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高精度大理石怎么加工的? |
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德國(guó)粉那么貴啊
光刻機(jī)不有用大理石平臺(tái)嗎?反饋是干涉反饋,?
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三零級(jí)是很常見(jiàn)的,,大理石不變形,,跟普通的材料加工難度似乎不一樣
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主要就是測(cè)平面度了
大理石熱膨脹小,高精度的往往用大理石,,比如三坐標(biāo)的導(dǎo)軌
這個(gè)已經(jīng)做了很大的妥協(xié)了,,設(shè)備的運(yùn)行指標(biāo)50nm,以做過(guò)一次失敗了,,結(jié)果只達(dá)到100nm
理解了,,謝謝大俠,凡是與晶片有關(guān)的設(shè)備都是高的嚇人,,一臺(tái)辦公桌大小的產(chǎn)品價(jià)格可以上億元,,當(dāng)然精度也是高的可以了。
高精度光刻,就用這個(gè),,一些芯片設(shè)備,,也是安裝在這類(lèi)平臺(tái)上的,產(chǎn)品的檢測(cè),,也在這種平臺(tái)檢測(cè),,包括高級(jí)別的光學(xué)檢測(cè),
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98大俠,我聽(tīng)說(shuō)大的望遠(yuǎn)鏡片是用超精密加工中心做出來(lái)的,,插補(bǔ)到0.1μ
這玩意是手磨的,,高精度的用光學(xué)平晶來(lái)檢查,就是一個(gè)厚玻璃板,,兩面非常平,,放在平臺(tái)上,如果平板不平,,存在劈尖,,底下就出現(xiàn)了干涉環(huán)紋,就是牛頓環(huán),,看明暗環(huán)的圈數(shù),,就能知道平面凹下或者突出多少
998大俠,人是最高精度的我從來(lái)都認(rèn)同,,我是想請(qǐng)教,,平面研磨機(jī)的精度現(xiàn)在到了什么水平?那一家的機(jī)床比較好點(diǎn),?
三次元平臺(tái)就是這種吧
激光干涉儀或者電子水平儀
光學(xué)檢測(cè)方式,,有興趣看一下精密測(cè)量的書(shū)籍,有介紹,,大的望遠(yuǎn)鏡的鏡片,,比這個(gè)還厲害,也是手工玩的,,全世界也就幾個(gè)家伙會(huì)研磨那個(gè)鏡片,,這就是世界級(jí)別的牛人了,,其它都不算,算‘偽�,!�
就是不知道這么大的平面,,用什么方法來(lái)測(cè)量平面精度?
wangceyuan大蝦,,至今為止,,人依然是最高精度,不是說(shuō)人有多神奇,,是人可以一點(diǎn)一點(diǎn)地研磨,,邊研磨邊測(cè)量,而機(jī)器是沒(méi)有這種靈活性的,,你到這種大平板廠子去看一下,,最終的精度是人工玩出來(lái)的,低精度是機(jī)器玩的
大俠用機(jī)器研磨不行嗎,?那個(gè)不是幾萬(wàn)次才重復(fù)一點(diǎn)嗎,?
還真的是手工研磨的,以前我用�,?怂箍档慕佑|式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)過(guò)它自己的大理石平臺(tái),,都是0.000以下的,太神奇了,。謝謝大俠提醒,,看來(lái)我標(biāo)定的精度要求太變態(tài)了
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看來(lái)我上次的還是太貴了,,看樓下0.005平面度的價(jià)格
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用金剛石取孔鉆打孔。在鑲牙套,。
精度不是問(wèn)題,,關(guān)鍵是小,2米長(zhǎng)的玻璃條上面打小孔,,起氣浮和吸附作用,,因?yàn)樘L(zhǎng)了,孔大了,,流量不夠,,力太小太不到預(yù)期效果
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