日本半導體材料的神話與現(xiàn)實

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2021年6月，日本眾議院召開了一場主題為“復興日本半導體產(chǎn)業(yè)”的研討會,，時值在疫情中遭遇重創(chuàng)的鎧俠半導體（即東芝存儲芯片部門）四處尋找接盤俠,，日本存儲芯片最后的火種奄奄一息,，日本官方邀請了五位專家學者暢所欲言,，為產(chǎn)業(yè)復興出謀劃策,，壓軸發(fā)言的是一個名叫湯之上隆的人,。

湯之上隆曾任職于日立,、爾必達的一線研發(fā)部門，親歷了日本半導體產(chǎn)業(yè)從輝煌走向沒落的整個過程,。2015年,，他將自己的經(jīng)歷與思考寫進了《失去的制造業(yè)》一書,，拋開其中對老東家和老領導的冷嘲熱諷，《失去的制造業(yè)》堪稱研究日本芯片產(chǎn)業(yè)的必讀書目,。

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相比日本官方高舉復興大旗,，湯之上隆在研討會上建議大家以最快的速度躺平，讓在場議員們大跌眼鏡：“失去的半導體產(chǎn)業(yè)已無法挽回,，繼續(xù)投入就是浪費納稅人的錢,。”

他認為,，由于日本的半導體公司一直難以適應產(chǎn)業(yè)變化,，早已錯失歷史機遇；如今與其瞎折騰,，不如守護好最后一點家底：位于半導體產(chǎn)業(yè)鏈最上游的設備與材料,。

一塊芯片封裝前，會經(jīng)歷薄膜沉淀,、光刻,、蝕刻、清洗等多項工藝,，每一步都需要特定的加工設備與原材料,。過去數(shù)十年，日本企業(yè)一直是部分半導體設備的主要提供商,。

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而日本公司對半導體材料近乎壟斷的地位更是威名在外：前段工序常用的材料有19種,，其中14種都由日本企業(yè)主導。

2019年7月,，隨著日韓矛盾加劇,，日本政府對韓國企業(yè)發(fā)起制裁，限制半導體核心材料的出口,。鐵錘剛砸下三天,，三星掌門李在镕如坐針氈，專程趕赴日本懇求松口,。

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后來眾議員的研討會結束不久,，湯之上隆就寫了篇文章，標題叫“日本半導體設備和材料為何那么強,？”,，自豪之情溢于言表。

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極其夸張的市場份額

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結果文章發(fā)出去沒多久,，日本就吃了一場敗仗,。2021年，韓國的SEMES強勢崛起,，超越日本企業(yè)SCREEN成為全球第六大半導體設備公司,，其母公司正是在材料上被卡的翻白眼的三星,。同一時期，三星一口氣投資了十幾家材料公司,，希望在材料環(huán)節(jié)繞開日本,。

另一個有趣的現(xiàn)象是，相比輿論對日本半導體材料壟斷地位的艷羨,，以及日本在化學,、材料學等領域長期耕耘的贊譽，日本產(chǎn)業(yè)界卻對這一成就評價復雜：

湯之上隆一邊高度認可材料環(huán)節(jié)的強勢地位,，但一邊稱日本對韓國的斷供“極其愚蠢”。另一位學者西村吉雄則在《日本電子產(chǎn)業(yè)興衰錄》中說,，日本芯片產(chǎn)業(yè)衰落的原因之一,，就是做了太多基礎研究，反而忽視了應用和模式層面的創(chuàng)新,。

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日本的半導體材料常常是一個被輿論神化的產(chǎn)業(yè),，它實際上并不復雜，但也沒有那么簡單,。

卡脖子

對韓國芯片公司而言,，日本的貿(mào)易制裁，其威力不亞于往京畿道工廠丟一顆炸彈,。

被限制出口的半導體材料共有三種,，首當其沖的是氟化聚酰亞胺。這個念起來有些費嘴的化學物質,，是部分OLED面板的原材料,。一旦掐斷供給，OLED電視等拳頭產(chǎn)品將面臨無貨可出的窘境,。

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但對三星等韓企來說,，更棘手的其實是另外兩件“戰(zhàn)略核武器”。

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第一件是EUV光刻膠,，打擊目標是韓國半導體的“未來”,。

