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CHEXINGNAOSHI 發(fā)表于 2012-5-7 10:46 ![]()
4 d) F. T) C" I+ b" E4 sMEMS是微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文縮寫,。MEMS是美國(guó)的叫法,在日本被稱為微機(jī) ...
6 o* s$ ~- B* ?% s* |0 O- @/ e微光電子機(jī)械系統(tǒng)(MOEMS)是一種新興技術(shù),日前已成為全球最熱門的技術(shù)之一,。MOEMS是利用光子系統(tǒng)的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS),內(nèi)含微機(jī)械光調(diào)制器,、微機(jī)械光學(xué)開(kāi)關(guān)、IC及其他構(gòu)件,并利用了MEMS技術(shù)的小型化...更多>> 微光電子機(jī)械系統(tǒng)(MOEMS)是一種新興技術(shù),日前已成為全球最熱門的技術(shù)之一,。MOEMS是利用光子系統(tǒng)的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS),內(nèi)含微機(jī)械光調(diào)制器、微機(jī)械光學(xué)開(kāi)關(guān),、IC及其他構(gòu)件,并利用了MEMS技術(shù)的小型化,、多重性、微電子性,實(shí)現(xiàn)了光器件與電器件的無(wú)縫集成 |
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