本帖最后由 張麻子 于 2018-8-31 10:00 編輯
中國發(fā)展經(jīng)濟有兩個誤導,，一個是只要你規(guī)模大就是好公司,，還有一個只要你賺錢就好，但實際上真的是這樣嗎,？什么樣的公司才是好公司,？如何和其他公司競爭？ 只有這個辦法可以解決,，就是國家的戰(zhàn)略推動和宏觀推動,，和企業(yè)的自立自強要結(jié)合。 在本文中尹志堯博士講解的內(nèi)容還涉及半導體微觀加工設(shè)備,、數(shù)碼產(chǎn)業(yè)格局,、中國制造業(yè)升級戰(zhàn)略等許多方面。這篇文章特別長,，但你一定要看完,。
一 我下面解釋一下，我們做半導體芯片設(shè)備也好,，還有其他泛半導體微觀加工設(shè)備也好,，在這個整個產(chǎn)業(yè)鏈處在一個什么位置，解釋一下,。 我們做的是大型真空的微觀加工設(shè)備,，它是做半導體芯片或其他微觀器件加工的。就是現(xiàn)在大家看到的集成電路,，大面積顯示屏,，太陽能電池,，發(fā)光二極管，各種傳感器啊等等,。 最近大家討論很熱的叫VR,、AR對吧？將來大家戴的那個眼鏡里面有一個很小的屏幕,，叫Micro ID,，這都是屬于微觀器件的。 我們做的設(shè)備就是加工這些微觀器件的,。 打個比方吧,，做機械加工的五軸聯(lián)動的加工中心都見過吧，你要去機械加工廠一個大型的生產(chǎn)線上,，可能上百臺的機器,，最早就是車床、銑床,、刨床,、鉆床、磨床,，后來呢,，就把它都綜合到一起，做在一個機床上,，叫五軸聯(lián)動加工中心,，或六軸聯(lián)動加工中心。它可以加工出各種各樣的機器零件,，看的見,，摸的著。 和宏觀加工的這個核心的設(shè)備一樣,，我們做的是微觀加工的核心設(shè)備,，用我們的設(shè)備可以做出各種各樣看不見，摸不著,，有奇妙形狀的微小的器件,。這些東西就構(gòu)成了數(shù)碼世界的最基本的器件和原件。
二 我講宏觀加工和微觀加工的關(guān)系,，一般比較喜歡從這里開始講，這個話講得長了哦,！ 其實人類社會的發(fā)展大概有將近300萬年的歷史,，短的說也有200萬年歷史，就是從猿人開始的,。 大概在兩三百萬年很長的時間內(nèi),，人的生產(chǎn)方式是 “狩獵和采摘”，對吧？就是哪里有果子,，就到哪里采摘,，哪里有動物，就到哪里去打獵,，但是后來到了2萬多年以前就開始有村落住下來了,，就變成 “農(nóng)耕和畜牧”了。 為什么會產(chǎn)生這個變化嗎,？為什么人類采摘,、狩獵了200萬年，突然變成住下來,？ 其實有兩個原因,，一個原因是人這個智能動物發(fā)展，把果子采得越來越少,，動物都打得越來越少,？人卻越來越多，所以有這個客觀的需要,。從能力上來講呢,，比如人們打的動物多了，當時吃不了,，就放一些地方圈起來了,，就發(fā)現(xiàn)小東西生出來了，人們就觀察到這種現(xiàn)象,，公母的在一塊生小的,，那我們就養(yǎng)著吧，我們就不要出去打,，對吧,？這是人類能力的發(fā)展。
從需求來講,，就是外面動物越來越少,，可被采摘的果子也越來越少，原來到哪去摘果子吃了,，拿來就可以吃,。但是吃得差不多了以后，需要的不夠了,，再一個呢就是采摘能力多了,，比如一些吃不完了就放著，因為掉地上長出芽來了,，發(fā)現(xiàn)這可以種,，自然而然的,，這個幾萬年的演變就變成了大家知道可以種植了，也可以畜牧了,！而且要蓋了房子,，有了屋的話，也不用一天到晚風餐露宿了,。所以人類就走到第二個階段,，生產(chǎn)方式就變成了農(nóng)業(yè)和畜牧，對不對,？這個時間大概就是兩萬年,。 那后來到了500到600年前，由于人們智力的發(fā)展和分工的原因,，就慢慢形成一個新的工業(yè)革命,。這個工業(yè)革命的本質(zhì)，你們想是什么,？傳統(tǒng)工業(yè)從英國開始,，采用機器。對,，就是做一個機器代替人手,。原來都是手工的，后來就發(fā)明了機器,，用機器加工來代替人,，這個就形成了一個宏觀加工為核心的傳統(tǒng)工業(yè)。 