光刻膠是光刻工藝的關鍵材料，而光刻又是芯片制造的核心工藝,。目前最先進的光刻工藝是EUV（極紫外線）,，用于生產(chǎn)7nm以及更先進制程的芯片。

過去幾年,，三星一直在努力迭代自研的手機處理器Exynos,，即便三星自己擁有7nm和5nm制程工藝，但也繞不開光刻膠這一環(huán),。此時,，作為原材料的光刻膠遭到制裁,，本就不富裕的日子變得更加雪上加霜。

另外,，三星,、SK海力士對下一代DRAM的研發(fā)也將被迫暫停。當前,，市場上的DRAM產(chǎn)品仍在努力逼近10nm制程,，尚且用不上EUV光刻這樣的先進技術；但未來DRAM的制程大概率會提升至5nm,，這便踏進了EUV光刻的領域,。

EUV光刻

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相比之下，第二把利器殺傷力更甚,。這款名叫高純度氟化氫的材料,，足以扼住韓國半導體的“現(xiàn)在”。

氟化氫是一種清洗用的化學材料,。清洗工藝能夠去除芯片生產(chǎn)所帶來的雜質,，是影響芯片品質的關鍵環(huán)節(jié)。生產(chǎn)一款芯片大概需要500至1000個步驟,，其中大約10%的步驟都得用到氟化氫進行清洗,，堪稱是半導體的“血液”。

一旦氟化氫庫存告急,，邏輯半導體（如CPU）,、DRAM等主流半導體芯片均無法生產(chǎn)，能否開展日常業(yè)務都將打上一個問號,。

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面對日本的咄咄逼人,，危機感爆棚的韓國人使出了渾身解數(shù)，先是跑去WTO伸冤打官司,，與此同時,，政府牽頭大搞國產(chǎn)替代，一口氣投入了6萬億韓元的預算,，三星也跟著投資了一批韓國本土的半導體材料企業(yè),。

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在“打倒日本帝國主義”的號召下，同仇敵愾的韓國企業(yè)成功研發(fā)出了國產(chǎn)版本的高純度氟化氫和EUV光刻膠,。文在寅卸任前的新年致辭中,，曾重點提及了上述成就。

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文在寅視察韓國產(chǎn)氟化氫

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然而,，故事的走向卻沒有發(fā)生太多逆轉：直到如今,，日本依舊高度壟斷著高純度氟化氫和EUV光刻膠。

其地位之所以屹立不倒，和上述半導體材料的一大特質有關：日本壟斷的材料,，多是不能即插即用的非標準化產(chǎn)品,。

其中氟化氫尤為典型——清洗并不是一項標準化的工藝，每個制造商都有各自的理解和流程,。因此,，關于氟化氫的使用，實際上有稀釋,、與氯化氫混合,、與過氧化氫混合等多種完全不同的方案。而每種方案對氟化氫產(chǎn)品的要求又不太一樣,，均需要專門定制,。

另一方面，大多數(shù)產(chǎn)品的理論原理和工藝技術都是公開的,，但選材與配比的數(shù)值,，甚至生產(chǎn)車間合適的溫度和濕度，都需要漫長的實驗才能得到最佳結果,。材料的非標特質，會帶來兩方面影響：

（1）企業(yè)難以輕易更換解決方案以及相關供應商,，一旦合作就是長期綁定,。

在這方面，日本自己就吃過虧,。1999年,，日立和NEC兩家龍頭企業(yè)合資成立了存儲企業(yè)爾必達，準備向領跑的三星發(fā)起進攻,。但在公司成立的頭兩年,，卻爆發(fā)了嚴重的生產(chǎn)問題，市場份額也迅速下跌,，而“罪魁禍首”之一正是日立和NEC的清洗方案不兼容,。

因此，哪怕韓國企業(yè)自研出了高純度氟化氫,，依舊不能立刻擺脫日企的壟斷,，最快也需要至少1年時間做測試；而EUV光刻膠的更換周期則更久,，通常需要測試2-3年才能搬上產(chǎn)線,。

