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測(cè)量機(jī)器工作臺(tái)初始化故障,,請(qǐng)教

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發(fā)表于 2011-10-1 21:10:25 | 只看該作者 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
一臺(tái)DECO Particle測(cè)量機(jī)器,,X/Y工作臺(tái)都是使用Servo馬達(dá),,在開(kāi)機(jī)初始化的時(shí)候出現(xiàn)故障,,錯(cuò)誤信息為:stage 機(jī)械原點(diǎn)移動(dòng)超時(shí),。
3 M4 H4 _' J. q( i7 _) [! \" N# `: y  H望各位高手不吝賜教指點(diǎn),。謝謝!
( m# ^8 S- M$ y個(gè)人檢查如下:% j, d6 s0 v* m+ m1 f# b
1.導(dǎo)軌絲桿的整個(gè)行程手感比較靈活.2 X0 C7 A+ a  e( |+ @+ y
2.Y-stage連軸器松,,也沒(méi)有鎖軸螺絲,,取出來(lái)加手套到里面,暫時(shí)可以固定而不會(huì)打滑,,但如此處理后該錯(cuò)誤依然存在.將加工一個(gè)連軸器換上.
6 K) H, m! J1 E" Q* l2 i- d3.出現(xiàn)錯(cuò)誤后,,看到X&Y兩個(gè)stage應(yīng)該都是停在Home Sensor位置,而且此時(shí)這兩個(gè)Sensor(應(yīng)該是Home Sensor)指示燈都顯示不亮,,其他的limit sensor此時(shí)指示燈是亮的.
! f2 F2 Q2 u8 _- i) d! Q  D& H! H6 L' ?
2#
 樓主| 發(fā)表于 2011-10-13 16:46:17 | 只看該作者
不是XY Stage 問(wèn)題,,問(wèn)題是轉(zhuǎn)盤(pán)工作臺(tái)未初始化
2 ^6 b) w5 s1 H% Q已解決2 f' R; A7 C' p& H7 C

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