|
4#
發(fā)表于 2018-6-27 08:16:53
|
只看該作者
清洗最常見(jiàn)的是測(cè)表面張力,這個(gè)可以使用水滴角測(cè)試儀或者達(dá)因筆(不夠準(zhǔn)確,,容易買(mǎi)到假貨),。
& S* `) i5 H C3 Z& w! t3 {3 B' c8 M6 C! ~
看了你的描述,其實(shí)你現(xiàn)在最重要的不是藥劑換藥頻率,,水洗換水頻率,,而是首先確定這個(gè)純水和藥劑能不能在新配槽的情況下做出好的產(chǎn)品,然后再來(lái)談?chuàng)Q水頻率
' w) u+ K% \/ b6 t8 u* g, l2 L8 Z/ ] f/ e! t8 [; I
純水的PH不說(shuō),,純水機(jī)電導(dǎo)率需要控制在0.1以下,,清洗機(jī)里的最后3槽的純水電導(dǎo)率超過(guò)1就要換掉。
9 k! a/ \1 b, G, [; `! n: J8 [" x& C
點(diǎn)狀掉膜和漏鍍,,這個(gè)不一定是清洗造成的,,要將不良區(qū)域用顯微鏡放大來(lái)看,有可能是空氣中的灰塵,,周轉(zhuǎn)小車(chē)的灰塵,,或者治具/掛具退鍍不徹底殘留的灰塵,PVD設(shè)備沒(méi)有做好清潔保養(yǎng),,PVD靶材的純凈度,,膜層之間的結(jié)合力等等2 P, z0 @! _: Q5 L& ~ g- k
) A+ E- ~* P! I; F1 _& T如果只是一棒子把清洗打死,那么可能會(huì)走很多彎路 |
評(píng)分
-
查看全部評(píng)分
|