真空吸附加工問(wèn)題

業(yè)峰心飛翔

   我們需要用激光切割硅片，因?yàn)楣杵�的尺寸�?50mm*150mm*0.2mm,太薄,，而且易碎，切割時(shí)因?yàn)槭軣峁杵瑫?huì)翹起,，想用真空吸附的辦法解決翹起問(wèn)題,，請(qǐng)問(wèn)大家選用真空發(fā)生器好還是真空泵好，有朋友能提供這方面的資料嗎,？

leftwall

門外漢說(shuō)兩句
加水冷不行么,？
* a" z5 m, ^/ R. Q* v印象中對(duì)抽速和真空度要求不大用發(fā)生器吧（沒(méi)實(shí)際搞過(guò)，僅僅是模糊的印象）

業(yè)峰心飛翔

沒(méi)有加水手工把片分開(kāi)都要小心,，有時(shí)會(huì)碎,，其他的就問(wèn)題就不用說(shuō)了

ahway

我為大族激光推薦的方案是使用PIAB真空發(fā)生器piClassic系列，流量至少300NL/min,，真空度最高-95Kpa,。

冷欣

機(jī)械行業(yè)包含的范圍太廣了，我們單位是重型加工,，真沒(méi)見(jiàn)過(guò)這么小的加工

251785340

按照你的尺寸,，真空發(fā)生器就OK了，真空度-80一-90KPa,。但是要考慮吸附后的影響,，吸痕或者吸附力不均勻等�,？梢钥紤]下采用多個(gè)非接觸吸盤加定位機(jī)構(gòu),。

jayhu

硅片加工為什么不采用蝕刻的方法呢？

liuyong453

你是不是應(yīng)該加水切割

真空專家

要用真空泵

天氣

251785340 發(fā)表于 2012-4-22 19:43
' G" C8 w: F* Y& l1 O  }6 |按照你的尺寸,，真空發(fā)生器就OK了,，真空度-80一-90KPa,。但是要考慮吸附后的影響，吸痕或者吸附力不均勻等,�,？� ...

大俠是否有用吸盤和定位機(jī)構(gòu)的案例圖片？