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激光傳感器:利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器,。它由激光器,、激光檢測(cè)器和測(cè)量電路組成,。激光傳感器是新型測(cè)量?jī)x表,,它的優(yōu)點(diǎn)是能實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸遠(yuǎn)距離測(cè)量,,速度快,,精度高,,量程大,,抗光、電干擾能力強(qiáng)等,。
" {, m n* f) b4 _; P1 B- F# X激光是20世紀(jì)60年代出現(xiàn)的最重大的科學(xué)技術(shù)成就之一,。它發(fā)展迅速,已廣泛應(yīng)用于國(guó)防,、生產(chǎn),、醫(yī)學(xué)和非電測(cè)量等各方面,。激光與普通光不同,需要用激光器產(chǎn)生,。激光器的工作物質(zhì),,在正常狀態(tài)下,多數(shù)原子處于穩(wěn)定的低能級(jí)E1,在適當(dāng)頻率的外界光線的作用下,,處于低能級(jí)的原子吸收光子能量受激發(fā)而躍遷到高能級(jí)E2,。光子能量E=E2-E1=hv,式中h為普朗克常數(shù),v為光子頻率,。反之,,在頻率為v的光的誘發(fā)下,處于能級(jí)E2的原子會(huì)躍遷到低能級(jí)釋放能量而發(fā)光,,稱為受激輻射,。激光器首先使工作物質(zhì)的原子反常地多數(shù)處于高能級(jí)(即粒子數(shù)反轉(zhuǎn)分布),就能使受激輻射過(guò)程占優(yōu)勢(shì),,從而使頻率為v的誘發(fā)光得到增強(qiáng),并可通過(guò)平行的反射鏡形成雪崩式的放大作用而產(chǎn)生強(qiáng)大的受激輻射光,,簡(jiǎn)稱激光。
/ _, u7 K: ?) t5 F 激光具有3個(gè)重要特性:①高方向性(即高定向性,,光速發(fā)散角�,。す馐趲坠锿獾臄U(kuò)展范圍不過(guò)幾厘米,;②高單色性,,激光的頻率寬度比普通光小10倍以上;③高亮度,,利用激光束會(huì)聚最高可產(chǎn)生達(dá)幾百萬(wàn)度的溫度,。
* J& N/ k; P8 \1 c0 I% p激光器分類
4 f& U' [ p5 f. D1 e! L, n% R 激光器按工作物質(zhì)可分為 4種。①固體激光器:它的工作物質(zhì)是固體,。常用的有紅寶石激光器,、摻釹的釔鋁石榴石激光器 (即YAG激光器)和釹玻璃激光器等。它們的結(jié)構(gòu)大致相同,,特點(diǎn)是小而堅(jiān)固,、功率高,釹玻璃激光器是目前脈沖輸出功率最高的器件,,已達(dá)到數(shù)十兆瓦,。②氣體激光器:它的工作物質(zhì)為氣體。現(xiàn)已有各種氣體原子,、離子、金屬蒸氣,、氣體分子激光器,。常用的有二氧化碳激光器,、氦氖激光器和一氧化碳激光器,其形狀如普通放電管,,特點(diǎn)是輸出穩(wěn)定,,單色性好,壽命長(zhǎng),但功率較小,轉(zhuǎn)換效率較低,。③液體激光器:它又可分為螯合物激光器,、無(wú)機(jī)液體激光器和有機(jī)染料激光器,其中最重要的是有機(jī)染料激光器,,它的最大特點(diǎn)是波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào),。④半導(dǎo)體激光器:它是較年輕的一種激光器,其中較成熟的是砷化鎵激光器,。特點(diǎn)是效率高,、體積小、重量輕,、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,,適宜于在飛機(jī)、軍艦,、坦克上以及步兵隨身攜帶,。可制成測(cè)距儀和瞄準(zhǔn)器,。但輸出功率較小,、定向性較差、受環(huán)境溫度影響較大,。- [& Z" q" l" ^" J
激光傳感器
) ~3 v- _& V3 d工作原理
6 c( R. [# Q1 S 傳輸時(shí)間激光傳感器工作時(shí),,先由激光二極管對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)發(fā)射激光脈沖。經(jīng)目標(biāo)反射后激光向各方向散射,。部分散射光返回到傳感器接收器,,被光學(xué)系統(tǒng)接收后成像到雪崩光電二極管上。雪崩光電二極管是一種內(nèi)部具有放大功能的光學(xué)傳感器,,因此它能檢測(cè)極其微弱的光信號(hào),。記錄并處理從光脈沖發(fā)出到返回被接收所經(jīng)歷的時(shí)間,即可測(cè)定目標(biāo)距離,。傳輸時(shí)間激光傳感器必須極其精確地測(cè)定傳輸時(shí)間,,因?yàn)楣馑偬臁?br />
