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6 l# P$ J) Z% M7 b7 B& d 李志堅
: M+ G0 C9 i% p1 h4 b M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M
e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個字首組成，
可譯為微電子機械系統(tǒng),。M E M S 的起源可以追溯到6
0 年代,，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個世
界性的學(xué)術(shù)用語，M E M S 技術(shù)的研究開發(fā)也日益成為
國際上的一個熱點,。與M E M S 一詞同時流行的還有M
i c r o M a c h i n e （微機械）和M i c r o
S y s t e m （微系統(tǒng)）,。它們都以微小（M i c r o
）為特征,，有的強調(diào)機械,，有的強調(diào)系統(tǒng)，但當前人們
常不加區(qū)別地與M E M S 通用,。
* b/ K) o4 b3 w$ q- r
一般地說,，M E M S 具有以下非約束性的特征：
# e2 K( G3 d7 B* W （1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內(nèi),，區(qū)別于一般宏
（M a c r o ）,，即傳統(tǒng)的,、大于1 厘米尺度的“機械
”，但并非進入物理上的微觀層次,；
# u+ ]* J& K. ]3 s$ Y" K, G( N �,。�2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f
a b r i c a t i o n ）技術(shù)制造；
8 s; E" ]- l; w2 Q9 r �,。�3 ）與微電子芯片類同,，可大批量、低成本生產(chǎn)
,，性能價格比傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)大幅提高,；
2 S$ i4 e w7 X
（4 ）M E M S 中的“機械”不限于狹義的機械力
學(xué)中的機械,，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化,、傳輸?shù)裙δ艿?BR>效應(yīng)，包括力,、熱,、聲、光,、磁,，乃至化學(xué),、生物能等
,；
- M, f- x1 V" ] （5 ）M E M S 的目標是微“機械”與I C 集成的
微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng),。
8 Y. @; M- `/ n, P3 a" {2 ^ 用以上特征衡量,，用微電子技術(shù)（但不限于此）制
造的微小機構(gòu)、器件,、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范
圍,，微機械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次，有
關(guān)的科學(xué)技術(shù)都可統(tǒng)稱為M E M S 技術(shù),。
; q3 a( A1 V& }3 r 當前,，信息技術(shù)已走上多媒體、網(wǎng)絡(luò)化和智能化的
道路,，微電子信息處理已向系統(tǒng)級芯片集成發(fā)展,。無論
從微型化或性能價格比發(fā)展看，信息獲�,。▊鞲校┘夹g(shù)
和信息執(zhí)行技術(shù),，即所謂“外部設(shè)備”技術(shù)都已成為發(fā)
展的瓶頸；它們與“主機”的接口（H I ）也成為阻礙
處理速度的關(guān)鍵,。M E M S 技術(shù)的目標是把信息獲取,、
處理和執(zhí)行一體化地集成在一起，使之成為真正的系統(tǒng)
，因此該技術(shù)對信息技術(shù)的革命意義是不言而喻的,。對
傳統(tǒng)的“機械學(xué)”來說,，M E M S 技術(shù)不僅打開了“微
尺寸”新領(lǐng)域的大門，也是真正實現(xiàn)機電一體化的開始
,。M E M S 被認為是微電子技術(shù)的又一次革命,，對2 1
世紀的科學(xué)技術(shù)、生產(chǎn)方式和人類生活質(zhì)量都會有深遠
的影響,。
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�,。ㄔd《科技導(dǎo)報》9 ／1 9 9 7 ，本文是一篇論
文的引言部分）
# o5 B" v# z; X5 T0 B 《人民日報》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版） |