這個工業(yè)持續(xù)了500多年,，這個革命有三個基本的組成：宏觀材料（鋼鐵,，水泥，塑料,，纖維等等）,，宏觀加工的母機(車床，銑床,，鉆床,，磨床等等) 和驅(qū)動機器的能源（蒸汽機，內(nèi)燃機,，發(fā)電機,，電動機等等）。 這個革命徹底的改變了人類生活和生產(chǎn)的方式,。到了1940年到1950年,，又開始了第二代的工業(yè)革命。 這個革命是從硅谷開始發(fā)展起來的,。這個工業(yè)革命的本質(zhì)是什么,？如果說前一個工業(yè)革命是做個機器代替人手，那么這個革命實際上是造個電腦代替人腦,。 作為電腦基礎(chǔ)的半導體的集成電路是一種微小的器件,，它需要輸入電信號，而輸出的也是電信號,，或者是數(shù)碼信號變成模擬信號,，模擬信號變數(shù)碼信號等等。但是后來呢,，遠遠不止這些了,。
三 ![]()
微觀器件擴展到為了人的各種感官的需要而產(chǎn)生。 輸入電信號變成光信號這是發(fā)光二極管,，輸入光信號變成電信號是太陽能電池,，輸入聲信號變成電信號是微麥克風，輸入電信號變成聲信號是微揚聲器,，對吧,？所以我們現(xiàn)在講的這個第二代工業(yè)革命，就做各種看不見摸不著的微觀器件,，它有非常奇妙的功能,，它不但可以代替人腦，可以代替人身上各種感官,，像觸覺,，味覺，聽覺,，對不對,？ 比如無人駕駛的汽車全靠這些叫做MEMS的微觀器件。這個做集成電路及微器件來代替人的大腦,，或者代替人的所有感官,，這就形成了第二代工業(yè)革命，這個工業(yè)革命的核心是什么,？微觀加工,。 前一代工業(yè)革命是宏觀加工，有了材料,，有工作母機,，有了動力，就可以做出輪船,，飛機,，大炮，世界最長的橋,，最高的樓,，最快的高鐵等等,，這都屬于第一代工業(yè)革命的范疇。第二代工業(yè)革命也需要微觀材料,，微觀加工母機和新能源包括節(jié)能減排,。這三個方面都需要設(shè)備支撐。 這個工業(yè)的革命催生了一個全新的數(shù)碼產(chǎn)業(yè),，這個數(shù)碼產(chǎn)業(yè),，最上層是網(wǎng)絡(luò)，電商,，傳媒,，大數(shù)據(jù)和云計算等等，這個產(chǎn)業(yè)有十幾萬億美元的年產(chǎn)值,；支撐這個產(chǎn)業(yè)的下一層是數(shù)碼電子系統(tǒng),，小到電子玩具，手機,，電腦,，大到超高速計算機，全球互聯(lián)的網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng),。 這個層次的年產(chǎn)值至少有幾萬億美元,。而支撐這個電子系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的下一層是半導體芯片設(shè)計和制造產(chǎn)業(yè)。 這個芯片的最近幾年的年產(chǎn)值達到4000億美元,。而再往下看,，芯片產(chǎn)業(yè)又是建筑在半導體設(shè)備的基礎(chǔ)上。我國有一句俗話叫：“工欲善其事,，必先利其器”,。沒有能加工出人頭發(fā)絲幾千分之一到上萬分之一尺度的微觀加工設(shè)備，就造不出芯片,。 這個數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的四個層次,，可以用一個倒置的三角圖像來表示。 從尺度上講,，目前全世界一年做出的微觀加工的新建設(shè)備,，就講納米加工相關(guān)的設(shè)備，設(shè)備還有后端封裝的和其他做太陽能設(shè)備啊等,，那個市場也很大,。 但是我現(xiàn)在講的只是前段設(shè)備，就是做納米加工,，做芯片和傳感器的,，大概全世界每年采購的設(shè)備是400億美金，它支撐了芯片制造產(chǎn)業(yè)，芯片制造全年的產(chǎn)值大概4000億,，有十倍的放大作用,，然后有了4000億的芯片，可以構(gòu)成各種各樣的電子系統(tǒng),，是幾萬億的這樣一個產(chǎn)值,。 有了這個電子系統(tǒng)，又支撐了幾十萬億的軟件電商傳媒大數(shù)據(jù),。