' O4 T/ t5 w' v6 m6 G) a1 z1 H6 u6 J 例如,光速約為3´108m/s,,要想使分辨率達(dá)到1mm,,則傳輸時(shí)間測(cè)距傳感器的電子電路必須能分辨出以下極短的時(shí)間:
. M8 W# p! p6 S5 \! t. u 0.001m¸(3´108m/s)=3ps' ~$ O/ y. d5 m9 L
要分辨出3ps的時(shí)間,這是對(duì)電子技術(shù)提出的過(guò)高要求,實(shí)現(xiàn)起來(lái)造價(jià)太高,。但是如今廉價(jià)的傳輸時(shí)間激光傳感器巧妙地避開(kāi)了這一障礙,,利用一種簡(jiǎn)單的統(tǒng)計(jì)學(xué)原理,即平均法則實(shí)現(xiàn)了1mm的分辨率,,并且能保證響應(yīng)速度,。
3 g6 h8 m% A% h激光傳感器的應(yīng)用' _0 r; P: d% f9 } s6 G
3 h |+ b3 y& q. L3 R0 O! \5 R8 T 利用激光的高方向性、高單色性和高亮度等特點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸遠(yuǎn)距離測(cè)量,。激光傳感器常用于長(zhǎng)度,、距離、振動(dòng),、速度,、方位等物理量的測(cè)量,還可用于探傷和大氣污染物的監(jiān)測(cè)等,。, e& f. d/ z9 j9 w8 d9 A8 T
激光測(cè)長(zhǎng)0 P0 j9 x1 V m) H1 Y- @+ m
精密測(cè)量長(zhǎng)度是精密機(jī)械制造工業(yè)和光學(xué)加工工業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一�,,F(xiàn)代長(zhǎng)度計(jì)量多是利用光波的干涉現(xiàn)象來(lái)進(jìn)行的,其精度主要取決于光的單色性的好壞,。激光是最理想的光源,,它比以往最好的單色光源(氪-86燈)還純10萬(wàn)倍。因此激光測(cè)長(zhǎng)的量程大,、精度高,。由光學(xué)原理可知單色光的最大可測(cè)長(zhǎng)度 L與波長(zhǎng)λ和譜線寬度δ之間的關(guān)系是L=λ/δ。用氪-86燈可測(cè)最大長(zhǎng)度為38.5厘米,,對(duì)于較長(zhǎng)物體就需分段測(cè)量而使精度降低,。若用氦氖氣體激光器,則最大可測(cè)幾十公里,。一般測(cè)量數(shù)米之內(nèi)的長(zhǎng)度,,其精度可達(dá)0.1微米。
: W6 J( y1 m0 l+ L8 z% C b% v: V 激光測(cè)距
2 V. Y" m, K( o5 m2 o 它的原理與無(wú)線電雷達(dá)相同,,將激光對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)發(fā)射出去后,,測(cè)量它的往返時(shí)間,再乘以光速即得到往返距離,。由于激光具有高方向性,、高單色性和高功率等優(yōu)點(diǎn),這些對(duì)于測(cè)遠(yuǎn)距離,、判定目標(biāo)方位,、提高接收系統(tǒng)的信噪比、保證測(cè)量精度等都是很關(guān)鍵的,,因此激光測(cè)距儀日益受到重視,。在激光測(cè)距儀基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的激光雷達(dá)不僅能測(cè)距,,而且還可以測(cè)目標(biāo)方位、運(yùn)運(yùn)速度和加速度等,,已成功地用于人造衛(wèi)星的測(cè)距和跟蹤,,例如采用紅寶石激光器的激光雷達(dá),,測(cè)距范圍為500~2000公里,誤差僅幾米,。目前常采用紅寶石激光器、釹玻璃激光器,、二氧化碳激光器以及砷化鎵激光器作為激光測(cè)距儀的光源,。 v. w* J7 X( M. s" B$ T
激光測(cè)振2 d4 c. Z3 m1 a% P; ?# y
