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定義
, y+ g1 f' U, C$ {" l3 V. b$ x, _( \1 預(yù)防性維護:為消除設(shè)備失效和生產(chǎn)的計劃外中斷的原因而策劃的措施,,作為制造過程設(shè)計的一項輸出,。, D$ v$ U& e% N- N% g8 Z# n# n- u0 Z* c
2 預(yù)見性維護:基于過程數(shù)據(jù),通過預(yù)測可能的失效模式以避免維護性問題的活動,。" i! l+ i& j8 S2 A
3一級維護保養(yǎng):指對設(shè)備進行日常的清潔,、維護,、點檢,。如機臺清潔(頂側(cè)底內(nèi)外),、疏通潤滑檢查、檢查泵體油位,、檢查儀表等,。頻度為每工作日,,其目的是防止和及時發(fā)現(xiàn)設(shè)備運行前、運行中的不正常情況并予以排除,。
" U! `# N6 j% z: b! b& z4二級維護保養(yǎng):指由設(shè)備管理者或設(shè)備擔(dān)當(dāng)按照計劃對設(shè)備進行定期的維修,、維護。如:難度大的擦洗設(shè)備,、校準精度,、更換易損件、緊固,、更換磨損的部件,、局部拆卸和檢查等。維護周期一般為一個月及以上的項目,。, g, N- M) _6 ~/ M. r% E& ^ _
5三級維護保養(yǎng):需要外部資源進行的維護。如請廠商至公司對曝光機進行維護,、塵埃離子計數(shù)器送到外部作精密調(diào)整和校驗等,。維護周期一般為半年、一年及以上的項目,。 |
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