設備內(nèi)部如何控制潔凈度要求達到class10標準

海軍風蝴蝶結 · 發(fā)表于 2024-5-31 23:23:21

各位大佬求助一下，半導體設備內(nèi)部要求運動的時候潔凈度等級要達到class10,，有沒有知道要如何入手,，以及應該測哪些位置,，一定要所有位置都達到classq10嗎,？怎么確定測哪些點

hxglty · 發(fā)表于 2024-6-1 08:53:45

加過濾,，加抽風,，用符合要求的材料和運動方式

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設備內(nèi)部如何控制潔凈度 要求達到class10標準