關(guān)于精密測量

夜闌臥聽

樵薪 發(fā)表于 2015-5-17 18:05
3 \7 [; p0 W6 g& N) G9 c) w一定要用到光的干涉原理,。

有詳細(xì)的方案嗎？

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夜闌臥聽 發(fā)表于 2015-5-18 20:04
4 C+ f& J% _! j激光準(zhǔn)直儀的激光束至少有1mm吧,，精度能滿足要求嗎,？

7 l) X. ^& ^1 c9 k+ O1 }) N; A用透鏡組或者狹縫調(diào)節(jié)光束直徑

無痕葉

情況你描述的不太清楚�,。� （檢查兩個薄片上的細(xì)縫是否對齊）是個什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內(nèi)）,？你的檢測精度是多少,？um級,？,？？  對于這種大尺寸的,，要達(dá)到um級別,，只有機(jī)器視覺了，好的成像方案和高分辨率的相機(jī)組合,。當(dāng)然 成本還是挺高的,。

無痕葉

你的薄片的尺寸？,，縫隙尺寸,？，這個很重要,，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高,。

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夜闌臥聽

無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:37
* o, A$ p& i) ]- z# i* g' n% K情況你描述的不太清楚啊,？ （檢查兩個薄片上的細(xì)縫是否對齊）是個什么概念,？ X,Y方向尺寸一致（在極小誤差內(nèi) ...

5 B' U) m" R0 i0 H每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細(xì)縫。想要的結(jié)果是從一個薄片向另一個薄片投影,，這兩個薄片能夠重合,。誤差必須在5μm以內(nèi)

夜闌臥聽

無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:43
你的薄片的尺寸？,，縫隙尺寸,？,，這個很重要，    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高,。

每個薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細(xì)縫,。想要的結(jié)果是從一個薄片向另一個薄片投影，這兩個薄片能夠重合,。誤差必須在5μm以內(nèi)
( I1 W$ o: i2 @; z4 e

夜闌臥聽

各位繼續(xù)討論啊,，我的問題還沒解決

無痕葉

& T3 X% d' z" E# n" |+ T4 h8 H你這個的確是um級的檢測精度,， 誤差控制在5um的話,，最小分辨率就是1um的概念，我們傾向于用高一個數(shù)量級的分辨率作為以檢測基準(zhǔn),，從而保證最終的檢測精度,，目前我們在做一個0.5um級別的檢測。
* t1 c9 ?1 \/ [3 z當(dāng)然,，還不清楚你的最終結(jié)果是用來做什么,？ 是用來控制尺寸合格嗎？ 對于你這種需求,，我們檢測上來講一般是要設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)模板,，然后設(shè)置偏差參數(shù)，進(jìn)行模板比對,，只要成像上能滿足精度,，算法都是很成熟的，至于相機(jī),，鏡頭,，光源這些要好好的選型。
# Z1 @1 P# a$ |: A7 i8 L- F
/ d$ A' Y) c( Z: X8 [5 s4 _" yPS: 我猜測你的產(chǎn)品可能是跟光有關(guān)的東西,。如果是商業(yè)化,，上規(guī)模的產(chǎn)品，可以私聊,。

夜闌臥聽

無痕葉 發(fā)表于 2015-5-27 11:25
你這個的確是um級的檢測精度,， 誤差控制在5um的話，最小分辨率就是1um的概念,，我們傾向于用高一個數(shù)量級的分 ...

您在北京嗎,？