馬云谷歌，Google和Facebook就是這一層,，而且都是上千億的大公司,。 但是不要忘記它的基礎(chǔ)，最核心的是能夠做出微觀器件的微觀加工設(shè)備,。中國有句老話, 說 “工欲善其事必先利其器”,。如果你沒那個微觀加工的機器那什么東西都沒有，從這一點上,，確實是重要的,。 那我再講下面這個故事幫助理解它的重要性。我在70年代后期在北大讀研究生,，北大有一個全國最先進的計算機,，是2棟5層的大樓，里面全部是電子管,，大概是128K容量的計算機,，估計有12萬多個電子管。 一個電子管幾個厘米這么大,，我把他叫厘米級的計算機,，在美國這樣的計算機在60年代就有了。 十年以后呢,，到1985年,，我已經(jīng)在硅谷英特爾中心研究開發(fā)部做芯片了。當時我們把128K的這個容量已經(jīng)做到一個指甲蓋大小的芯片上,。所以從一個2棟的五層大樓做到一個指甲蓋,，我粗算了一下，就是人類加工一個微器件的面積縮小100萬倍,。 后來,，再經(jīng)過30年到2015年，東芝首先宣布做出128G的flash memory就是閃存器U盤,。那已經(jīng)到納米數(shù)量級了,，這30年又把人類微觀加工面積縮小了100萬倍。所以這50年來我們所做的努力,，人類微觀器件加工的面積縮小了一萬億倍,！ 我們來看每人的手機,，這個手機要回到四五十年前，如果變成電子管計算機,，你知道會有多少棟樓那么大嗎,？相當于 200萬棟樓! 200萬棟五層大樓里面全部充滿了電子管，奇妙吧,！ 那手機怎么能做成那么小呢,？手機里的十幾個芯片，是用十大類設(shè)備聯(lián)合作戰(zhàn)把它做出來,，這其中最重要的三大類：第一是光刻機,，第二是等離子刻蝕機，第三是鋪上材料薄膜設(shè)備,，三種設(shè)備就構(gòu)成了這個微觀加工的最核心的東西,。 簡單來講，這個加工過程就像蓋房子,，一層一層的蓋�,，F(xiàn)在蓋多少層？差不多60層,，要加工1000個步驟,！這高樓的深孔或柱子的尺度，就我們現(xiàn)在說的14納米啊,、70納米啊,、7納米等等。 大家知道人的頭發(fā)絲平均直徑是0.07毫米,，7納米是人頭發(fā)絲的一萬分之一,。在這樣的尺度上加工是非常困難的。其中關(guān)鍵就是靠光刻機和等離子體刻蝕機,，兩臺機器精雕細刻,。 我本人就是做了34年的等離子刻蝕機的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的工作，在美國的硅谷做了20年,，回國也做了14年了,，就一直做等離子刻蝕機。我們還做化學薄膜設(shè)備,。我們不會做光刻機,，光刻機是完全不同的領(lǐng)域。
四 現(xiàn)在要做光刻機,，必須用德國蔡司做的鏡頭或反光碗,。蔡司是個百年老店，而且德國的精密加工是世界第一的。 但實際上這個光刻機不是德國人做的,，它的鏡頭和反光碗是德國人提供的,。然后荷蘭的ASML做出整個的光刻機。 目前在大生產(chǎn)上的浸沒式光刻機是用鏡頭來做光刻的,，一個30多片鏡頭的鏡頭組價值5000萬美金以上,。最新的深紫外光刻機已經(jīng)不用鏡頭了，用的是反光碗,，有十幾個反光碗,，把一個激光打出來打在金屬液滴上，通過多次聚焦變成一個平行光,，來做曝光的,。 這個反光碗的加工精度，有人跟我講,，是相當于德國國土的面積，這么大面積要平整到正負一毫米,，在這樣的精度下才能做出那樣準確的反光碗,。 所以這是一個非常難的技術(shù)，我們做的呢,，就是次于光刻機最難做的等離子刻蝕機,，就是要精雕細刻，等離子刻蝕機的復雜度是這樣,，恐怕有上千個刻蝕的工藝過程要開發(fā)出來,，刻不同的材料，不同的形狀,。有的是刻存儲器件,，有的刻邏輯器件的，有的是刻傳感器的,，所有的設(shè)計都不一樣,，每一個設(shè)計每一種具體刻蝕應用都有它的挑戰(zhàn)性�,？涛g機要刻出三維四維,，很復雜的形狀，在工藝開發(fā)上是最復雜的,。
