí)戰(zhàn)略等許多方面,。這篇文章特別長(zhǎng),，但你一定要看完。
一
我下面解釋一下,，我們做半導(dǎo)體芯片設(shè)備也好,，還有其他泛半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備也好，在這個(gè)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈處在一個(gè)什么位置,，解釋一下。
我們做的是大型真空的微觀加工設(shè)備,，它是做半導(dǎo)體芯片或其他微觀器件加工的,。就是現(xiàn)在大家看到的集成電路，大面積顯示屏,，太陽能電池,，發(fā)光二極管，各種傳感器啊等等,。
最近大家討論很熱的叫VR,、AR對(duì)吧？將來大家戴的那個(gè)眼鏡里面有一個(gè)很小的屏幕,，叫Micro ID,，這都是屬于微觀器件的。
我們做的設(shè)備就是加工這些微觀器件的,。
打個(gè)比方吧,，做機(jī)械加工的五軸聯(lián)動(dòng)的加工中心都見過吧，你要去機(jī)械加工廠一個(gè)大型的生產(chǎn)線上,，可能上百臺(tái)的機(jī)器,，最早就是車床、銑床,、刨床,、鉆床、磨床,，后來呢,，就把它都綜合到一起，做在一個(gè)機(jī)床上,，叫五軸聯(lián)動(dòng)加工中心,，或六軸聯(lián)動(dòng)加工中心。它可以加工出各種各樣的機(jī)器零件，看的見,，摸的著,。
和宏觀加工的這個(gè)核心的設(shè)備一樣，我們做的是微觀加工的核心設(shè)備,，用我們的設(shè)備可以做出各種各樣看不見,，摸不著，有奇妙形狀的微小的器件,。這些東西就構(gòu)成了數(shù)碼世界的最基本的器件和原件,。
二
我講宏觀加工和微觀加工的關(guān)系，一般比較喜歡從這里開始講,，這個(gè)話講得長(zhǎng)了哦,！
其實(shí)人類社會(huì)的發(fā)展大概有將近300萬年的歷史，短的說也有200萬年歷史,，就是從猿人開始的,。
大概在兩三百萬年很長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)，人的生產(chǎn)方式是 “狩獵和采摘”,，對(duì)吧,？就是哪里有果子，就到哪里采摘,，哪里有動(dòng)物,，就到哪里去打獵，但是后來到了2萬多年以前就開始有村落住下來了,，就變成 “農(nóng)耕和畜牧”了,。
為什么會(huì)產(chǎn)生這個(gè)變化嗎？為什么人類采摘,、狩獵了200萬年,，突然變成住下來？
其實(shí)有兩個(gè)原因,，一個(gè)原因是人這個(gè)智能動(dòng)物發(fā)展,，把果子采得越來越少，動(dòng)物都打得越來越少,？人卻越來越多,，所以有這個(gè)客觀的需要。從能力上來講呢,，比如人們打的動(dòng)物多了,，當(dāng)時(shí)吃不了，就放一些地方圈起來了,，就發(fā)現(xiàn)小東西生出來了,，人們就觀察到這種現(xiàn)象,，公母的在一塊生小的，那我們就養(yǎng)著吧,，我們就不要出去打,，對(duì)吧？這是人類能力的發(fā)展,。
從需求來講,，就是外面動(dòng)物越來越少，可被采摘的果子也越來越少,，原來到哪去摘果子吃了,，拿來就可以吃。但是吃得差不多了以后,，需要的不夠了,，再一個(gè)呢就是采摘能力多了，比如一些吃不完了就放著,，因?yàn)榈舻厣祥L(zhǎng)出芽來了,，發(fā)現(xiàn)這可以種，自然而然的,，這個(gè)幾萬年的演變就變成了大家知道可以種植了，也可以畜牧了,！而且要蓋了房子,，有了屋的話，也不用一天到晚風(fēng)餐露宿了,。所以人類就走到第二個(gè)階段,，生產(chǎn)方式就變成了農(nóng)業(yè)和畜牧，對(duì)不對(duì),？這個(gè)時(shí)間大概就是兩萬年,。
那后來到了500到600年前，由于人們智力的發(fā)展和分工的原因,，就慢慢形成一個(gè)新的工業(yè)革命,。這個(gè)工業(yè)革命的本質(zhì)，你們想是什么,？傳統(tǒng)工業(yè)從英國(guó)開始,，采用機(jī)器。對(duì),，就是做一個(gè)機(jī)器代替人手,。原來都是手工的，后來就發(fā)明了機(jī)器,，用機(jī)器加工來代替人,，這個(gè)就形成了一個(gè)宏觀加工為核心的傳統(tǒng)工業(yè),。
這個(gè)工業(yè)持續(xù)了500多年，這個(gè)革命有三個(gè)基本的組成：宏觀材料（鋼鐵,，水泥,，塑料，纖維等等）,，宏觀加工的母機(jī)(車床,，銑床，鉆床,，磨床等等) 和驅(qū)動(dòng)機(jī)器的能源（蒸汽機(jī),，內(nèi)燃機(jī)，發(fā)電機(jī),，電動(dòng)機(jī)等等）,。
這個(gè)革命徹底的改變了人類生活和生產(chǎn)的方式。到了1940年到1950年,，又開始了第二代的工業(yè)革命,。
這個(gè)革命是從硅谷開始發(fā)展起來的。這個(gè)工業(yè)革命的本質(zhì)是什么,？如果說前一個(gè)工業(yè)革命是做個(gè)機(jī)器代替人手,，那么這個(gè)革命實(shí)際上是造個(gè)電腦代替人腦。
作為電腦基礎(chǔ)的半導(dǎo)體的集成電路是一種微小的器件,，它需要輸入電信號(hào),，而輸出的也是電信號(hào)，或者是數(shù)碼信號(hào)變成模擬信號(hào),，模擬信號(hào)變數(shù)碼信號(hào)等等,。但是后來呢，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不止這些了,。
三
微觀器件擴(kuò)展到為了人的各種感官的需要而產(chǎn)生,。
輸入電信號(hào)變成光信號(hào)這是發(fā)光二極管，輸入光信號(hào)變成電信號(hào)是太陽能電池,，輸入聲信號(hào)變成電信號(hào)是微麥克風(fēng),，輸入電信號(hào)變成聲信號(hào)是微揚(yáng)聲器，對(duì)吧,？所以我們現(xiàn)在講的這個(gè)第二代工業(yè)革命,，就做各種看不見摸不著的微觀器件，它有非常奇妙的功能,，它不但可以代替人腦,，可以代替人身上各種感官，像觸覺,，味覺,，聽覺,，對(duì)不對(duì)？
比如無人駕駛的汽車全靠這些叫做MEMS的微觀器件,。這個(gè)做集成電路及微器件來代替人的大腦,，或者代替人的所有感官，這就形成了第二代工業(yè)革命,，這個(gè)工業(yè)革命的核心是什么,？微觀加工。
前一代工業(yè)革命是宏觀加工,，有了材料,，有工作母機(jī)，有了動(dòng)力,，就可以做出輪船,，飛機(jī)，大炮,，世界最長(zhǎng)的橋,，最高的樓，最快的高鐵等等,，這都屬于第一代工業(yè)革命的范疇,。第二代工業(yè)革命也需要微觀材料，微觀加工母機(jī)和新能源包括節(jié)能減排,。這三個(gè)方面都需要設(shè)備支撐,。
這個(gè)工業(yè)的革命催生了一個(gè)全新的數(shù)碼產(chǎn)業(yè)，這個(gè)數(shù)碼產(chǎn)業(yè),，最上層是網(wǎng)絡(luò)，電商,，傳媒,，大數(shù)據(jù)和云計(jì)算等等，這個(gè)產(chǎn)業(yè)有十幾萬億美元的年產(chǎn)值,；支撐這個(gè)產(chǎn)業(yè)的下一層是數(shù)碼電子系統(tǒng),，小到電子玩具，手機(jī),，電腦,，大到超高速計(jì)算機(jī)，全球互聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng),。
