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樓主 |
發(fā)表于 2010-3-29 22:29:49
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和大家分享一下激光干涉儀的工作原理：
* L0 C1 J0 k* n+ b7 ~. {! {3 P 以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種,。激光具有高強(qiáng)度,、高度方向性,、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn),。目前常用來測量長度的干涉儀,，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng),。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置,、速度,、角度、真平度,、真直度,、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作,。
9 W( e# o- R. y1 N+ ~! T) P; v% t雙頻激光干涉儀原理
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# r9 L+ A4 R1 {: {2 X$ Z雙頻激光干涉儀是一種新型激光干涉儀,
6 X* [# I. d- R 基本原理與單頻激光干涉儀不同,。如圖所示，它是利用光的干涉原理和多卜勒效應(yīng)（此處指由于振源相對運(yùn)動而發(fā)生的頻率變化的現(xiàn)象）產(chǎn)生頻差的原理來進(jìn)行位移測量的,。- S! ~, I+ ], I
激光器放在軸向磁場內(nèi),，發(fā)出的激光為方向相反的右旋圓偏振光和左旋圓偏振光，其振幅相同,，但頻率不同,，分別表示為f1和f2。經(jīng)偏振分光鏡,，一部分反射光經(jīng)檢偏器射入光電元件D1作為基準(zhǔn)頻率f基 (f基＝f1－f2),。頻率為f２的光束完全反射，經(jīng)濾光器變?yōu)榫�偏振光f２,，投射到固定棱鏡并反射到偏振分光鏡處,。頻率為f1的光束折射經(jīng)濾光器變?yōu)榫�偏振光f1，投射到移動棱鏡后也反射到偏振分光鏡處,，兩者產(chǎn)生相干光束,。若移動棱鏡移動，則反射光的頻率由于多卜勒效應(yīng)而發(fā)生變化,，其頻差為多卜勒頻差Δf,。2 F& |5 {) w/ g, x1 Q
頻率為f1±Δf的反射光與頻率為f２的反射光在b處匯合后,，經(jīng)檢偏器射入光電元件D２，得到頻率為測量頻率f測＝f２－(f1±Δf)的光電流,，這路光電流與經(jīng)光電元件D１后得到頻率為f基的光電流同時經(jīng)放大器進(jìn)入計算機(jī),，經(jīng)減法器和計數(shù)器，即可算出差值±Δf,，并按公式計算出移動棱鏡的移動速度v和移動距離l。 |
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樓主: 小北方2010
發(fā)表于 2010-3-30 22:29:17
