求助大佬,，氣浮平臺的設(shè)計(jì)

一路向北ck

請教各位大佬,，是否有圖片中的高精度氣浮平臺的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)

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目前行業(yè)內(nèi)很多此類臺子，想學(xué)習(xí)一下

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也想和大家一起交流交流

大白小白

lz先說說自己的理解,。

沒運(yùn)氣的小男孩

在之前的項(xiàng)目中接觸過一些,，談不上什么經(jīng)驗(yàn)。一般這種氣浮臺采用直線電機(jī)驅(qū)動,，對環(huán)境和氣源有一定要求,；承載能力可以按照2kg/cm^2估算,；氣膜厚度一般控制在10um左右，氣膜剛度一般通過增加預(yù)載的方式來調(diào)整,；節(jié)流孔通常有小孔節(jié)流和多孔材料兩種,；國外品牌Aerotech、Newway等,。樓主如果有詳細(xì)需求可以具體探討一下,。

一路向北ck

之前我設(shè)計(jì)一臺設(shè)備，用的是NewWay的標(biāo)準(zhǔn)空氣軸承塊（多孔材料）,，這種空氣軸承塊需要用膠粘結(jié),，對裝配要求較高，第一次做出來的精度不高,，達(dá)不到同行做出來的重復(fù)定位精度0.1-0.3um,。
且分析我一樓圖片的這種單軸的機(jī)臺結(jié)構(gòu)比較緊湊，看著不像用的空氣軸承塊,。
猜測用的小孔節(jié)流的方案,，想請教一下有沒有這方面的經(jīng)驗(yàn)可以交流分享的

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大白小白 發(fā)表于 2022-5-24 20:57
lz先說說自己的理解。

感謝回復(fù),！我的經(jīng)驗(yàn)如下

一路向北ck

沒運(yùn)氣的小男孩 發(fā)表于 2022-5-24 21:28
在之前的項(xiàng)目中接觸過一些,，談不上什么經(jīng)驗(yàn)。一般這種氣浮臺采用直線電機(jī)驅(qū)動,，對環(huán)境和氣源有一定要求,；承 ...

感謝回復(fù)！
多孔材料的機(jī)臺我設(shè)計(jì)過一臺,，精度沒達(dá)到預(yù)期,。
目前想了解一下小孔節(jié)流的方案，想具體請教一下,，能否留個聯(lián)系方式,。

1027726686

這種微型氣浮平臺確實(shí)用直線電機(jī)更好一些，直線電機(jī)建議用無鐵芯,，光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配,，環(huán)境溫度需要控制的很好建議增加溫補(bǔ)，不然影響精度,。材料盡可能統(tǒng)一化,，傳動及光柵尺的位置盡量符合阿貝原則。

一路向北ck

1027726686 發(fā)表于 2022-5-25 10:44
這種微型氣浮平臺確實(shí)用直線電機(jī)更好一些,，直線電機(jī)建議用無鐵芯,，光柵尺分辨率根據(jù)速度匹配，環(huán)境溫度需要 ...

感謝分享！
你是做運(yùn)動平臺這塊的嗎,？