這個(gè)層次的年產(chǎn)值至少有幾萬億美元,。而支撐這個(gè)電子系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的下一層是半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)和制造產(chǎn)業(yè)。
這個(gè)芯片的最近幾年的年產(chǎn)值達(dá)到4000億美元,。而再往下看,，芯片產(chǎn)業(yè)又是建筑在半導(dǎo)體設(shè)備的基礎(chǔ)上,。我國(guó)有一句俗話叫：“工欲善其事，必先利其器”,。沒有能加工出人頭發(fā)絲幾千分之一到上萬分之一尺度的微觀加工設(shè)備,，就造不出芯片。
這個(gè)數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的四個(gè)層次,，可以用一個(gè)倒置的三角圖像來表示,。
從尺度上講，目前全世界一年做出的微觀加工的新建設(shè)備,，就講納米加工相關(guān)的設(shè)備,，設(shè)備還有后端封裝的和其他做太陽能設(shè)備啊等，那個(gè)市場(chǎng)也很大,。
但是我現(xiàn)在講的只是前段設(shè)備,，就是做納米加工，做芯片和傳感器的,，大概全世界每年采購的設(shè)備是400億美金,，它支撐了芯片制造產(chǎn)業(yè)，芯片制造全年的產(chǎn)值大概4000億,，有十倍的放大作用,，然后有了4000億的芯片，可以構(gòu)成各種各樣的電子系統(tǒng),，是幾萬億的這樣一個(gè)產(chǎn)值,。
有了這個(gè)電子系統(tǒng)，又支撐了幾十萬億的軟件電商傳媒大數(shù)據(jù),。馬云谷歌,，Google和Facebook就是這一層，而且都是上千億的大公司,。
但是不要忘記它的基礎(chǔ),，最核心的是能夠做出微觀器件的微觀加工設(shè)備。中國(guó)有句老話, 說 “工欲善其事必先利其器”,。如果你沒那個(gè)微觀加工的機(jī)器那什么東西都沒有,，從這一點(diǎn)上，確實(shí)是重要的,。
那我再講下面這個(gè)故事幫助理解它的重要性,。我在70年代后期在北大讀研究生，北大有一個(gè)全國(guó)最先進(jìn)的計(jì)算機(jī),，是2棟5層的大樓,，里面全部是電子管，大概是128K容量的計(jì)算機(jī),，估計(jì)有12萬多個(gè)電子管,。
一個(gè)電子管幾個(gè)厘米這么大,，我把他叫厘米級(jí)的計(jì)算機(jī)，在美國(guó)這樣的計(jì)算機(jī)在60年代就有了,。
十年以后呢,，到1985年，我已經(jīng)在硅谷英特爾中心研究開發(fā)部做芯片了,。當(dāng)時(shí)我們把128K的這個(gè)容量已經(jīng)做到一個(gè)指甲蓋大小的芯片上,。所以從一個(gè)2棟的五層大樓做到一個(gè)指甲蓋，我粗算了一下,，就是人類加工一個(gè)微器件的面積縮小100萬倍,。
后來，再經(jīng)過30年到2015年,，東芝首先宣布做出128G的flash memory就是閃存器U盤,。那已經(jīng)到納米數(shù)量級(jí)了，這30年又把人類微觀加工面積縮小了100萬倍,。所以這50年來我們所做的努力,，人類微觀器件加工的面積縮小了一萬億倍！
我們來看每人的手機(jī),，這個(gè)手機(jī)要回到四五十年前,，如果變成電子管計(jì)算機(jī)，你知道會(huì)有多少棟樓那么大嗎,？相當(dāng)于 200萬棟樓! 200萬棟五層大樓里面全部充滿了電子管,，奇妙吧！
那手機(jī)怎么能做成那么小呢,？手機(jī)里的十幾個(gè)芯片,，是用十大類設(shè)備聯(lián)合作戰(zhàn)把它做出來，這其中最重要的三大類：第一是光刻機(jī),，第二是等離子刻蝕機(jī),，第三是鋪上材料薄膜設(shè)備，三種設(shè)備就構(gòu)成了這個(gè)微觀加工的最核心的東西,。
簡(jiǎn)單來講，這個(gè)加工過程就像蓋房子,，一層一層的蓋�,，F(xiàn)在蓋多少層？差不多60層,，要加工1000個(gè)步驟,！這高樓的深孔或柱子的尺度，就我們現(xiàn)在說的14納米啊,、70納米啊,、7納米等等,。
大家知道人的頭發(fā)絲平均直徑是0.07毫米，7納米是人頭發(fā)絲的一萬分之一,。在這樣的尺度上加工是非常困難的,。其中關(guān)鍵就是靠光刻機(jī)和等離子體刻蝕機(jī)，兩臺(tái)機(jī)器精雕細(xì)刻,。
我本人就是做了34年的等離子刻蝕機(jī)的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的工作,，在美國(guó)的硅谷做了20年，回國(guó)也做了14年了,，就一直做等離子刻蝕機(jī),。我們還做化學(xué)薄膜設(shè)備。我們不會(huì)做光刻機(jī),，光刻機(jī)是完全不同的領(lǐng)域,。
四
現(xiàn)在要做光刻機(jī)，必須用德國(guó)蔡司做的鏡頭或反光碗,。蔡司是個(gè)百年老店,，而且德國(guó)的精密加工是世界第一的。
但實(shí)際上這個(gè)光刻機(jī)不是德國(guó)人做的,，它的鏡頭和反光碗是德國(guó)人提供的,。然后荷蘭的ASML做出整個(gè)的光刻機(jī)。
目前在大生產(chǎn)上的浸沒式光刻機(jī)是用鏡頭來做光刻的,，一個(gè)30多片鏡頭的鏡頭組價(jià)值5000萬美金以上,。最新的深紫外光刻機(jī)已經(jīng)不用鏡頭了，用的是反光碗,，有十幾個(gè)反光碗,，把一個(gè)激光打出來打在金屬液滴上，通過多次聚焦變成一個(gè)平行光,，來做曝光的,。
這個(gè)反光碗的加工精度，有人跟我講,，是相當(dāng)于德國(guó)國(guó)土的面積,，這么大面積要平整到正負(fù)一毫米，在這樣的精度下才能做出那樣準(zhǔn)確的反光碗,。
所以這是一個(gè)非常難的技術(shù),，我們做的呢，就是次于光刻機(jī)最難做的等離子刻蝕機(jī),，就是要精雕細(xì)刻,，等離子刻蝕機(jī)的復(fù)雜度是這樣，恐怕有上千個(gè)刻蝕的工藝過程要開發(fā)出來，刻不同的材料,，不同的形狀,。有的是刻存儲(chǔ)器件，有的刻邏輯器件的,，有的是刻傳感器的,，所有的設(shè)計(jì)都不一樣，每一個(gè)設(shè)計(jì)每一種具體刻蝕應(yīng)用都有它的挑戰(zhàn)性,�,？涛g機(jī)要刻出三維四維，很復(fù)雜的形狀,，在工藝開發(fā)上是最復(fù)雜的,。
一個(gè)目前世界最先進(jìn)的生產(chǎn)線，一個(gè)月可以生產(chǎn)5萬片到6萬片12英寸的晶圓片,，然后用金剛石鋸切割成幾百個(gè)小片,，經(jīng)過封裝就造出芯片了。
現(xiàn)代的芯片生產(chǎn)線全部是自動(dòng)化的,，而且智能化的,，在同一條生產(chǎn)線上可以跑上百種不同的產(chǎn)品，不同的設(shè)計(jì),，它都是完全可以智能識(shí)別的,。
這里我順便說一下，所謂德國(guó)工業(yè)4.0提出了量體裁衣的智能化生產(chǎn),，其實(shí)在集成電路產(chǎn)業(yè),，十幾年前就已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了。最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)就是量體裁衣的,，全部是智能控制的,。