“有國產(chǎn)材料”和“用國產(chǎn)材料”，實際上是兩件事,。

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氟化氫

（2）非標材料的制造工藝多且繁雜,，甚至存在部分只可意會不可言傳的隱性知識，需要企業(yè)有長期相關的積累。在這方面,，向來以“匠人精神”自居,、發(fā)力較早的日本同樣有先天優(yōu)勢。

正如湯之上隆在書中寫道：日本半導體材料的競爭力核心,，正是日本獨特的匠人文化,。

不可否認，這種“一生做好一件事”的匠人文化,，確實在氟化氫這類具備延續(xù)性的領域頗有成效,。氟化氫技術的迭代，本質是不斷提升純度,，將小數(shù)點后面的9越做越多的過程,，主打一個精益求精。

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韓國雖實現(xiàn)了氟化氫的國產(chǎn)化,，但其純度只有99.99999999%（小數(shù)點后8個9）,，日本企業(yè)卻能做到小數(shù)點后10個9�,？瓷先ハ嗖顭o幾,，但如果乘上幾十上百道工序，最終結果會千差萬別,。

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但問題是,，難道隔了個日本海，匠人文化就失傳了嗎,？日本半導體材料的強勢,，顯然不能只用文化來解釋。

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日本式的勝利

和半導體產(chǎn)業(yè)很多環(huán)節(jié)一樣,，光刻膠誕生于美國,，柯達、IBM曾是該市場的領跑者,，但最終被日本產(chǎn)業(yè)化,。

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從上世紀80年代開始，日本光刻膠產(chǎn)業(yè)突然火力全開,，最終將IBM斬于馬下,。這一切的起點，始于一個至今仍被全球反復研究的項目——VLSI,。

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1976年,，IBM研發(fā)新一代計算機的消息傳來，日本業(yè)界意識到1μm或更小工藝日趨臨近,，深感時不我待的通產(chǎn)省集結了富士通,、日立,、三菱、東芝,、NEC五家半導體公司,，以及日本工業(yè)技術研究院、 電子綜合研究所和計算機綜合研究所三家機構,，開展了一個名為VSLI（超大規(guī)模集成電路）的追趕計劃,。

VLSI最大的成就是DRAM芯片的突破，直接開創(chuàng)了日本半導體的黃金年代,。但實際上,，VLSI項目共設有六個實驗室，除了三個搞產(chǎn)品研發(fā)的,，還有專門負責攻堅半導體材料,、光刻工藝以及封裝測試技術的團隊。其中第四實驗室的科研成果,，就是負性光刻膠,。

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當時，隔壁的第五實驗室成功生產(chǎn)出了縮小投影型光刻裝置,。由于材料和設備兩者互相強綁定,，需要一同配套研發(fā)，這讓第四實驗室的光刻膠研發(fā)掃除了最大的障礙,。

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VLSI最大的成果,，實際上是通過市場規(guī)模巨大的DRAM的突破，創(chuàng)造了一套國產(chǎn)產(chǎn)業(yè)鏈,，擺脫了對美國的設備依賴。包括做材料的京瓷和住友,，做光罩的TOPPAN,，做封測的東京電子，和做光刻機的尼康,。

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光刻膠

90年代,，KrF開始成為光刻膠的主流路線。此時,，尼康推出了全球首個實現(xiàn)商業(yè)化應用的KrF光刻機系統(tǒng),，隔壁的光刻膠企業(yè)趁勢追趕。從2000年開始,，隨著光刻膠路線開始往ArF和EUV轉向,，日本又迅速和新任光刻機龍頭ASML建立了深度綁定，雙方配套研發(fā),、共同迭代,。

由于和產(chǎn)業(yè)鏈的深度綁定，不論技術路線如何變化，日本光刻膠都有機會領跑,。

另一個推手則是日本產(chǎn)業(yè)界對基礎科研的極端重視,。雖然大多數(shù)新技術都在日本產(chǎn)業(yè)化，但日本社會普遍不滿足于生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)的成功,，尤其是以貝爾實驗室為代表的大公司研究院模式,，更是被日本反復學習效仿。

彼時,，日本主流思潮認為：如果能在基礎科學上也保持領先,，日本將長期立于不敗之地。

90年代后,，日本經(jīng)濟陷入長期衰退,，日本官方再次下場，希望通過對基礎研究的投入復蘇半導體產(chǎn)業(yè),。1995年,，日本出臺了《科學技術基本法》，并計劃此后每年往科學領域投入4萬億至5萬億日元,。

