《超高真空技術》PDF

la999

超高真空技術
1 G% v( s+ o$ u作者：邱愛葉,，邵健中編著
" ]2 H  T" j# ~- W- a5 {出版項：浙江大學出版社 / 1991.8
- I. R6 z4 i+ x' E" n原書定價：￥2.65
' U2 Q# Z3 g$ `' ~1 v, t無裝幀項：20cm / 241頁
ISBN號：73080074** / TB751
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[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 編輯 ]

駱馬湖鐵匠

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1.對檢漏方法的一般要求
（1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔,；
& a  p8 J" Z& ?7 L$ R' }（2）反應時間短,，可以提高工作效率；
, _6 R3 e' {1 ^8 p# ]（3）能定位,、定量,，即不僅能夠找出漏孔的位置，還能確定漏率的大小,，以便確定是否合乎質量要求,；
（4）能無損檢漏，不使被檢設備受到損壞和污染,；
（5）穩(wěn)定性好,，即保證足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠；
（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低,、無毒,、不腐蝕零件；
（7）檢漏范圍大,，從大漏孔到小漏孔都能檢測,，以減少檢漏設備的數(shù)量和費用；
2 I9 _3 E/ D( ^7 l' l; }' ^( j& k7 d（8）檢漏時應潔凈無油,，滿足一些特殊要求,。
2.選擇檢漏方法的原則
（1）主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合,，為找到一個單個漏孔,，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個數(shù)量級。如一個設備的允許漏率為10-11W,，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W,；
（2）根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行,、經(jīng)濟實用,。
1 E" i8 H! W- I1 R, n/ }: S3.檢漏方法的分類
按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法,。
（1）加壓檢漏法,。在被檢容器內充入一定壓力的氣體（稱試驗氣體或者探漏氣體）或液體，當容器上存在漏孔時,，氣體（或液體）便從漏孔中逸出,，從哪里逸出,，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在,、漏孔位置和大小,。屬于此類檢漏方法有：
+ i* m  x4 e$ Z1 r) E水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2～3個大氣壓左右,，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn),，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小,。
氣壓法：將試驗氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器,，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有：火焰,、氣泡指示法（水槽法,、皂膜法）；氨檢漏法,；鹵素檢漏儀和氨質譜儀吸嘴法和放射性同位素法,。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產生正離子發(fā)射（主要是堿金屬離子）,，這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加,，依據(jù)這個現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀,。
鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設置在一個探頭中,，探頭是一支二極電子管結構,，加熱絲,、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風扇,，使用時不斷吸進氣體,，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850～950℃，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子,，離子電流由電子電路放大后,，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示
示漏氣體多用氯的鹵化物,，如氟利昂,、氯仿、四氯化碳等,，其中以氟利昂無毒,、不可燃、蒸汽壓力高,、靈敏度高被廣泛應用,。檢漏時,，鹵素氣體充于被檢件內，用外探頭在外部
: m: ?" ?* J1 U3 H' I1 _. J7 z: d5 C尋找漏孔,。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔,，工業(yè)產品一般為10-6～10-7Pa·m3/s。
（2）真空檢漏法,。將被檢容器內部抽空后,，再把試驗物質施于容器外表可疑位置。如有漏孔,，試驗物質便通過漏孔
進入容器,，通過一些方法或儀器指示出來，從而可判斷出漏孔的位置和大小,。屬于此類的方法有：靜態(tài)升壓法,；放電管法；真空計法,；氫-鈀法,；離子泵法；高頻火花檢漏法,；鹵素檢漏法,；質譜檢漏法。其中離子泵檢漏法是,，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統(tǒng)真空度的高低,，因此，類似于電離真空計的方法,，用離子泵的電流指示可對系統(tǒng)或被抽容器進行檢漏,。這也是一種既簡單又靈敏的檢漏方法。