做半導(dǎo)體設(shè)備需要的這個(gè)學(xué)科兵種我列了一下，有50多個(gè)學(xué)科,，都牽扯到才能把這樣的一個(gè)精確的微觀加工的設(shè)備做起來,。
它的加工精度是這樣。右邊那個(gè)SEM呢就是我們用我們開發(fā)的刻蝕機(jī)鉆的深孔,，就像個(gè)鉆床鉆的孔一樣,。這個(gè)孔并不小就是50納米，但是他的深寬比差不多40:1,，下一代要做到60:1的時(shí)候,，可以想象就像頭發(fā)絲一樣。如果你要是機(jī)械鉆床,，精鉆宏觀加工的孔，你鉆過了20:1,，鉆頭很容易做斷,，鉆下去,，卡出來斷掉。我們現(xiàn)在刻蝕機(jī)可以鉆這么深的孔,，而且比它還要深,。而且要求上面的直徑，如果是50納米的話,，下面直徑不能小于45納米,，不能小于它的1/10，如果小于就不合格,。因?yàn)檫@個(gè)孔干什么用的呢,，一個(gè)孔，就是計(jì)算機(jī)的一個(gè)記憶單元叫bit,。
這里面做一個(gè)金屬導(dǎo)管一樣的,，充了電就是一，放了電就是零,，就是計(jì)算機(jī)的1010,，它有一個(gè)讀數(shù)器，去讀哪個(gè)孔是一哪個(gè)孔是零,，這樣就編碼了,。
那我這個(gè)機(jī)器一年要鉆多少孔？10的18次方,。100萬萬億個(gè)孔,，每個(gè)孔都要鉆到準(zhǔn)確度是人頭發(fā)絲大概1/5000到1萬分之一。現(xiàn)在我們前沿做到7納米什么概念,？人的頭發(fā)是平均是0.07毫米,，你可以在網(wǎng)上查是0.06到0.09毫米，之間有的粗有的細(xì),，平均0.07毫米,。所以7納米的概念是人頭發(fā)絲1萬分之一，我們就等于在人頭發(fā)絲1萬分之一這樣的基礎(chǔ)上加工,，它的加工精度和重復(fù)要做到10萬分之一,。
而且你要雕刻出100萬萬億個(gè)孔，每個(gè)孔都要精確到頭發(fā)絲的10萬分之一,。可以想象米�,？套郑阒浪阶罡叩墓そ吃谝粋�(gè)米粒上面能刻多少字,，我看過,，最多是250多個(gè)，現(xiàn)在我可以在米粒那么大的面積，可以刻1億個(gè)中文字,，甚至可能會(huì)刻到10億個(gè)中文字,。如果你用超高的電子顯微鏡看，真的看到就是中文字,，很漂亮的,。
這是20年前芯片一種比較簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，現(xiàn)在比較復(fù)雜了,，但是就拿這個(gè)例子,，你可以看到黃的那個(gè)都是銅，下面很多柱子,，灰色是鎢,，下面有粉色的，下面還有灰色的,，都是下面的結(jié)構(gòu),。
我們先講一下這個(gè)東西怎么做出來。這里一個(gè)橋,，那里像城市街道,，還有像高速公路，這些怎么做的,？剛才我們說了,，在硅底物上先鋪一層薄膜，然后上面甩一層光組,，光組是什么東西,？是一種聚合物，見了光它就分解,，然后光刻機(jī)就是曝光,，上面就做一個(gè)圓孔的模板，然后用光刻機(jī)這個(gè)光線照過去,，把它縮小到4:1到5:1,，就這個(gè)孔可以縮小，然后在底物上曝光后那部分光敏的光刻膠就分解了,。你洗掉了就出來一個(gè)圓洞,。然后呢用我們的等離子刻蝕，是一種等離子體,，它有化學(xué)活性,，可以加不同的氣體，不同的活性,，不同的材料有選擇性,，這樣刻下去以后,，薄膜就出來一個(gè)圓洞，然后下一步用強(qiáng)力的除膠機(jī)把沒有曝光的光刻膠也除掉,，這樣就等于在我鋪的薄膜上出了一個(gè)洞,，然后我上面放一個(gè)銅板，一次攻擊一個(gè)銅板,，把銅的原子轟擊到表面層，很薄的一層,，就幾層原子,。把這個(gè)硅片上都是銅膜的，放在電解槽里面,，通上負(fù)電去鍍銅,，銅就堆積起來，多鍍一點(diǎn)就滿出來了,，從那孔出來,，就平了這一層。然后化學(xué)機(jī)械拋光,，磨床一樣磨掉,，這里就出了一個(gè)銅柱。
如果你相鄰的兩個(gè)銅柱做好了,，下一層怎么做呢,？我再鋪一層薄膜，上面我再重復(fù)這個(gè)過程,，重復(fù)過程的時(shí)候呢,，這就不是一個(gè)圓孔，是架在圓孔上的一個(gè)溝,，下一層的光膠去掉就是一個(gè)溝槽,，然后把這個(gè)溝槽再刻下去，刻到第二次鋪上的材料里,，然后再經(jīng)過鍍銅和磨光,，上面出了一個(gè)銅的棒，就是一條線一樣,。它正好架在剛才你做的兩個(gè)柱,，這就是第二層做好了。你可以知道平均每一層大概15個(gè)步驟,。那你要做60層,，60×15，接近一千次,。就是這個(gè)芯片,，像手機(jī)里的芯片,，都要經(jīng)過一千次的加工。
所以基層線路要把很多很多步驟給它集成起來,，是大家集合的努力,。
今天要特別總結(jié)到一個(gè)問題上，不要強(qiáng)調(diào)個(gè)人的作用,，現(xiàn)在我們的宣傳老是突出個(gè)人的作用,，是很不好的做法。其實(shí)這個(gè)事不是一個(gè)人能做出來的,，是整個(gè)集體,，而且是全世界所有的精英一起來努力，經(jīng)過50年才把它做出來,。
如果哪個(gè)國(guó)家想把它據(jù)為己有是不切實(shí)際的,，也是做不到的。美國(guó)在這個(gè)芯片技術(shù)的開發(fā)上,，確實(shí)起了領(lǐng)先的作用,，但是后來30年來，這個(gè)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)一直向亞洲移動(dòng),，現(xiàn)在75%以上的芯片生產(chǎn)線都在亞洲,，發(fā)明創(chuàng)造也好，生產(chǎn)規(guī)模也好,，多數(shù)都在亞洲,。
就是在美國(guó)建一條芯片生產(chǎn)線，也要大量購買其他國(guó)家的設(shè)備和材料,，也不是一個(gè)國(guó)家可以獨(dú)立搞起來的,。
我們中國(guó)也不要關(guān)起門自己干，只靠獨(dú)立自主,，自力更生是不可能發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的,。集成線路是一個(gè)全世界的集合的努力，是大家的財(cái)富,。
我在應(yīng)用材料公司做了14年,，這個(gè)公司在美國(guó)硅谷有66個(gè)國(guó)家的精英通力合作，開發(fā)了一個(gè)又一個(gè)復(fù)雜的設(shè)備,。
剛才說沒有光刻機(jī)就沒有等離子體刻蝕機(jī)的微觀加工,，那么肯定光刻是最重要的。
但是最近從14納米以下的情況有新的變化,。就是光刻機(jī)曝光的時(shí)候,，出來的不是一個(gè)很直的深孔或深溝，而是變成彎彎曲曲的形狀,，是和光的波長(zhǎng)有關(guān)系,。
現(xiàn)在我們做的尺度和波長(zhǎng)幾乎是同樣數(shù)量級(jí)的,，光刻出來會(huì)是彎彎曲曲的，因?yàn)橛袀�(gè)駐波效應(yīng),，一個(gè)光波打到表面反射,，如果在某種特定情況下，他互相衍射形成波紋,，然后你刻出來的就不對(duì),，就不是這個(gè)直筒了，就沒法用,。
實(shí)際上,，大量生產(chǎn)的光刻機(jī)，只能刻出40納米的線條,。最新的光刻機(jī)叫深紫外的光刻機(jī)，EUV,，就是ASML開發(fā)了新的,，現(xiàn)在沒有完全大量生產(chǎn)，正在進(jìn)入生產(chǎn),。