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2001年,，日本政府提出，希望到2050年,，日本能誕生30個諾貝爾獎,。此后20年，日本足足有16人獲得了三大自然科學類諾貝爾獎,，位居全球第三,，其中6個屬于和半導體材料強相關的化學領域。

依靠在基礎科研上的長期投入,，日本一直維持著半導體材料市場的霸主地位,，并且將領先蔓延到了動力電池產(chǎn)業(yè)。2019年,，吉野彰獲得了諾貝爾化學獎,，他的一大成就是發(fā)現(xiàn)了鋰電池負極材料，日本企業(yè)則是該領域的領跑者之一,。另外,，松下也是動力電池最主要的生產(chǎn)商之一。

但讓日本產(chǎn)業(yè)界始終難以介懷的是,，與半導體材料的凱歌高奏相反,，日本的傳統(tǒng)優(yōu)勢項目存儲、面板,、芯片制造等環(huán)節(jié),，卻始終止步不前,，成為了電子產(chǎn)業(yè)黃金年代中尷尬的旁觀者。

得到的與失去的

2023年3月,，韓國總統(tǒng)尹錫悅出訪日本,，宣告自2019年開始的日韓貿(mào)易戰(zhàn)結束。韓國不少聲音認為,，尹錫悅已經(jīng)舉白旗投降——因為爭端源頭是歷史遺留問題催生的民族矛盾,，但他上臺后卻對這些問題閉口不談，更主動對日本示好,，無疑是“滑跪”的體現(xiàn),。

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然而湯之上隆并不這么認為。他公開表示,，制裁正在親手摧毀日本的氟化氫產(chǎn)業(yè),，堪稱“歷史性的愚策”，因為日本同樣高度依賴韓國市場,。

事實也是如此,，日本財務省統(tǒng)計的出口數(shù)據(jù)顯示，2011年之后,，韓國一直是日本氟化氫的最大出口國,，并占據(jù)了總出口量的90%以上。由于氟化氫難以輕易替換,，一旦合作便是長期綁定,；但反過來說，一旦三星鐵了心要搞國產(chǎn)替代,，日本氟化氫也會失去最主要的收入來源,。

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而這種影響已經(jīng)開始出現(xiàn)。2019年之前,，日本氟化氫的對韓出口量大約在每月3000噸左右,。此后，日本雖然解除了出口限制,，但直到2023年年初，這個數(shù)字依舊只有約500噸,。

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日本氟化氫對韓出口變化

這種“傷敵一千,，自損一千二”的現(xiàn)象，反映了整個半導體材料行業(yè)的尷尬處境：戰(zhàn)略價值大,，但戰(zhàn)術價值小,。

材料雖是芯片生產(chǎn)的必需品，但市場規(guī)�,！皟H有”643億美元（2021年）,，相比之下,，日本人失去的存儲和面板市場，規(guī)模都高達1600億美元和1300億美元（2021年）,。這還沒算上曾是日本傳統(tǒng)優(yōu)勢項目——被蘋果,、高通、英偉達等公司占據(jù)的消費電子市場,。

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因此高情商的說法是,，幾百億規(guī)模的半導體材料，足以影響下游上萬億規(guī)模的電子市場,；但低情商的說法是,，市場規(guī)模也就這么大。

這也是日本產(chǎn)業(yè)界無法釋懷的原因：相比他們失去的存儲,、面板,、芯片制造和消費電子市場，材料領域的霸權實在是太微不足道了,。

在《日本電子產(chǎn)業(yè)興衰錄》一書中,，對于日本政府和企業(yè)在科研上的大手筆投入，作者西村吉雄非但不覺得驕傲,，反而認為對科研的癡迷導致日本半導體公司錯過了90年代電子產(chǎn)業(yè)的轉型大潮,。他提出了一個很有代表性的觀點：日本公司很擅長研究“怎么做”，卻疏于判斷“做什么”,。

