一個用于半導體行業(yè)的清洗方案，社友幫我看看可行嗎

丹楓911 · 發(fā)表于 2014-5-25 21:15:39

一個用于半導體行業(yè)的清洗方案,，用來清洗晶圓片,，用高壓水清洗，伺服電機帶動晶圓片旋轉(zhuǎn),，1000多轉(zhuǎn)每分鐘,，晶圓片真空吸附，大家看看主軸旋轉(zhuǎn)這個結(jié)構(gòu)怎么樣,，基準板是焊接到機架上的,，打算焊接后再加工一刀。

迷茫的維修 · 發(fā)表于 2014-5-25 21:19:26

沒看清,，感覺類似立車的主軸
你參考一下
再有就是,，你想得到什么樣的精度
選什么樣的軸承
端跳，經(jīng)跳
需要考慮什么工況,，盤子會不會飄,？
純屬瞎猜

走路empty · 發(fā)表于 2014-5-25 23:04:42

藍寶石？
可以參考涂膠機清洗結(jié)構(gòu)

亂試佳人 · 發(fā)表于 2014-5-26 08:31:06

我看錯了，我以為你要清洗這個行業(yè)呢,！

八點半 · 發(fā)表于 2014-5-26 10:47:32

就一個普通轉(zhuǎn)臺就行啊，也不需要太大的精度吧！

丹楓911 · 發(fā)表于 2014-5-26 22:54:48

八點半發(fā)表于 2014-5-26 10:47
就一個普通轉(zhuǎn)臺就行啊,，也不需要太大的精度吧！

精度要求不高,，主要動平衡要好,，還有真空吸附要效果好

沉睡的紅楓葉 · 發(fā)表于 2014-5-27 22:14:50

值得學習

desa2002 · 發(fā)表于 2014-5-28 08:29:51

學習

我很愛機械設(shè)計 · 發(fā)表于 2014-5-28 09:21:24

路過學習～

		自動登錄	找回密碼
密碼			注冊會員