目前最好也做到20納米,。那我為什么說14納米是怎么回事呢？其實(shí)靠等離子刻蝕機(jī)和薄膜的組合拳把它做出來,，不是靠光刻做的,。如果通過光刻機(jī)刻出一個(gè)40納米的模板，然后按這個(gè)模板刻下去,，刻出一個(gè)墻,，你理解它是一個(gè)重剖面。
這個(gè)墻是氧化硅的材料,，是40納米,，這是通過光刻翻版出來，然后呢我在上面鋪一層氮化硅薄膜,，鋪的時(shí)間控制好,，這個(gè)側(cè)面的墻是20納米，這樣的話呢,，第二次用等離子刻蝕機(jī)刻,，有方向性地把上面的蓋去掉，把底部去掉,，就出來兩個(gè)叫邊墻,。這邊墻的厚度就是20納米，這是刻的氮化物,�,？痰镄枰眠x擇性的氣體刻,。
然后刻完以后第三次刻呢，我們換一些氣體專門刻氧化物,，把氧化物刻掉,，這個(gè)墻就留下來了。所以一個(gè)40納米的微觀結(jié)構(gòu)就翻成兩個(gè)20納米的結(jié)構(gòu)了,，這個(gè)叫二重模版,。
還有進(jìn)一步的四層模板技術(shù)，在20納米的氮化物墻上,，再鋪一個(gè)10納米的氧化物的膜,，我第四次刻的時(shí)候把上頭蓋去掉，底去掉以后,，就出了四個(gè)邊墻,。 然后再用不同的化學(xué)氣體，把中間的核刻掉,，就變成了四個(gè)10納米的邊墻,。20納米以下是這樣做出來。這里就沒有光刻的事,，就是等離子與薄膜組合拳,，把它翻版就越翻越小。
所以目前來講呢,，這個(gè)14納米以后,，你可以看到刻蝕機(jī)和薄膜的市場(chǎng)漲得非常快,，因?yàn)楸緛硎?:1:1的步驟,，現(xiàn)在變成1:3:5了。一次光靠大概三次薄膜,，要五次等離子刻蝕,。所以等離子體刻蝕機(jī)的市場(chǎng)增長(zhǎng)最快，接下來薄膜設(shè)備增長(zhǎng)的也很快,。
現(xiàn)在因?yàn)楣庾柙阶鲈奖≡叫�,，它的�?zhǔn)確度差了。所以在光刻膠的基礎(chǔ)上,，底下做成雙層模板或者三層模板,，那種比較復(fù)雜的叫模板的技術(shù)。這樣的話呢,，又增加了好多次的刻蝕,，先要把模板刻好，才能刻下面的東西,，所以等離子刻蝕機(jī)越來越多,，等離子刻蝕機(jī)的步驟從14納米到5納米增加了三倍,。
但是光刻雖然步驟有限，但每臺(tái)機(jī)器越來越貴�,，F(xiàn)在一臺(tái)光刻機(jī),，賣到兩億美元了，就是那EUV最貴的,，我們的機(jī)器大概賣到400萬美金一臺(tái),。
五
當(dāng)然實(shí)際的這個(gè)過程不像我說的那么簡(jiǎn)單，我剛才只是示意,，二重模板,，是將一個(gè)40納米的結(jié)構(gòu)，通過刻蝕和薄膜的組合拳,，翻版成兩個(gè)20納米的結(jié)構(gòu),。四重模板，將進(jìn)一步加工出四個(gè)10納米的結(jié)構(gòu),。
總的步驟,，到了5納米的時(shí)候，最新的數(shù)據(jù)是2000個(gè)步驟,，才能做出來，原來是1000多個(gè)步驟,。
但是這樣2000步的步驟中,，加工的步驟，大概1000多步,。另外八九百步呢就是測(cè)試,，你每次做完都要測(cè)，每次測(cè)試也需要設(shè)備,，雖然測(cè)試不影響你加工的結(jié)果,。加在一塊呢，2000次,，夠復(fù)雜的,。
這里有個(gè)問題呢就是關(guān)于合格率的問題，這是我們最大的困擾,。什么叫合格率,，簡(jiǎn)單的數(shù)學(xué)。
如果某一個(gè)步驟是99%合格率,，剛才說刻一個(gè)孔,，下面底部的直徑不能小于頂端直徑的十分之一，如果小了就不合格,。如果每個(gè)步驟合格率達(dá)到99%的話,，加工一千次下來合格率就是零了,。
如果每次合格率99.9%，那0.999的一千次方變成52%,，這也不行,，一個(gè)芯片生產(chǎn)公司要做到合格率80%到85%以上才賺錢，合格率80%以下就賠錢了,。
每一步的合格率一定要做到99.99%,，一千次后才能達(dá)到90%。現(xiàn)在最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)線可以做到92% 的合格率,，也就是反過來講,，一千多步，每一步都要99.99%,，也就是一臺(tái)刻蝕機(jī)每年要刻100萬萬億個(gè)孔,，每個(gè)孔都要刻準(zhǔn)到頭發(fā)絲的1萬分之一到10萬分之一這么準(zhǔn)，有點(diǎn)不可想象,。
剛才講那個(gè)倒三角形是整個(gè)數(shù)碼世界的圖像,，我把它翻過來去做分析。就是在國(guó)際上有多少公司能夠做這樣的東西,。
軟件和電商這種產(chǎn)業(yè),，大到阿里巴巴，小到一個(gè)人在家里就可以開公司,，就可以做軟件賣,，對(duì)吧？美國(guó)中國(guó)很多人都在家賣的,。所以全球有多少公司沒人數(shù)過,，大概幾百萬個(gè)公司都可以做軟件。
但是全世界做電子系統(tǒng),，我估計(jì)有十幾萬到幾十萬公司,，包括做電子玩具的，大的像華為之類,。那全世界會(huì)芯片制造的公司有多少個(gè),？能夠數(shù)得上的就一百多公司，其中真正好的就25個(gè)公司,。華力和中芯國(guó)際屬于全世界前25家,。
芯片制造前三家，英特爾臺(tái)積電三星,，三星今年的設(shè)備投資建廠投資就是240億美元,。一個(gè)公司比中國(guó)全國(guó)的投資還多，就非常壟斷了。
再往下數(shù),，臺(tái)灣有一家聯(lián)電,，韓國(guó)有海力士，日本原來是有十幾個(gè)公司,，現(xiàn)在數(shù)得上前8家只有東芝了,。美國(guó)還有兩家，一家叫Micron美光,，原來專門做memory的,，現(xiàn)在英特爾決定把memory全在中國(guó)做，在大連非常大的投資,。
英特爾早期就是做memory的,，我84年去英特爾中心研發(fā)部就做存儲(chǔ)器EPROM的。后來英特爾集中力量做邏輯器件的CPU了,。然后還有一個(gè)格羅方德,，是中東的阿布達(dá)比的投資商，在美國(guó)建立一個(gè)叫全球晶圓,，國(guó)際上就這八家,。
現(xiàn)在越來越壟斷，這個(gè)八家就生產(chǎn),，全世界大概80%以上的晶圓,。那看設(shè)備公司，就更集中了,。設(shè)備公司可以數(shù)得上大概就30個(gè),，能做納米技術(shù)。
這里邊十個(gè)主要公司分成三類,，一類呢就是光刻機(jī),，就ASML一家,。然后一類呢就是工藝設(shè)備,，就是我們這類設(shè)備，就是應(yīng)用材料公司,，Lam Research,，美國(guó)兩家，日本東京電子,，三家,。還一類就是做測(cè)試設(shè)備的公司，叫KLA-Tencor,，占全世界50%以上的測(cè)試設(shè)備,。
應(yīng)用材料公司是占全世界50%以上工藝設(shè)備，這樣一個(gè)局面。應(yīng)用材料公司和Lam Research,、東京電子這三家做工藝設(shè)備的公司都是做刻蝕機(jī)起家,。
為什么？因?yàn)榭涛g機(jī)是工藝設(shè)備最難做的一個(gè),，如果你這公司只能做薄膜,，長(zhǎng)不大，你公司必須首先刻蝕機(jī)站住腳,，再去做薄膜,，或者再去收購一些國(guó)外的公司，就全了,，然后再去做其他設(shè)備,，一共有十類設(shè)備，除了光刻除了測(cè)試設(shè)備,，還有七八類可以做,。像剛才拋光機(jī)也是一種，還有鍍銅,、離子濺射,、物理薄膜。
六
