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發(fā)表于 2007-10-25 22:00:09
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PVD就是物理氣相沉積 的英語(yǔ)簡(jiǎn)稱。+ W% z+ e3 I) S( S5 }
在高真空,、溫度介于180到480℃時(shí)進(jìn)行PVD處理, - `% P( t" F/ y' j/ T6 W' {
通過(guò)加熱或離子轟擊(噴射)使堅(jiān)固的高純度涂層材料(金屬,,如鈦,、鉻和鋁)蒸發(fā),。同時(shí),,加入反應(yīng)氣體(例如氮或含碳?xì)怏w),,這些氣體與金屬蒸氣反應(yīng)生成化合物,,然后沉積在工具或元件上形成薄而高度粘附的涂層。為了使涂層厚度均勻,,以勻速繞多個(gè)軸旋轉(zhuǎn)零件,。
8 u" Z: O4 g) G5 L2 u# t" \涂層的屬性(例如硬度、結(jié)構(gòu),、耐化學(xué)性和耐溫性,、附著性)可得到精確控制。 2 r" x% E/ O. ?
PVD工藝包括電弧蒸鍍,、濺射,、離子電鍍和增強(qiáng)濺射,�,?墒钦嬲腜VD好貴�,�,!主要用在刀具涂層,,還有CVD,,兩者各有優(yōu)勢(shì)。 |
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