微電子機(jī)械系統(tǒng)發(fā)展展望

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微電子機(jī)械系統(tǒng)發(fā)展展望 （高技術(shù)）
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9 _0 Z3 S: e6 m7 E$ Q' U$ C, G% g 　　李志堅(jiān) 　　M E M S 一詞由M i c r o E l e c t r o M e c h a n i c a l S y s t e m 的4 個(gè)字首組成， 可譯為微電子機(jī)械系統(tǒng)。M E M S 的起源可以追溯到6 0 年代，1 9 8 9 年后M E M S 一詞就漸漸成為一個(gè)世 界性的學(xué)術(shù)用語(yǔ),，M E M S 技術(shù)的研究開發(fā)也日益成為 國(guó)際上的一個(gè)熱點(diǎn),。與M E M S 一詞同時(shí)流行的還有M i c r o M a c h i n e （微機(jī)械）和M i c r o S y s t e m （微系統(tǒng)）,。它們都以微�,。∕ i c r o ）為特征,，有的強(qiáng)調(diào)機(jī)械，有的強(qiáng)調(diào)系統(tǒng),，但當(dāng)前人們 常不加區(qū)別地與M E M S 通用,。 　　一般地說(shuō)，M E M S 具有以下非約束性的特征： ( E- O2 a6 L9 c' k 　�,。�1 ）尺寸在毫米到微米范圍之內(nèi),，區(qū)別于一般宏 （M a c r o ），即傳統(tǒng)的,、大于1 厘米尺度的“機(jī)械 ”,，但并非進(jìn)入物理上的微觀層次； J Y# h1 ]! m. g# p 　�,。�2 ）基于（但不限于）硅微加工（M i c r o f a b r i c a t i o n ）技術(shù)制造,； 0 C" K* c4 v: r 　　（3 ）與微電子芯片類同,，可大批量,、低成本生產(chǎn) ，性能價(jià)格比傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅提高,； 　�,。�4 ）M E M S 中的“機(jī)械”不限于狹義的機(jī)械力 學(xué)中的機(jī)械，它代表一切具有能量轉(zhuǎn)化,、傳輸?shù)裙δ艿?BR>效應(yīng),，包括力、熱,、聲,、光、磁,，乃至化學(xué),、生物能等 ； / S# N2 n! L* @( |8 Z& Y2 H 　�,。�5 ）M E M S 的目標(biāo)是微“機(jī)械”與I C 集成的 微系統(tǒng)———有智能的微系統(tǒng),。 　　用以上特征衡量，用微電子技術(shù)（但不限于此）制 造的微小機(jī)構(gòu),、器件,、部件和系統(tǒng)等都屬于M E M S 范 圍，微機(jī)械和微系統(tǒng)只是M E M S 發(fā)展的不同層次,，有 關(guān)的科學(xué)技術(shù)都可統(tǒng)稱為M E M S 技術(shù),。 ; p/ C: l2 i8 g 　　當(dāng)前,，信息技術(shù)已走上多媒體、網(wǎng)絡(luò)化和智能化的 道路,，微電子信息處理已向系統(tǒng)級(jí)芯片集成發(fā)展,。無(wú)論 從微型化或性能價(jià)格比發(fā)展看，信息獲�,。▊鞲校┘夹g(shù) 和信息執(zhí)行技術(shù),，即所謂“外部設(shè)備”技術(shù)都已成為發(fā) 展的瓶頸；它們與“主機(jī)”的接口（H I ）也成為阻礙 處理速度的關(guān)鍵,。M E M S 技術(shù)的目標(biāo)是把信息獲取,、 處理和執(zhí)行一體化地集成在一起，使之成為真正的系統(tǒng) ,，因此該技術(shù)對(duì)信息技術(shù)的革命意義是不言而喻的,。對(duì) 傳統(tǒng)的“機(jī)械學(xué)”來(lái)說(shuō)，M E M S 技術(shù)不僅打開了“微 尺寸”新領(lǐng)域的大門,，也是真正實(shí)現(xiàn)機(jī)電一體化的開始 ,。M E M S 被認(rèn)為是微電子技術(shù)的又一次革命，對(duì)2 1 世紀(jì)的科學(xué)技術(shù),、生產(chǎn)方式和人類生活質(zhì)量都會(huì)有深遠(yuǎn) 的影響,。 　　（原載《科技導(dǎo)報(bào)》9 ／1 9 9 7 ,，本文是一篇論 文的引言部分） ! G' g9 j; Y! t- f' m5 ] 　　《人民日?qǐng)?bào)》（1 9 9 7 1 1 2 6 十版）

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M E M S                  微電子機(jī)械系統(tǒng)   美國(guó)叫法      基于IC工藝發(fā)展起來(lái)的
. l4 k; Z8 ]$ L: V6 L+ ai c r o M a c h i n e  微機(jī)械           日本豬叫法    基于精密加工發(fā)展起來(lái)的
* ^9 F$ `/ v6 X5 c3 u4 @% GS y s t e m              微系統(tǒng)           歐洲叫法      基于德國(guó)LIGA工藝發(fā)展起來(lái)的

胡輝958857016

MEMS在當(dāng)前中國(guó)還不可能做高深的探究,。。,。。

luyupei

我們?cè)瓉?lái)公司的總工是這方面的雙博士,，在中國(guó)混不下去了,，又回美國(guó)了！