我在84年進(jìn)入英特爾中心研究開發(fā)部時(shí),，這些設(shè)備公司很小,，小到十幾個(gè)人，大到一兩百,，兩三百人,。
剛剛開始從濕法刻蝕，發(fā)展到真空的干法刻蝕,，正好在轉(zhuǎn)換的時(shí)候,，我在那做了兩年以后，因?yàn)槲业呐d趣在做設(shè)備,，我的專長(zhǎng)是做化學(xué)物理反應(yīng)器的,，在國(guó)內(nèi)已經(jīng)做了十年了。
在英特爾我負(fù)責(zé)測(cè)試LamResearch做的介質(zhì)刻蝕機(jī),，因?yàn)樵缙诘膯纹涛g機(jī)很不成熟,，我給Lam的設(shè)備提了很多意見，后來他們就把我拉去做刻蝕機(jī),，從86年加盟后,，開發(fā)了彩虹號(hào)電容性介質(zhì)等離子體刻蝕機(jī)，也開始了電感性等離子體源ICP技術(shù)的開發(fā),，五年后Lam成為國(guó)際最大的刻蝕機(jī)公司,，占了國(guó)際市場(chǎng)40%以上。
當(dāng)時(shí)有30多個(gè)公司競(jìng)爭(zhēng)，結(jié)果Lam就脫穎而出了,。后來Lam去收購做薄膜的公司,，但當(dāng)時(shí)公司在管理上出了很多問題。本來應(yīng)用材料公司做老一代刻蝕機(jī),，后來又做不過Lam,。我又被應(yīng)用材料公司拉去，在應(yīng)材工作了13年多,，幫助應(yīng)用材料做出了幾種成功的刻蝕機(jī),，使應(yīng)材的刻蝕機(jī)業(yè)務(wù)做到世界最大，占了國(guó)際市場(chǎng)40%多,。
我在Lam的時(shí)候呢,，和東京電子合作，當(dāng)時(shí)他們是一個(gè)銷售公司,，不會(huì)做設(shè)備,，只會(huì)做銷售服務(wù)的。后來Lam把他們教會(huì)了做刻蝕機(jī),。我們現(xiàn)在有不少人是從這三個(gè)公司出來的,。
剛才講的這個(gè)市場(chǎng)是半導(dǎo)體前端設(shè)備，不算后端封裝,，就芯片加工設(shè)備的前端,，基本上三個(gè)階段。
80年代起步,，漲得比較快,，到2000年的時(shí)候已經(jīng)進(jìn)入300億水平了。但是后來十來年呢沒有太長(zhǎng)足的發(fā)展,，有點(diǎn)上下波動(dòng),。
到了2015到2016年以后，又在迅速的增長(zhǎng),。
最近幾年一直看好,，今年可以做到450億，到了2025年預(yù)計(jì)會(huì)到720億,。原因是做芯片的步驟越來越復(fù)雜,，而且設(shè)備越來越貴,，終端應(yīng)用也是日新月異,。
你看那起起伏伏的，其實(shí)每一次的高潮都是一個(gè)單一產(chǎn)品,，比如2007年高潮是手機(jī),，2000年這個(gè)internet，過去還有PC出來，還有電子表出來,，每一個(gè)產(chǎn)品就形成一個(gè)高潮,。
但是到現(xiàn)在為止，因?yàn)樾酒呀?jīng)進(jìn)到老百姓的生活的所有層面,，包括工業(yè)界所有層面,，所以它更多和經(jīng)濟(jì)發(fā)展就同步了，不是說一個(gè)單一產(chǎn)品出來,，一窩蜂,，所以增長(zhǎng)幅度就降低了。
最近的應(yīng)用越來越多,，所以它發(fā)展速度還是最快,。從技術(shù)的進(jìn)步來講，把最先進(jìn)公司的技術(shù)拿來做個(gè)比較,，大概得出結(jié)論是這樣,，一年半左右就往前走一代。
14納米進(jìn)入大生產(chǎn)的時(shí)間,，平均在2014年底2015年初,。10納米就是在2016年中。7納米是去年進(jìn)入生產(chǎn),，2017年底,。5納米今年夏天進(jìn)入試生產(chǎn)，明年會(huì)大生產(chǎn),。
國(guó)際上的進(jìn)步大概一年半一代,，而中國(guó)呢，目前40納米比較成熟,，28納米還不能算完全成熟,。所以我們和國(guó)際上差三代，現(xiàn)在有更加落后的可能,，因?yàn)閲?guó)際上進(jìn)展太快,。
網(wǎng)上傳的說當(dāng)國(guó)際大腕還在開發(fā)10納米和7納米器件時(shí)，中微已宣布率先搞定5納米技術(shù),。寫這個(gè)文章的人把芯片器件和設(shè)備混淆起來,，為吸引眼球，夸大宣傳,，這種文風(fēng)一定要糾正的,。
我們的設(shè)備性能是很好，可以加工5納米器件,，而且我們有雙臺(tái)機(jī)的設(shè)計(jì),，國(guó)外都是一次加工一片,，我們有一個(gè)很巧妙的設(shè)計(jì)，一次可以加工兩片,，輸出量大,，成本低。
但是只靠刻蝕機(jī)是做不出器件的,。其實(shí)我們不做器件,，我們只做設(shè)備，然后像臺(tái)積電,、中芯國(guó)際買我們的設(shè)備去制造芯片,，要十種不同的設(shè)備混合作戰(zhàn)，當(dāng)然刻蝕機(jī)是除光刻機(jī)以外最關(guān)鍵的設(shè)備,。
臺(tái)積電把我們作為五大等離子體刻蝕設(shè)備廠商之一,，就是應(yīng)用材料、Lam,、東京電子,、我們還有一個(gè)日立的分公司。我們勢(shì)頭非常好,，但是我們的市場(chǎng)占有率還是很有限的,。還要不斷提高5納米刻蝕應(yīng)用的市場(chǎng)占有率。我們的前景會(huì)很好,。
七
我這解釋一下,，幾個(gè)領(lǐng)先的邏輯芯片生產(chǎn)廠家聲稱的10納米或7納米器件，大家計(jì)算方法不一樣,，原來一個(gè)門,，基本的三極管這樣放，給它一直擠,，大概到11納米就不能擠了,。
這樣擠不下去了怎么辦，立起來做,，這個(gè)叫FinFET,，這個(gè)新概念，是在膠州大學(xué)伯克利分校的教授胡正明提出來的,。但實(shí)際上門的長(zhǎng)度還是這么大,，并沒小，只是把它方向變了,，再往下走怎么辦,？把它卷成一個(gè)卷，這個(gè)圈實(shí)際上又小了一點(diǎn),，所以做到14納米以下,，已經(jīng)不是像過去意義上門電路多寬了。
這是他們最領(lǐng)先的技術(shù),，所以他們這樣說,，現(xiàn)在所謂5納米、3納米是一個(gè)虛擬的數(shù)字,。沒有一個(gè)真正的門是5納米的,。但是我們刻的東西確實(shí)有，最小的孔的底部,，差不多你要說10納米,、7納米底部就這么大，還有這個(gè)側(cè)墻,，已經(jīng)做得很薄了,，真正做到甚至三納米都有。
現(xiàn)在有人說摩爾定律會(huì)失效,，這個(gè)我澄清一下,，我是中國(guó)大概唯一一個(gè)有幸在80年代在英特爾工作時(shí)和摩爾和他太太吃過晚飯的人，我們聊了兩個(gè)小時(shí),。
我是中國(guó)留學(xué)生,，最早進(jìn)入英特爾的，應(yīng)該說第二個(gè)吧,，有一次中國(guó)代表團(tuán)來了以后,，摩爾出來見，就說我們公司有沒有大陸來的留學(xué)生啊,，就把我找去了,。
摩爾定律其實(shí)不是一個(gè)嚴(yán)格的定律，摩爾定律,，只是一種設(shè)想,。而且開始講的不是18個(gè)月，原來他說是兩年,，后來又有人說是一年,，他還更正了一次，來回來去,。
