拋光液的主要產(chǎn)品可以按主要成分的不同分為以下幾大類:金剛石拋光液(多晶金剛石拋光液、單晶金剛石拋光液和納米金剛石拋光液),、氧化硅拋光液(即CMP拋光液),、氧化鈰拋光液、氧化鋁拋光液和碳化硅拋光液等幾類,。 [2] % s* F- u, Q* w+ D( i
多晶金剛石拋光液! q# W; D" B2 k# b. w
多晶金剛石拋光液以多晶金剛石微粉為主要成分,,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同時不易對研磨材質產(chǎn)生劃傷,。
5 i4 K+ V! q$ p* h主要應用于藍寶石襯底的研磨,、LED芯片的背部減薄、光學晶體以及硬盤磁頭等的研磨和拋光,。+ R- P- _) k/ F, E5 T' V; T' u
氧化硅拋光液
" G% u, X" ]; s+ E7 H氧化硅拋光液(CMP拋光液)是以高純硅粉為原料,,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。
8 T# p. F" y1 T廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光,,如:硅晶圓片、鍺片,、化合物半導體材料砷化鎵,、磷化銦,精密光學器件,、藍寶石片等的拋光加工,。- o- o/ p) O& u# U
氧化鈰拋光液' S# `# j: |, R$ _, a" g! r
氧化鈰拋光液是以微米或亞微米級CeO2為磨料的氧化鈰研磨液,,該研磨液具有分散性好、粒度細,、粒度分布均勻,、硬度適中等特點。8 b5 u+ \& d$ k4 F- s
適用于高精密光學儀器,,光學鏡頭,,微晶玻璃基板,晶體表面,、集成電路光掩模等方面的精密拋光,。
7 E) _9 T$ F* B; m/ B- t氧化鋁和碳化硅拋光液
$ \* b8 g5 P5 m9 H) i是以超細氧化鋁和碳化硅微粉為磨料的拋光液,主要成分是微米或亞微米級的磨料,。7 V/ [# d1 F$ L" B& u+ q) S2 Q% z; R
主要用于高精密光學儀器,、硬盤基板、磁頭,、陶瓷,、光纖連接器等方面的研磨和拋光。 |