淺析環(huán)境因素對激光干涉儀測量精度的影響（上）

中圖儀器1

關(guān)于環(huán)境因素

影響激光干涉儀測量精度的環(huán)境因素主要指：

1,、 當(dāng)前測量環(huán)境下的空氣溫度,、濕度、大氣壓力,，影響在空氣中傳播的激光波長,。

2、 被測工件溫度,，影響被測對象的熱膨脹量,。本文不做分析，將在下篇細(xì)述,。

關(guān)于激光干涉儀

SJ6000激光干涉儀

激光干涉儀有單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀,，二者都是采用外差干涉原理，而區(qū)別在于計算公式,，如下所示：

單頻激光干涉儀,，線性測量的計算公式：L＝Nλ／2，其中L為位移,，N為干涉條紋數(shù)目,，λ為激光波長。

雙頻激光干涉儀,，線性測量的計算公式：

其中L為位移,，t為時間，△f為由于運動而引起的頻移,，λ為激光波長,。

激光波長影響分析

結(jié)合激光干涉儀兩個線性測量的公式同時進(jìn)行分析：

1、 單頻激光干涉儀,，若移動半個激光波長,，光電探測器將采集到明暗變化1次，干涉條紋數(shù)目則N＋1,，該項幾乎不會引入誤差,。而雙頻激光干涉儀，△f在時間上積分的結(jié)果相當(dāng)于N,，同樣也幾乎不會引入誤差,。

2、 兩個公式都含有激光波長λ,，而λ的精度直接取決于波長的穩(wěn)定度,，通常要高于線性測量精度指標(biāo)一個量級,，即≤0.05ppm。所以在標(biāo)準(zhǔn)空氣參數(shù)的環(huán)境條件下,，理論上L的線性測量精度也應(yīng)該為0.05ppm,，然而通過Edlen公式可以獲知激光波長λ會受到環(huán)境因素的影響，參見表1,，所以實際應(yīng)用中L的線性測量精度標(biāo)為0.5ppm不無道理,。

激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素對波長的影響

綜上，對環(huán)境因素進(jìn)行綜合考量,，最壞的情況下將會給線性測量精度引入0.48ppm的誤差,。

所以，暫且可以得出下面的結(jié)論：

1,、 激光干涉儀線性測量精度主要取決于激光波長穩(wěn)定度和環(huán)境因素,；

2、 單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀在線性測量精度上并無本質(zhì)區(qū)別,；

3,、 若不考慮被測對象因素的影響，激光干涉儀在線性測量過程中,，誤差主要來源是由環(huán)境因素導(dǎo)致的,。

EC20環(huán)境補償單元

激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補償單元，由環(huán)境補償主機（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）,、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成,，可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度,、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測,。

EC20環(huán)境補償單元

EC20環(huán)境補償單元在出廠前，會依照相關(guān)計量標(biāo)準(zhǔn)對各環(huán)境參量進(jìn)行精確校準(zhǔn),，通常情況下建議24個月校準(zhǔn)一次,。

在使用EC20環(huán)境補償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運動的前提下,，建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置,。至于材料溫度探頭該如何布置或應(yīng)用，則需分不同的測量場合與不同的被測對象,，小編將會作為激光干涉儀的測量關(guān)鍵點進(jìn)行細(xì)述，欲知詳情,，且聽下回分解 ,。

韓寒11

我們用的雷尼紹的激光干涉儀，沒見過車間檢測激光干涉儀精度的

中圖儀器1

韓寒11 發(fā)表于 2017-12-29 21:20
0 U3 h# L9 m3 K* N. L5 ]我們用的雷尼紹的激光干涉儀,，沒見過車間檢測激光干涉儀精度的

7 [$ \) Q. W! {  P8 k- ~6 C' R. d這個是送到計量院（所）去檢的,，一般地方計量院可能都無法檢，需要送到大的計量院甚至中國計量院去檢定,，你們車間是沒有這個資質(zhì)和能力的,。

JXTTTTT

我又來賺威望啦！�,�,！