后來人們傳的就是,，摩爾講的是十八個(gè)月，有兩件事發(fā)生：第一個(gè)是堆積的擠壓程度增加了一倍,，它的運(yùn)算速度提高一倍,。后來他還出了澄清說memory和logic不一樣。所以我不認(rèn)為摩爾定律是一個(gè)定律,，它只是一種說法,，而且這個(gè)說法后來和實(shí)際的發(fā)展速度很接近,。說摩爾定律實(shí)際是一種商業(yè)炒作。人們總是希望拿一個(gè)東西來炒作,，納米技術(shù)也一樣,，原子分子組成我們的現(xiàn)實(shí)世界，為什么要叫納米技術(shù)和微米技術(shù),？
八
中國(guó)現(xiàn)在要產(chǎn)業(yè)升級(jí),，從制造大國(guó)到制造強(qiáng)國(guó)，你仔細(xì)想一想,，我們要做的事太多了,，但是其實(shí)核心的東西并不多。怎么樣才能成為一個(gè)制造強(qiáng)國(guó),？
我的想法,，就是在不多的關(guān)鍵裝備和關(guān)鍵裝置上的突破。大國(guó)重器首先一個(gè)就是高端半導(dǎo)體設(shè)備,。
現(xiàn)在投一條線大概是少則50億美金,，多則70億美金,，80%的錢都是買設(shè)備,，而且現(xiàn)在95%以上的設(shè)備都是國(guó)外的。所以如果你沒有這個(gè)高端設(shè)備的基礎(chǔ),，也就說80%的技術(shù)其實(shí)不在我們手里,，都在人家手里,，你只要一臺(tái)機(jī)器進(jìn)不來就完蛋了。
還有一個(gè)就是宏觀加工的五軸聯(lián)動(dòng)加工中心,，你看中國(guó)有成千上萬的加工廠,，但是買的不是德國(guó)就是日本的設(shè)備。高精尖的宏觀加工的母機(jī),，就是五軸聯(lián)動(dòng)加工,，現(xiàn)在美國(guó)都做不好，沒有做出來,，這并不是那么容易做,。但是中國(guó)一定要下決心把它做出來。
前面說到光刻機(jī),，光刻機(jī)里面那個(gè)鏡頭怎么做,？鏡頭做不出，反光碗做不出,，激光源做不出就還是不會(huì)做,。然后大飛機(jī)里面就是發(fā)動(dòng)機(jī)，做了大飛機(jī)殼子,，里面核心的發(fā)動(dòng)機(jī)是買的,，甚至汽車都是這樣,，就是城市里跑的車?yán)锏囊婧蛽Q檔器恐怕百分之八九十都是買的。
我們現(xiàn)在問題在哪呢,？在國(guó)內(nèi)發(fā)展經(jīng)濟(jì)有兩個(gè)誤導(dǎo),，一個(gè)是只要你規(guī)模大就是好公司，還有一個(gè)只要你賺錢就好,，這個(gè)觀念一定要改,，其實(shí)規(guī)模大,、賺錢的公司,，就讓民間做一下，馬云沒有什么政府支持,，直接過幾千億了,。阿里巴巴不會(huì)做芯片，也不懂怎么做設(shè)備,，但為什么這么大,？因?yàn)樗袆?chuàng)新的商業(yè)模式和有力的市場(chǎng)機(jī)制，可以發(fā)展起來,，不需要政府推動(dòng),。
而政府就要推動(dòng)這些最基礎(chǔ)的大國(guó)重器。有了這個(gè),，其他的數(shù)碼產(chǎn)業(yè)什么都有了,，沒這個(gè)的話，就沒有數(shù)碼產(chǎn)業(yè),，就沒有現(xiàn)代經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,。
其實(shí)大國(guó)重器能列出來的也就十多個(gè)，你把這十多個(gè)做好,，中國(guó)就是制造強(qiáng)國(guó),。
但是大國(guó)重器有三個(gè)特點(diǎn)：第一個(gè)開發(fā)成本特別高，少則幾億,，十幾億,，多則幾十億，上百億,。第二是開發(fā)周期長(zhǎng),，短則5年10年，多則幾十年,，甚至上百年,。第三是每一個(gè)產(chǎn)品都被國(guó)際兩三家公司壟斷，有的甚至一家半,。進(jìn)入門檻特別高,。
目前我們做的設(shè)備有相當(dāng)關(guān)鍵的零部件還是從外國(guó)買的,，而且往往是一個(gè)零部件，全世界只有兩家,，有的甚至只有一家能做,。這些店都是百年老店，他盯著一個(gè)東西做,。
去年我們和美國(guó)大公司打了半年多的官司,，為了什么？是為了一個(gè)大的碳化硅的一個(gè)盤子,，這個(gè)盤子是石墨底,，上面扣那個(gè)碳化硅這么大的盤，很重的,。它在我們的反應(yīng)器里每分鐘要轉(zhuǎn)1000轉(zhuǎn),。溫度提到1100度，很高的溫度,，正負(fù)1度的溫度,，非常苛刻的情況下,，轉(zhuǎn)得非�,？欤厦娣帕撕芏喙杵烷_始沉積,，單晶就長(zhǎng),。
能做這個(gè)石墨底物的公司，全世界兩個(gè),。一個(gè)就是我們這個(gè)德國(guó)公司,，在德國(guó)做了石墨盤，拿到美國(guó)去做碳化硅,，還有就是日本的東洋碳素,，就這么兩個(gè)公司能做出高質(zhì)量的石墨。石墨看來誰都會(huì)做,。但你做出這種半導(dǎo)體可以用的石墨,，就這么兩家，不是80年就是100年老店,。
那在這樣的特點(diǎn)下,，我們能和他們競(jìng)爭(zhēng)嗎？毛主席的矛盾論,，講要抓主要矛盾,。如果我們要想把這仗打贏，就要知道主要矛盾在什么地方。這是我講了十年的,，大聲疾呼的,。我們的主要矛盾叫不對(duì)稱競(jìng)爭(zhēng)。
在上個(gè)世紀(jì)80年代,，全世界有30個(gè)設(shè)備公司,，每個(gè)公司十幾個(gè)人到幾百個(gè)人，很小,，拼了30年以后就剩三四家�,，F(xiàn)在已經(jīng)不是那個(gè)時(shí)候，三個(gè)占?jí)艛嗟匚坏脑O(shè)備公司已經(jīng)大到年銷售百億美元的公司了,。
我們是后起之秀,，現(xiàn)在國(guó)內(nèi)像我們中微算先進(jìn)的公司，和國(guó)外同類公司差20倍,，我的研發(fā)也跟他差20倍,。在這種情況下怎么去趕上去,，這是一個(gè)課題,。首先是公司的規(guī)模不對(duì)稱，然后市場(chǎng)占有不對(duì)稱,，國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)不對(duì)稱,，還有就是準(zhǔn)入門檻不對(duì)稱。你用了美國(guó)的設(shè)備20年,，突然中國(guó)來一個(gè)新公司說,，你用我的新設(shè)備，一般來說是不愿意試用的,。
還有人才資源不對(duì)稱,，頂尖的專家都在美國(guó)，還有日本和其他地方,。
還有就是研發(fā)經(jīng)費(fèi)的不對(duì)稱,，這是最重要的一個(gè)不對(duì)稱，每年我們公司閉著眼睛狠命砸錢,，一年是3億人民幣,，投資已經(jīng)投了十年了。那全是虧錢,，但是你要不投入就不行,。但是我們的3億只是我們對(duì)手的1/20。
然后專利占有的不對(duì)稱,，他已經(jīng)地雷陣都布好,，你走哪都踩地雷。還有國(guó)家文化的不對(duì)稱，你說你要招外國(guó)的一流的人,，他跑到中國(guó)來不習(xí)慣,，不愿意來。還有呢,，我的機(jī)器拿到一些國(guó)家去,，思想上就會(huì)有一種阻礙，他對(duì)美國(guó)人最信,，對(duì)美國(guó)人服氣,，對(duì)日本人都不是很服氣。那為什么要用你的中國(guó)的哪,？
創(chuàng)業(yè)發(fā)展環(huán)境不對(duì)稱,，這是一系列的政策問題了。我舉個(gè)簡(jiǎn)單例子,，我到英特爾工作三個(gè)月拿到綠卡,，我回國(guó)了14年還沒拿到，連我都沒拿到,，還是門外漢,，這就是一個(gè)產(chǎn)業(yè)環(huán)境的問題。
