了解靶材的朋友進(jìn)來聊聊把

jayrain

不知發(fā)這里合適不咯,，對這一塊確實(shí)是小白,，和朋友聊他說國內(nèi)的靶材不行。請了解靶材的朋友隨便聊聊,，行業(yè)情況,、制造工藝、造好靶材的難度在哪里,？

changkongceyi

靶材的雜質(zhì)元素不好控制....

jayrain

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-25 09:13
% }; Y$ i6 r6 l靶材的雜質(zhì)元素不好控制....

這個(gè) 有所聽說,，象雜質(zhì)元素,，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

changkongceyi

jayrain 發(fā)表于 2012-9-25 20:52
2 t1 r: u) B  T( [* J0 G這個(gè) 有所聽說,，象雜質(zhì)元素,，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

肯定會有影響,，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射,，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣,，與基材的附著力也就有區(qū)別了,，純度肯定也就降下來了

jayrain

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 08:19
( p5 E, q6 `# f, s  X! s2 Z/ T肯定會有影響，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射,，那鍍制的膜就有化合物成分,，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的 ...

前輩做哪塊的,？對靶材制造工藝這塊有沒有合適的書籍或手冊,，或者掃盲性質(zhì)的也行。我現(xiàn)在對這個(gè)只有個(gè)大概粗略輪廓,。

changkongceyi

{:soso_e127:}不敢當(dāng),，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬）,，純度其實(shí)就是冶煉跟加工過程中雜質(zhì)元素的控制,，個(gè)人理論書籍看看材料的就行，可以在社區(qū)材料論壇多晃蕩晃蕩,，他們才是真的前輩跟高手

jayrain

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 16:03
3 M  Y$ d. M2 c  U" \不敢當(dāng),，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬）,，純度其實(shí)就是冶 ...

嗯,，謝謝了。得看看,。沒搞過材料,，感覺水還蠻深納。

changkongceyi

jayrain 發(fā)表于 2012-9-27 08:55
: Q. Y* p( C9 a* W8 a2 O3 N嗯,，謝謝了,。得看看。沒搞過材料,，感覺水還蠻深納,。

0 s+ r5 c. w, ]! o1 A呵呵，那就從鐵碳合金開始吧,，看完這個(gè)就知道鐵靶的雜質(zhì)元素,、金相組織,；然后就可以進(jìn)一步思考：如何從工藝上提高靶材的純度（影響因素會很多，想想就明白為啥國產(chǎn)靶材不如進(jìn)口的了,這當(dāng)然也是整個(gè)國產(chǎn)材料的現(xiàn)狀....)