它基于多普勒原理測(cè)量物體的振動(dòng)速度。多普勒原理是指:若波源或接收波的觀察者相對(duì)于傳播波的媒質(zhì)而運(yùn)動(dòng),,那么觀察者所測(cè)到的頻率不僅取決于波源發(fā)出的振動(dòng)頻率而且還取決于波源或觀察者的運(yùn)動(dòng)速度的大小和方向,。所測(cè)頻率與波源的頻率之差稱為多普勒頻移。在振動(dòng)方向與方向一致時(shí)多普頻移 fd=v/λ,,式中v 為振動(dòng)速度,、λ為波長(zhǎng)。在激光多普勒振動(dòng)速度測(cè)量?jī)x中,,由于光往返的原因,fd =2v/λ,。這種測(cè)振儀在測(cè)量時(shí)由光學(xué)部分將物體的振動(dòng)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的多普勒頻移,并由光檢測(cè)器將此頻移轉(zhuǎn)換為電信號(hào),再由電路部分作適當(dāng)處理后送往多普勒信號(hào)處理器將多普勒頻移信號(hào)變換為與振動(dòng)速度相對(duì)應(yīng)的電信號(hào),最后記錄于磁帶,。這種測(cè)振儀采用波長(zhǎng)為6328埃(┱)的氦氖激光器,,用聲光調(diào)制器進(jìn)行光頻調(diào)制,用石英晶體振蕩器加功率放大電路作為聲光調(diào)制器的驅(qū)動(dòng)源,,用光電倍增管進(jìn)行光電檢測(cè),,用頻率跟蹤器來(lái)處理多普勒信號(hào)。它的優(yōu)點(diǎn)是使用方便,,不需要固定參考系,不影響物體本身的振動(dòng),測(cè)量頻率范圍寬,、精度高、動(dòng)態(tài)范圍大,。缺點(diǎn)是測(cè)量過(guò)程受其他雜散光的影響較大,。
( B1 {3 m; X. d8 s" U 激光測(cè)速& [/ v9 ?& h9 n3 g) m* W* A
它也是基多普勒原理的一種激光測(cè)速方法,用得較多的是激光多普勒流速計(jì)(見(jiàn)激光流量計(jì)),它可以測(cè)量風(fēng)洞氣流速度、火箭燃料流速,、飛行器噴射氣流流速,、大氣風(fēng)速和化學(xué)反應(yīng)中粒子的大小及匯聚速度等。
/ E; F5 D& ^. x+ P& R/ a) h+ M- i7 L- i 編輯本段前景預(yù)測(cè)
8 C& J! M* J+ k 咨詢公司INTECHNOCONSULTING的傳感器市場(chǎng)報(bào)告顯示,,2008年全球傳感器市場(chǎng)容量為506億美元,,預(yù)計(jì)2010年全球傳感器市場(chǎng)可達(dá)600億美元以上。調(diào)查顯示,,東歐,、亞太區(qū)和加拿大成為傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)最快的地區(qū),而美國(guó)、德國(guó),、日本依舊是傳感器市場(chǎng)分布最大的地區(qū),。就世界范圍而言,傳感器市場(chǎng)上增長(zhǎng)最快的依舊是汽車市場(chǎng),,占第二位的是過(guò)程控制市場(chǎng),,看好通訊市場(chǎng)前景。
; Y( x- l. k! ^& r5 Q% O" P7 n7 _ 一些傳感器市場(chǎng)比如壓力傳感器,、溫度傳感器,、流量傳感器、水平傳感器已表現(xiàn)出成熟市場(chǎng)的特征,。流量傳感器,、壓力傳感器、溫度傳感器的市場(chǎng)規(guī)模最大,,分別占到整個(gè)傳感器市場(chǎng)的21%,、19%和14%。傳感器市場(chǎng)的主要增長(zhǎng)來(lái)自于無(wú)線傳感器,、MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems,,微機(jī)電系統(tǒng))傳感器、生物傳感器等新興傳感器,。其中,,無(wú)線傳感器在2007-2010年復(fù)合年增長(zhǎng)率預(yù)計(jì)會(huì)超過(guò)25%。
5 {( v% p: c1 E. u0 E 目前,,全球的傳感器市場(chǎng)在不斷變化的創(chuàng)新之中呈現(xiàn)出快速增長(zhǎng)的趨勢(shì),。有關(guān)專家指出,傳感器領(lǐng)域的主要技術(shù)將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上予以延伸和提高,,各國(guó)將競(jìng)相加速新一代傳感器的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,,競(jìng)爭(zhēng)也將日益激烈。新技術(shù)的發(fā)展將重新定義未來(lái)的傳感器市場(chǎng),,比如無(wú)線傳感器,、光纖傳感器、智能傳感器和金屬氧化傳感器等新型傳感器的出現(xiàn)與市場(chǎng)份額的擴(kuò)大,。5 `% O( y. D6 \3 m( z
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