所以這么多的問題就是一個(gè)不對(duì)稱,，在不對(duì)稱競(jìng)爭(zhēng)下的策略,，和在對(duì)稱競(jìng)爭(zhēng)下的策略完全不一樣，對(duì)稱競(jìng)爭(zhēng)是靠你公司單打獨(dú)斗,，自立自強(qiáng),，可是不對(duì)稱，在這樣的情況下,，光靠商業(yè)運(yùn)作,，光靠一個(gè)公司的單打獨(dú)斗是絕對(duì)不行的。
像我們公司一年投3億,，你剛開始啟動(dòng)的時(shí)候,，一分錢賺不來的時(shí)候，你三億從哪來,？你要一年行要兩年行,，你要五年十年人給你3億，我現(xiàn)在已經(jīng)融錢快50億了,，就像求爺爺告奶奶,，那真是很艱苦，所以怎么辦,？只有這個(gè)辦法可以解決,，就是國(guó)家的戰(zhàn)略推動(dòng)和宏觀推動(dòng),，和企業(yè)的自立自強(qiáng)要結(jié)合。
只有這個(gè)機(jī)制能夠走下去,。但這要避免兩個(gè)趨勢(shì),，一個(gè)是國(guó)家的介入和推動(dòng)把企業(yè)搞成國(guó)企，缺乏靈活機(jī)動(dòng)性,，但要全靠各個(gè)公司單打獨(dú)斗,，你也根本就不是人家的對(duì)手。所以這里最巧妙的是找到一種折中的方案,，既要有國(guó)家的大力支持,，又要使得公司有相當(dāng)靈活機(jī)動(dòng)。
毛澤東朱德在井岡山只有1000多人,，土槍土炮沒飯吃,，22年統(tǒng)一全中國(guó)。那絕對(duì)是最不對(duì)稱的競(jìng)爭(zhēng),，國(guó)民黨武裝到牙齒,，日本也是，怎么打贏了呢,，所以我一直用這個(gè)比,，我說我們比那時(shí)候好多了，就是能贏的,，但是要有這個(gè),，就是國(guó)家的推動(dòng)重點(diǎn)支持和企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力發(fā)展要緊密結(jié)合起來,。
這里就牽涉到所有制的問題,，政策問題，環(huán)境產(chǎn)業(yè)人才吸引的問題,，我就提出這樣的概念,，一個(gè)產(chǎn)業(yè)就像一個(gè)鼎，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的跨越發(fā)展這個(gè)鼎,，需要三個(gè)腿來支撐,，就是要有資金、人才和政策三個(gè)腿,。
這三個(gè)腿有兩個(gè)條件,，第一，三個(gè)腿都非常強(qiáng),，強(qiáng)有力,。第二個(gè)很重要的，這三個(gè)腿必須平衡,，不能一個(gè)腿很強(qiáng),，另外一個(gè)腿很弱。
資金里面就是三種，股本金,，還有低息貸款和研發(fā)資助,，一定要到位。
人才上,，國(guó)際人才,、國(guó)內(nèi)人才和領(lǐng)軍人才一定要到位。
政策上呢,，就是所有制的問題要解決,，投融資政策，進(jìn)出口政策,、所得稅政策,、勞動(dòng)法政策、本土化政策,、上市政策都需要升級(jí),。
而我們回國(guó)研究十幾年，這一系列的政策都停留在一個(gè)引進(jìn)技術(shù)來料加工的階段,，這對(duì)于一個(gè)國(guó)際大公司在中國(guó)運(yùn)營(yíng)是最能推動(dòng)的,，但是對(duì)于自主創(chuàng)新，創(chuàng)業(yè)發(fā)展,，有很多的要改,，要升級(jí)。如果不升級(jí)的話,，中國(guó)的這個(gè)大國(guó)重器搞起不來,。
九
說到所有制的問題，在我國(guó)認(rèn)為有錢就可以買公司股票當(dāng)股東,，如果員工想得到公司股票,，對(duì)不起，拿同樣價(jià)錢買,，上市不能超過200人有公司股票,。而且公司激勵(lì)員工發(fā)的期權(quán)是不能上市的，員工一定要拿錢買成實(shí)股才能上市,。
概念的本質(zhì)就是承認(rèn)只有資本是可以創(chuàng)造公司價(jià)值的,，但這是違反馬列主義的基本原理的。因?yàn)椤顿Y本論》講的是這個(gè)世界的財(cái)富,、價(jià)值是勞動(dòng)創(chuàng)造的,，包括資本也是勞動(dòng)創(chuàng)造的。
作為公司來講,，公司價(jià)值兩部分,，一部分資本投入叫有錢出錢,，還有一部分就是創(chuàng)新，人的勞動(dòng)創(chuàng)造出來的價(jià)值叫有力出力,。
所以正確地用馬克思主義的理論來講,，公司價(jià)值兩部分，一部分是錢產(chǎn)生的價(jià)值,，一部分是勞動(dòng)創(chuàng)造的價(jià)值,，應(yīng)該是錢創(chuàng)造的價(jià)值給你股票，而勞動(dòng)創(chuàng)造的價(jià)值給你期權(quán),。除了給你工資,，剩余勞動(dòng)創(chuàng)造價(jià)值的一部分變成一個(gè)期權(quán)，回饋給員工,。
所以在美國(guó)硅谷最先進(jìn)的制度,，是全員持股制，投資的人有股票,，而出力的人有期權(quán),，期權(quán)經(jīng)過幾年的變化就自動(dòng)變成股權(quán)，你可以拿出去賣跟股權(quán)一樣,。
而我國(guó)中認(rèn)為只有有錢的人才可以拿股票當(dāng)股東,，對(duì)員工和管理層來說，你要想拿到股票,，對(duì)不起和股東一樣要拿錢買,，而認(rèn)為即使期權(quán)也只是一種增加員工收入的激勵(lì)而已。這概念是錯(cuò)的,，這個(gè)實(shí)際上是只承認(rèn)資本價(jià)值的資本主義,。
而美國(guó)的硅谷早已經(jīng)實(shí)行了期權(quán)激勵(lì)的全員持股的集體所有制了。我在一開始的時(shí)候剛剛拿到博士,，參加英特爾時(shí)還是中級(jí)工程師,，就給我每年幾百股期權(quán)，不需要拿錢買,，四年以后就變成你的了，然后你拿到股票市場(chǎng)就可以賣了,。
然后我到Lam Research已經(jīng)是一個(gè)產(chǎn)品開發(fā)的資深經(jīng)理了,，每年給我2000股期權(quán)，然后到應(yīng)用材料公司做到VP時(shí)候每年是2萬股,。
這三個(gè)公司從第一天就是全員持股的,，別的公司后來為什么倒掉了呢？因?yàn)閺牡谝惶扉_始就是老板說了算,，老板占很大股份,，沒有員工期權(quán)激勵(lì),。為什么現(xiàn)在這三個(gè)公司變成這個(gè)領(lǐng)域世界最大的公司，因?yàn)樗兄票容^先進(jìn),。
我之前給大家開過玩笑,，說我曾經(jīng)犯了一個(gè)很大的錯(cuò)誤，應(yīng)用材料公司把我從Lam拉去,，給了我6000股,，我沒把它當(dāng)回事，漲了兩三倍就賣掉了,。后來1股分成64股,，每股235美金，6000股就相當(dāng)于8000萬美金,。所以說大家有這個(gè)夢(mèng)想,，才到一個(gè)小公司去，做大了然后上市,。
現(xiàn)在我們就是全員持股制,，而且我們比全員持股比硅谷做得還徹底。我們工資和股票的曲線,，紅的是工資,，每一級(jí)差10%，藍(lán)的是期權(quán),，每一級(jí)差20%,，帶有非常平均的社會(huì)主義色彩，連開車和看門的都有股票,，我只有公司不到百分之一的股票,。期權(quán)是很低的。
十幾年前,，我們的管理曾和員工占公司股份33%,，現(xiàn)在占20%，早期參加的員工承擔(dān)了很大的風(fēng)險(xiǎn),，給的股也多,，股價(jià)也低。
