了解靶材的朋友進(jìn)來(lái)聊聊把

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-13 18:23:33

不知發(fā)這里合適不咯,，對(duì)這一塊確實(shí)是小白,，和朋友聊他說(shuō)國(guó)內(nèi)的靶材不行,。請(qǐng)了解靶材的朋友隨便聊聊,，行業(yè)情況,、制造工藝,、造好靶材的難度在哪里,？

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-25 09:13:40

靶材的雜質(zhì)元素不好控制....

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-25 20:52:26

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-25 09:13
9 |1 d- l& i0 ]靶材的雜質(zhì)元素不好控制....

這個(gè) 有所聽(tīng)說(shuō),，象雜質(zhì)元素,，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-26 08:19:03

jayrain 發(fā)表于 2012-9-25 20:52
( b$ K* W7 u. U: {這個(gè) 有所聽(tīng)說(shuō),，象雜質(zhì)元素,，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

肯定會(huì)有影響,，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射,，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣,，與基材的附著力也就有區(qū)別了,，純度肯定也就降下來(lái)了

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-26 11:03:48

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 08:19
2 M# g/ J7 O' M B4 ~! H1 }肯定會(huì)有影響，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射,，那鍍制的膜就有化合物成分,，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的 ...

前輩做哪塊的,？對(duì)靶材制造工藝這塊有沒(méi)有合適的書(shū)籍或手冊(cè),，或者掃盲性質(zhì)的也行。我現(xiàn)在對(duì)這個(gè)只有個(gè)大概粗略輪廓,。

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-26 16:03:54

{:soso_e127:}不敢當(dāng),，我接觸磁控濺射沒(méi)多久，靶材說(shuō)白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬）,，純度其實(shí)就是冶煉跟加工過(guò)程中雜質(zhì)元素的控制,，個(gè)人理論書(shū)籍看看材料的就行，可以在社區(qū)材料論壇多晃蕩晃蕩,，他們才是真的前輩跟高手

jayrain · 發(fā)表于 2012-9-27 08:55:23

changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 16:03 ) j6 M& {! J1 g$ ?
不敢當(dāng),，我接觸磁控濺射沒(méi)多久，靶材說(shuō)白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬）,，純度其實(shí)就是冶 ...

嗯,，謝謝了。得看看,。沒(méi)搞過(guò)材料,，感覺(jué)水還蠻深納。

changkongceyi · 發(fā)表于 2012-9-27 09:47:54

jayrain 發(fā)表于 2012-9-27 08:55
7 c* B% x4 K2 O6 Z& d7 ?嗯,，謝謝了,。得看看。沒(méi)搞過(guò)材料,，感覺(jué)水還蠻深納,。

呵呵,，那就從鐵碳合金開(kāi)始吧，看完這個(gè)就知道鐵靶的雜質(zhì)元素,、金相組織,；然后就可以進(jìn)一步思考：如何從工藝上提高靶材的純度（影響因素會(huì)很多，想想就明白為啥國(guó)產(chǎn)靶材不如進(jìn)口的了,這當(dāng)然也是整個(gè)國(guó)產(chǎn)材料的現(xiàn)狀....)

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