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發(fā)表于 2012-5-2 19:40:56
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MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫,即微電子機械系統(tǒng),。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是建立在微米/納米技術(shù)(micro/nanotechnology)基礎(chǔ)上的21世紀前沿技術(shù),,是指對微米/納米材料進行設(shè)計、加工,、制造,、測量和控制的技術(shù)。它可將機械構(gòu)件,、光學系統(tǒng),、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng),。這種 微電子機械系統(tǒng)不僅能夠采集,、處理與發(fā)送信息或指令,還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動,。它用微電子技術(shù)和微加工技術(shù)(包括硅體微加工,、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術(shù))相結(jié)合的制造工藝,,制造出各種性能優(yōu)異,、價格低廉、微型化的傳感器,、執(zhí)行器,、驅(qū)動器和微系統(tǒng)。 微電子機械系統(tǒng)(MEMS)是近年來發(fā)展起來的一種新型多學科交叉的技術(shù),,該技術(shù)將對未來人類生活產(chǎn)生革命性的影響,。它涉及機械、電子,、化學,、物理、光學,、生物,、材料等多學科。 |
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