你看我們加工出來的存儲(chǔ)元件形狀,，有著很復(fù)雜的微觀結(jié)構(gòu),，這是邏輯線路的形狀，這是存儲(chǔ)元件的形狀,。
我們現(xiàn)在一共是五大產(chǎn)品,，總的來講情況還比較好。這個(gè)前面三個(gè)產(chǎn)品比較成熟,，第一個(gè)就是CCP電容性等離子體介質(zhì)刻蝕機(jī),，這也是最難做的,。這種刻蝕機(jī)全世界的市場(chǎng)是200億人民幣，相當(dāng)于30億美金,。這個(gè)市場(chǎng)比較大,，我們已經(jīng)成為國(guó)際三強(qiáng)。
第二個(gè)設(shè)備是傳感器的刻蝕機(jī),，不僅僅在大家的手機(jī)上,，而且在照相機(jī)、耳機(jī),、指紋識(shí)別器都有應(yīng)用,，包括無人駕駛汽車。這個(gè)市場(chǎng)并不大,，全世界的市場(chǎng)每年大約是30億人民幣,。這方面我們已經(jīng)做成了國(guó)際最強(qiáng)設(shè)備。國(guó)際上最強(qiáng)的兩家做傳感器的,，一個(gè)是德國(guó)的博世,，還有一個(gè)是意法半導(dǎo)體，他們都用我們的設(shè)備,。
然后MOCVD,，這個(gè)市場(chǎng)也不大，只有30億人民幣的市場(chǎng),，這個(gè)已經(jīng)成為國(guó)際上的前兩強(qiáng),。還有兩個(gè)產(chǎn)品，這個(gè)ICP電感性等離子體刻蝕機(jī)技術(shù)是我1987年在Lam首先開發(fā)的,，現(xiàn)在已經(jīng)有三百億人民幣的總市場(chǎng),，我們這個(gè)產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入市場(chǎng)，希望我們能在最近三五年有很大的收獲,。
我們還有一個(gè)副產(chǎn)品是做空氣凈化器的,，因?yàn)樵谝话愕墓I(yè)上存在嚴(yán)重的空氣污染的問題。
十
另外我們公司還有一個(gè)特點(diǎn)是,，是中國(guó)唯一的一家公司,，11年來一直和美國(guó)三大公司打官司沒斷過，而且每次打得很兇險(xiǎn),。
網(wǎng)上對(duì)我們有誤解,，對(duì)我們的報(bào)道有一段是錯(cuò)的，說我們從美國(guó)回來之前,，美國(guó)國(guó)安局搜查我們的文件，沒收了600萬件等等都是誤傳,。其實(shí)我們回來他們沒有采取任何行動(dòng),。
到2004年回國(guó)的時(shí)候,，我們非常的小心，每個(gè)人都要簽字畫押,，不能帶回任何文件,，數(shù)據(jù)和設(shè)計(jì)圖紙。
在我們回國(guó)之前就出了一件大事,，一個(gè)大陸留學(xué)生和一個(gè)臺(tái)灣留學(xué)生在硅谷做PC機(jī)的生產(chǎn)的,，想回國(guó)做一個(gè)PC機(jī)公司，就從原公司拿了一些圖紙,，還有一些零部件,，從舊金山要坐飛機(jī)回國(guó)了。
實(shí)PC在我們的眼里是買芯片弄個(gè)殼子裝起來就行,，現(xiàn)在高中生就可以裝PC的,。結(jié)果他們公司發(fā)現(xiàn)他拿了東西，就報(bào)告了國(guó)安局,，國(guó)安局就在門口等他,，出境時(shí)被抓到了。
據(jù)說要判很多年徒刑,。所以我想我們這么十幾個(gè)都是最頂尖的專家回來,，搞的不是PC而是高端設(shè)備，風(fēng)險(xiǎn)很大,。所以我們就特別小心,，所有的人所有的電腦、U盤全都不讓帶,，我們做的很嚴(yán)格,，很守法，每人都簽字畫押,，宣誓不帶什么東西,。
我們對(duì)競(jìng)爭(zhēng)者的3000多個(gè)專利做了深入的分析，確保我們的設(shè)計(jì)不會(huì)侵犯任何人的專利,。
對(duì)我們自己獨(dú)特的的設(shè)計(jì),，也申請(qǐng)了1000多個(gè)專利。我們還對(duì)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手可能在哪些方面向我們發(fā)難也做了充分的準(zhǔn)備,。然而到了3年以后我們做出很了很好的設(shè)備,，開始要打入國(guó)際最先進(jìn)的生產(chǎn)線了。
這時(shí)候美國(guó)的老東家就開始坐不住了,，所以就跑到美國(guó)聯(lián)邦法院就告我個(gè)人和公司,。理由就是說你們30多人從應(yīng)用材料公司來的，這么短時(shí)間做出一個(gè)好的設(shè)備,，一定是用了原公司的商業(yè)機(jī)密技術(shù),。
這基本就是一個(gè)邏輯的訴訟,，不需要證據(jù)的。在美國(guó)沒有證據(jù)也可以告,，但是我們就要證明我們是清白,。怎么證明呢？我要請(qǐng)美國(guó)一流的律師來查我所有的文件,。是我們雇了律師查我們自己600多萬件文件和30多人的PC機(jī)和辦公室,，不是美國(guó)政府查我的，這個(gè)現(xiàn)在要澄清這個(gè)事,。
我們請(qǐng)了MOFO是美國(guó)最好的專利律師,，我們請(qǐng)了美國(guó)十大專利律師之一。我們一定要請(qǐng)一流的,，因?yàn)槲也桓艺?qǐng)二流,，萬一打輸了怎么辦？
我們把我們公司這三年來所有的那個(gè)電腦系統(tǒng)的軟件全來徹查,，有沒有發(fā)現(xiàn)原公司的技術(shù)圖紙,。32人的辦公室，所有的文件都查,，每個(gè)人的PC都要查,。這是一個(gè)誠(chéng)信系統(tǒng)，美國(guó)原公司也是這樣,，全公司都要查有沒有中微的東西,，是對(duì)等的查。
結(jié)果查了兩年半,。光是我們付律師費(fèi),，看我們自己的文件，就花了2500萬美金,。由于我們沒有任何有關(guān)對(duì)方的圖紙,，工藝配方和數(shù)據(jù)，所以后來就和他們和解了,，官司不打了,，還說以后要合作了。
如果查實(shí)一個(gè)人拿了什么關(guān)鍵的技術(shù)圖紙,，那肯定是要治罪的,，作為法人代表，我也是有罪責(zé)的,。這次的較量再一次的說明了“打鐵還得自身硬“,。必須重視知識(shí)產(chǎn)權(quán)，商業(yè)機(jī)密，要遵守我國(guó)的法律,，也要遵守美國(guó)的法律,，就能處于不敗之地,。
作 者：尹志堯
圖 片：視覺中國(guó)
來 源：科工力量（ID：guanchacaijing）
itwotwo 發(fā)表于 2018-8-31 10:59
洋洋灑灑大幅篇章，還是只針對(duì)芯片行業(yè),。因?yàn)橥度牖A(chǔ)研究太費(fèi)時(shí)費(fèi)錢了,。我們現(xiàn)在的策略，還是靠技術(shù)兼并和 ...
loveskycc 發(fā)表于 2018-8-30 19:17
兄臺(tái)可以去看看三星電子的發(fā)展史,，你就知道企業(yè)研究科技創(chuàng)新是什么情況了，那真的不是還在溫飽掙扎的公司 ...
itwotwo 發(fā)表于 2018-9-1 21:14
所謂最方便,，最便宜,，最直接也有眼光深淺的問題。難道先進(jìn)國(guó)家的行業(yè)巨頭們都是傻的,？沒請(qǐng)到閣下去出任掌 ...
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