西村吉雄認為,，基礎科學固然重要，但日本對此有些過度迷信,，把“創(chuàng)新”與“技術突破”混為一談,。在書中，他通過英特爾的例子來論證,，其成功恰恰不是依賴于科學研究,，而是打造了“技術封閉+標準開放”的生態(tài)，任何開發(fā)者都可以基于x86架構與Windows系統(tǒng)開發(fā)軟件,，最終成為了消費電子時代的霸主,。

微處理器（CPU）等邏輯半導體的出現(xiàn)，其實和基礎科學的進步無關,，更多是受到了市場需求的推動,。日本對基礎科學的癡迷，最終導致它與一個千億美金的市場失之交臂,。

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后來,，湯之上隆又在《失去的制造業(yè)》里補充一個生動鮮活的案例：

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被三星打到破產(chǎn)的爾必達，其實在技術上遠遠超過三星,。比如爾必達的512M DRAM的良品率可以達到98%,，三星只有83%,，但問題是，把成品率從80%提高到95%需要付出巨大的成本,。相比三星2005年30%的利潤率,，爾必達只有3%。

2008年,，行業(yè)進入下行周期,，三星故意擴產(chǎn)進一步壓低價格，爾必達虧到親媽不認,。在破產(chǎn)的發(fā)布會上,，CEO坂本幸雄仍然念叨著“爾必達技術世界第一”。

湯之上隆在《失去的制造業(yè)》中總結了日本強勢產(chǎn)業(yè)的幾個特點,，其中最重要的一點是：日本公司擅長在一條長坡厚雪的賽道做持續(xù)的創(chuàng)新,，而不善于面對頻繁的技術變化。

前者的代表是燃油車,、鋰電池和半導體材料這類“干中學,、學中干”色彩強烈的產(chǎn)業(yè)，后者則是他們失去的存儲和面板,。無論是市場地位,、公司營收，還是創(chuàng)造的利稅,、崗位與附加值,，半導體材料都無法和后者相比擬。

尾聲

20世紀80年代,，西方世界對東亞經(jīng)濟騰飛的解讀仍以新自由主義為底色,，日本政府頗有微詞，豪擲120萬美元考察費,，邀請世界銀行專家“客觀分析”日本模式成功的原因,。1993年，世行出版了針對東亞后發(fā)經(jīng)濟體的研究報告《東亞奇跡》,，扭扭捏捏的承認了“政府主導產(chǎn)業(yè)升級”的益處,。

報告發(fā)表一年后，美國經(jīng)濟學家保羅·克魯格曼(Paul Krugman)在《外交雜志》上潑了一盆冷水,，稱日本“并非經(jīng)濟奇跡的典型”,，亞洲四小虎更是紙老虎："亞洲的繁榮是高投入創(chuàng)造的數(shù)量增長，而非效率提升,，建立于浮沙之上，遲早會幻滅 ,。"

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80年代也是日本產(chǎn)業(yè)界自我反省的高峰期,，日本人認為,，自己不應該滿足于將誕生于美國技術產(chǎn)業(yè)化，而是應該效仿美國企業(yè)設立研究院,，在基礎科研上百尺竿頭更進一步,，在下一次技術浪潮中拔得頭籌。

直到今天,，日本企業(yè)的科研投入仍保持在全球一線梯隊：2019年,，日本企業(yè)的研發(fā)投入占該年度GDP的3.51%，位居全球第三,。

陰差陽錯的是,，在長久的經(jīng)濟衰退中，日本的優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)被韓國,、中國大陸和臺灣地區(qū)瓜分殆盡,，在日本人眼里，產(chǎn)業(yè)上游的霸權地位,，更像是某種體面的撤退,。

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日本在半導體材料上的霸權依然穩(wěn)固，但他們更加在意的是,，夏普的龜山屏,、東芝的Dynabook和索尼的Walkman，曾一次又一次驚艷過世界,。

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基礎科研與所謂“應用創(chuàng)新”,，本質上并無高低優(yōu)劣之分，長周期高投入的科研與商業(yè)利益的平衡從來都難以取舍,。但歸根結底,，創(chuàng)新的目的不是為了卡誰的脖子，而是通過提高定價權獲得更高的產(chǎn)業(yè)附加值,，繼而通過高收入崗位的創(chuàng)造與財富再分配,，改善更多普通人的生活。

摯愛重金屬

師傅,，你是做什么工作的,，鷹大給你發(fā)工資嗎