《超高真空技術》PDF

la999

超高真空技術
7 r/ C) v4 z2 Z4 [0 h. T作者：邱愛葉，邵健中編著
& U( k2 T4 x& J. R0 z( n8 p; f出版項：浙江大學出版社 / 1991.8
' i  A" N* t1 a3 y+ N原書定價：￥2.65
9 ^" i+ B, a6 ]: x4 Q6 {$ K! i無裝幀項：20cm / 241頁
  p3 Z5 r5 z  V4 h& UISBN號：73080074** / TB751
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[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 編輯 ]

駱馬湖鐵匠

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1.對檢漏方法的一般要求
（1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔,；
（2）反應時間短,，可以提高工作效率；
（3）能定位,、定量，即不僅能夠找出漏孔的位置,，還能確定漏率的大小,，以便確定是否合乎質量要求；
, }1 X, T- d4 o. `（4）能無損檢漏,，不使被檢設備受到損壞和污染,；
（5）穩(wěn)定性好，即保證足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠,；
（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低,、無毒、不腐蝕零件,；
（7）檢漏范圍大,，從大漏孔到小漏孔都能檢測，以減少檢漏設備的數(shù)量和費用,；
) h' r/ w( D% s% |2 C, U（8）檢漏時應潔凈無油,，滿足一些特殊要求。
2.選擇檢漏方法的原則
（1）主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據,，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合,，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個數(shù)量級,。如一個設備的允許漏率為10-11W,，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W；
5 b6 q$ K2 Q, F% x% b: E（2）根據具體被檢對象,，所用方法簡便易行,、經濟實用。
! p* T4 [- R& D; A/ Z3.檢漏方法的分類
, k# h6 ?4 E4 [, N按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類,，即加壓檢漏法和真空檢漏法,。
（1）加壓檢漏法。在被檢容器內充入一定壓力的氣體（稱試驗氣體或者探漏氣體）或液體,，當容器上存在漏孔時,，氣體（或液體）便從漏孔中逸出，從哪里逸出,，逸出量的多少等,，就可判斷有無漏孔存在,、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有：
3 b1 @+ p1 u* v, _水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中,，一般水壓在2～3個大氣壓左右,，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn)，根據水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢,，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小,。
氣壓法：將試驗氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出,，具體方法有：火焰,、氣泡指示法（水槽法、皂膜法）,；氨檢漏法,；鹵素檢漏儀和氨質譜儀吸嘴法和放射性同位素法。其中鹵素檢漏法是,，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產生正離子發(fā)射（主要是堿金屬離子）,，這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加，依據這個現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器,，即鹵素檢漏儀,。
* x' \6 A* \  \& G2 l+ X3 [鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設置在一個探頭中，探頭是一支二極電子管結構,，加熱絲,、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風扇,，使用時不斷吸進氣體,，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850～950℃，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子,，離子電流由電子電路放大后,，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示
示漏氣體多用氯的鹵化物,，如氟利昂,、氯仿、四氯化碳等,，其中以氟利昂無毒,、不可燃、蒸汽壓力高,、靈敏度高被廣泛應用,。檢漏時，鹵素氣體充于被檢件內，用外探頭在外部
尋找漏孔,。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔,，工業(yè)產品一般為10-6～10-7Pa·m3/s。
3 d8 ?2 Q8 M% U/ [2 H（2）真空檢漏法,。將被檢容器內部抽空后,，再把試驗物質施于容器外表可疑位置。如有漏孔,，試驗物質便通過漏孔
進入容器,，通過一些方法或儀器指示出來，從而可判斷出漏孔的位置和大小,。屬于此類的方法有：靜態(tài)升壓法,；放電管法；真空計法,；氫-鈀法；離子泵法,；高頻火花檢漏法,；鹵素檢漏法；質譜檢漏法,。其中離子泵檢漏法是,，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統(tǒng)真空度的高低，因此,，類似于電離真空計的方法,，用離子泵的電流指示可對系統(tǒng)或被抽容器進行檢漏。這也是一種既簡單又靈敏的檢漏方法,。