超精密加工

camvinh

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我們研究室做超精密加工研究，機床加工精度達到1μm以下,，表面粗糙度5-10nm,，一刀就出鏡面。有興趣的朋友,，可以交流交流,。

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qq707459754

清華,？ 牛掰

[email protected]

用的什么刀具？
5 K$ H/ r( G6 ?$ y粗糙度和精度可以代替磨削嗎,？
最長試驗工件是多少,？

camvinh

[email protected] 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
+ \& L; U" H  e8 d用的什么刀具？
% g; m! h* e# ?3 v' O) N2 T# F9 W粗糙度和精度可以代替磨削嗎,？
最長試驗工件是多少,？

用天然金剛石刀具，粗糙度能達到5-10nm,，精度<1μm

喀秋莎88

大理石床身,，看起來高端啊。

camvinh

[email protected] 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
4 i  [; t5 V3 G% u# e: ^) v用的什么刀具,？
粗糙度和精度可以代替磨削嗎,？
! m2 T0 o( p/ f3 K最長試驗工件是多少？

最長150mm

喀秋莎88

千島2000轉(zhuǎn)手動卡盤,？

camvinh

喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 10:08
千島2000轉(zhuǎn)手動卡盤,？

0 `1 T. H' Q1 L3 `是的

﹏ˋ仰望

看著很牛啊

dengxiangxi

超精密切削加工
1 Z' q$ t) ?. M主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等,。在超精密車床上用經(jīng)過精細研磨的單晶金剛石車刀進行微量車削,切削厚度僅1微米左右,，常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度,、表面高度光潔的零件,。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡，最高精度可達0.1微米,，表面粗糙度為Rz0.05微米,。
超精密特種加工
+ a2 v4 y; P6 j3 Y7 o$ E加工精度以納米，甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時,，切削加工方法已不能適應,，需要借助特種加工的方法，即應用化學能、電化學能,、熱能或電能等,，使這些能量超越原子間的結(jié)合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著,、結(jié)合或晶格變形,，以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光,、離子濺射和離子注入,、電子束曝射、激光束加工,、金屬蒸鍍和分子束外延等,。這些方法的特點是對表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度,，仍有賴于精密的加工設備和精確的控制系統(tǒng),，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射,，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜,。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備,。