超精密加工的技術(shù)目標(biāo)
% ~& s3 V* Z+ Q6 n" X精密和超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到某一量級(jí)的所有制造技術(shù)的總稱,。機(jī)械加工經(jīng)過一般加工,精密加工和超精密加工三個(gè)階段,,超精密加工已達(dá)到納米加工境界,,逐漸接近加工精度和表面質(zhì)量的極限,代表了先進(jìn)制造技術(shù)的一個(gè)重要方面,。根據(jù)我國(guó)目前科學(xué)技術(shù)的發(fā)展水平,,通常把尺寸、形狀精度在0.1nm100nm,,表面粗糙度Ra≤10nm的所有加工技術(shù)稱為超精密加工技術(shù),。) J, l( @7 U" K! `# L$ l3 n
超精密加工技術(shù)是以高精度為目標(biāo)的制造技術(shù),是一門綜合性的系統(tǒng)工程,,它的發(fā)展綜合地利用了機(jī)床,、工具、測(cè)量,、環(huán)境技術(shù),、優(yōu)化工藝、計(jì)算機(jī)技術(shù),、數(shù)控技術(shù)的進(jìn)步,,并正向更高精度的納米(nm)級(jí)發(fā)展。目前在各種領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,并在自身發(fā)展的同時(shí),,還為其它許多學(xué)科提供了重要的理論基礎(chǔ)和研究手段,。- N0 n# O1 d/ F% [1 B! M# p8 Z) w
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