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發(fā)表于 2018-6-27 08:16:53
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清洗最常見的是測表面張力,,這個可以使用水滴角測試儀或者達因筆(不夠準確,容易買到假貨),。8 y# O4 Y4 b% t3 z2 s# @# a' ]- {
; A: [9 `& V0 \/ u% ^" ]4 p+ W看了你的描述,,其實你現(xiàn)在最重要的不是藥劑換藥頻率,水洗換水頻率,,而是首先確定這個純水和藥劑能不能在新配槽的情況下做出好的產品,,然后再來談?chuàng)Q水頻率
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: N: f. s R0 F; }; C. c: e純水的PH不說,純水機電導率需要控制在0.1以下,,清洗機里的最后3槽的純水電導率超過1就要換掉,。
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點狀掉膜和漏鍍,,這個不一定是清洗造成的,要將不良區(qū)域用顯微鏡放大來看,,有可能是空氣中的灰塵,,周轉小車的灰塵,或者治具/掛具退鍍不徹底殘留的灰塵,,PVD設備沒有做好清潔保養(yǎng),,PVD靶材的純凈度,膜層之間的結合力等等
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3 P# b% b% e- T- w* @如果只是一棒子把清洗打死,,那么可能會走很多彎路 |
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