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發(fā)表于 2012-5-2 19:40:56
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MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫,,即微電子機械系統(tǒng),。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術是建立在微米/納米技術(micro/nanotechnology)基礎上的21世紀前沿技術,是指對微米/納米材料進行設計,、加工,、制造、測量和控制的技術,。它可將機械構件,、光學系統(tǒng)、驅動部件,、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng),。這種 微電子機械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令,,還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動,。它用微電子技術和微加工技術(包括硅體微加工、硅表面微加工,、LIGA和晶片鍵合等技術)相結合的制造工藝,,制造出各種性能優(yōu)異、價格低廉,、微型化的傳感器,、執(zhí)行器、驅動器和微系統(tǒng),。 微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是近年來發(fā)展起來的一種新型多學科交叉的技術,,該技術將對未來人類生活產(chǎn)生革命性的影響。它涉及機械,、電子,、化學、物理,、光學,、生物、材料等多學科。 |
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