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樓主: 夜闌臥聽
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關(guān)于精密測(cè)量

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11#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-18 20:06:49 | 只看該作者
樵薪 發(fā)表于 2015-5-17 18:05
2 w  E- v, `2 i- Z! e一定要用到光的干涉原理,。

. a  B2 C- E& P) D6 z( [' {; M有詳細(xì)的方案嗎,?
" }2 u  p! E- C  ^$ E  s8 [$ ?, c3 B7 t
12#
發(fā)表于 2015-5-18 20:15:27 | 只看該作者
夜闌臥聽 發(fā)表于 2015-5-18 20:04
% x' Z. i/ \6 k激光準(zhǔn)直儀的激光束至少有1mm吧,精度能滿足要求嗎?

7 O8 m, Z+ |+ @- k- M  o用透鏡組或者狹縫調(diào)節(jié)光束直徑- V2 [0 H( Z1 N
13#
發(fā)表于 2015-5-19 09:37:09 | 只看該作者
情況你描述的不太清楚啊,? (檢查兩個(gè)薄片上的細(xì)縫是否對(duì)齊)是個(gè)什么概念? X,Y方向尺寸一致(在極小誤差內(nèi)),?你的檢測(cè)精度是多少,?um級(jí)?,?,?  對(duì)于這種大尺寸的,要達(dá)到um級(jí)別,,只有機(jī)器視覺了,,好的成像方案和高分辨率的相機(jī)組合。當(dāng)然 成本還是挺高的,。
14#
發(fā)表于 2015-5-19 09:43:41 | 只看該作者
本帖最后由 無痕葉 于 2015-5-19 09:47 編輯
) Q9 h9 p4 t! F5 s. Z
; c6 v7 C, y( N你的薄片的尺寸,?,縫隙尺寸,?,,這個(gè)很重要,    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高,。
15#
發(fā)表于 2015-5-19 16:11:46 | 只看該作者
CCD
16#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-19 19:02:17 | 只看該作者
無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:37 * ]( Q! B5 b, c' x% ]& A& z$ S
情況你描述的不太清楚�,。� (檢查兩個(gè)薄片上的細(xì)縫是否對(duì)齊)是個(gè)什么概念,? X,Y方向尺寸一致(在極小誤差內(nèi) ...
/ S4 O8 [1 J  r' V, B
每個(gè)薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細(xì)縫,。想要的結(jié)果是從一個(gè)薄片向另一個(gè)薄片投影,這兩個(gè)薄片能夠重合,。誤差必須在5μm以內(nèi)
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 樓主| 發(fā)表于 2015-5-19 19:04:06 | 只看該作者
無痕葉 發(fā)表于 2015-5-19 09:43 $ e& J) X/ [: X* s4 F/ H  ?7 d
你的薄片的尺寸,?,縫隙尺寸?,,這個(gè)很重要,,    尺寸越大涉及到的難度越大成本越高。
7 g4 ]/ }' `9 `  P- p6 q% P* f
每個(gè)薄片直徑約40mm,上面有均布的30μm的細(xì)縫,。想要的結(jié)果是從一個(gè)薄片向另一個(gè)薄片投影,,這兩個(gè)薄片能夠重合。誤差必須在5μm以內(nèi). E) _# S* ~, p5 J% {- p  H
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 樓主| 發(fā)表于 2015-5-20 20:45:14 | 只看該作者
各位繼續(xù)討論啊,,我的問題還沒解決
5 t8 S. R7 a7 l
19#
發(fā)表于 2015-5-27 11:25:11 | 只看該作者
本帖最后由 無痕葉 于 2015-5-27 11:33 編輯 # _& I/ m; M4 I/ r8 _
5 S4 d! u6 ?' f6 l" w2 k7 v
你這個(gè)的確是um級(jí)的檢測(cè)精度,, 誤差控制在5um的話,最小分辨率就是1um的概念,,我們傾向于用高一個(gè)數(shù)量級(jí)的分辨率作為以檢測(cè)基準(zhǔn),,從而保證最終的檢測(cè)精度,目前我們?cè)谧鲆粋(gè)0.5um級(jí)別的檢測(cè),。
: u, G5 N. S. L4 ~9 D9 o1 A當(dāng)然,,還不清楚你的最終結(jié)果是用來做什么? 是用來控制尺寸合格嗎,? 對(duì)于你這種需求,,我們檢測(cè)上來講一般是要設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)模板,然后設(shè)置偏差參數(shù),,進(jìn)行模板比對(duì),,只要成像上能滿足精度,算法都是很成熟的,,至于相機(jī),,鏡頭,光源這些要好好的選型,。5 L" U4 W' i; X1 w5 L+ a% Q) y

! Y+ ]# c: ?" \PS: 我猜測(cè)你的產(chǎn)品可能是跟光有關(guān)的東西,。如果是商業(yè)化,上規(guī)模的產(chǎn)品,,可以私聊,。
20#
 樓主| 發(fā)表于 2015-5-27 20:01:17 | 只看該作者
無痕葉 發(fā)表于 2015-5-27 11:25 / x7 q8 C) U: n) a- O% @
你這個(gè)的確是um級(jí)的檢測(cè)精度, 誤差控制在5um的話,,最小分辨率就是1um的概念,,我們傾向于用高一個(gè)數(shù)量級(jí)的分 ...
) `. O2 d. Z# C# |- Q; z. c
您在北京嗎?' y- a3 V3 k' ^7 t+ n4 O* n" s" B+ P

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