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近日,,日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的研究組與日本CHINO株式會(huì)社合作,成功研發(fā)出了能在1000攝氏度附近高溫區(qū),,準(zhǔn)確測定溫度的白金電阻溫度計(jì),。
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. q2 E. P" _- `以往,在半導(dǎo)體制造等需要對溫度進(jìn)行準(zhǔn)確測定的場合,,都是采用以白金(鉑)絲為傳感器的白金電阻溫度計(jì),。然而,在1000攝氏度附近的高溫區(qū),,白金的電阻率并不穩(wěn)定,,而且白金絲自身也會(huì)產(chǎn)生熱扭曲,所以很難實(shí)現(xiàn)高精度測量。! }# r1 X& {% k4 `2 _
/ a# Y) x6 r/ j, ^為開發(fā)在1000攝氏度高溫區(qū)也能具有穩(wěn)定電阻率的溫度傳感器,,研究組對市場上銷售的白金電阻溫度計(jì)進(jìn)行分析研究后,,對其傳感器進(jìn)行適當(dāng)?shù)臒崽幚恚倮萌毡緡覙?biāo)準(zhǔn)的水三相點(diǎn)裝置和銀凝固點(diǎn)裝置反復(fù)進(jìn)行熱循環(huán)試驗(yàn),,分析不同溫度下的電阻值變化情況,。結(jié)果發(fā)現(xiàn),經(jīng)過熱處理后,,鉑溫度傳感器在1000攝氏度附近的電阻變化實(shí)現(xiàn)最小化,,溫度計(jì)性能更加穩(wěn)定。此外,,通過對鉑絲的結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整優(yōu)化,,使其熱扭曲程度得到減輕。
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! W; h j/ R/ K1 _據(jù)悉,,新開發(fā)的溫度計(jì)在銀凝固點(diǎn)的961.78攝氏度,,測量值變動(dòng)范圍為±0.001度(以前為0.01度);在水三相點(diǎn)的0.01攝氏度,,測量值變動(dòng)也穩(wěn)定在±0.0005度以內(nèi),達(dá)到世界最高水平,。# x | M# M* e$ G/ L9 N) s
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