一個目前世界最先進的生產(chǎn)線,，一個月可以生產(chǎn)5萬片到6萬片12英寸的晶圓片，然后用金剛石鋸切割成幾百個小片,，經(jīng)過封裝就造出芯片了,。 現(xiàn)代的芯片生產(chǎn)線全部是自動化的，而且智能化的，在同一條生產(chǎn)線上可以跑上百種不同的產(chǎn)品,，不同的設(shè)計,，它都是完全可以智能識別的。 這里我順便說一下,，所謂德國工業(yè)4.0提出了量體裁衣的智能化生產(chǎn),，其實在集成電路產(chǎn)業(yè)，十幾年前就已經(jīng)實現(xiàn)了,。最先進的芯片生產(chǎn)就是量體裁衣的,，全部是智能控制的。
做半導體設(shè)備需要的這個學科兵種我列了一下,，有50多個學科,，都牽扯到才能把這樣的一個精確的微觀加工的設(shè)備做起來。 它的加工精度是這樣,。右邊那個SEM呢就是我們用我們開發(fā)的刻蝕機鉆的深孔,，就像個鉆床鉆的孔一樣。這個孔并不小就是50納米,，但是他的深寬比差不多40:1,，下一代要做到60:1的時候，可以想象就像頭發(fā)絲一樣,。如果你要是機械鉆床,，精鉆宏觀加工的孔，你鉆過了20:1,，鉆頭很容易做斷,，鉆下去，卡出來斷掉,。我們現(xiàn)在刻蝕機可以鉆這么深的孔,，而且比它還要深。而且要求上面的直徑,，如果是50納米的話,，下面直徑不能小于45納米，不能小于它的1/10,，如果小于就不合格,。因為這個孔干什么用的呢，一個孔,，就是計算機的一個記憶單元叫bit,。 這里面做一個金屬導管一樣的，充了電就是一,，放了電就是零,，就是計算機的1010,，它有一個讀數(shù)器，去讀哪個孔是一哪個孔是零,，這樣就編碼了,。 那我這個機器一年要鉆多少孔？10的18次方,。100萬萬億個孔,，每個孔都要鉆到準確度是人頭發(fā)絲大概1/5000到1萬分之一。現(xiàn)在我們前沿做到7納米什么概念,？人的頭發(fā)是平均是0.07毫米,，你可以在網(wǎng)上查是0.06到0.09毫米，之間有的粗有的細,，平均0.07毫米,。所以7納米的概念是人頭發(fā)絲1萬分之一，我們就等于在人頭發(fā)絲1萬分之一這樣的基礎(chǔ)上加工,，它的加工精度和重復要做到10萬分之一,。 而且你要雕刻出100萬萬億個孔，每個孔都要精確到頭發(fā)絲的10萬分之一,。可以想象米�,？套郑阒浪阶罡叩墓そ吃谝粋�米粒上面能刻多少字,，我看過，最多是250多個,，現(xiàn)在我可以在米粒那么大的面積,，可以刻1億個中文字，甚至可能會刻到10億個中文字,。如果你用超高的電子顯微鏡看,，真的看到就是中文字，很漂亮的,。 這是20年前芯片一種比較簡單的結(jié)構(gòu),，現(xiàn)在比較復雜了，但是就拿這個例子,，你可以看到黃的那個都是銅,，下面很多柱子，灰色是鎢,，下面有粉色的,，下面還有灰色的，都是下面的結(jié)構(gòu),。 我們先講一下這個東西怎么做出來,。這里一個橋,，那里像城市街道，還有像高速公路,，這些怎么做的,？剛才我們說了，在硅底物上先鋪一層薄膜,，然后上面甩一層光組,，光組是什么東西？是一種聚合物,，見了光它就分解,，然后光刻機就是曝光，上面就做一個圓孔的模板,，然后用光刻機這個光線照過去,，把它縮小到4:1到5:1，就這個孔可以縮小,，然后在底物上曝光后那部分光敏的光刻膠就分解了,。你洗掉了就出來一個圓洞。然后呢用我們的等離子刻蝕,，是一種等離子體,，它有化學活性，可以加不同的氣體,，不同的活性,，不同的材料有選擇性，這樣刻下去以后,，薄膜就出來一個圓洞,，然后下一步用強力的除膠機把沒有曝光的光刻膠也除掉，這樣就等于在我鋪的薄膜上出了一個洞,，然后我上面放一個銅板,，一次攻擊一個銅板，把銅的原子轟擊到表面層,，很薄的一層,，就幾層原子,。把這個硅片上都是銅膜的，放在電解槽里面，通上負電去鍍銅,，銅就堆積起來,，多鍍一點就滿出來了,，從那孔出來,，就平了這一層。然后化學機械拋光,，磨床一樣磨掉,，這里就出了一個銅柱,。 如果你相鄰的兩個銅柱做好了，下一層怎么做呢,？我再鋪一層薄膜,，上面我再重復這個過程，重復過程的時候呢,，這就不是一個圓孔,，是架在圓孔上的一個溝，下一層的光膠去掉就是一個溝槽,，然后把這個溝槽再刻下去,，刻到第二次鋪上的材料里，然后再經(jīng)過鍍銅和磨光,，上面出了一個銅的棒,，就是一條線一樣。它正好架在剛才你做的兩個柱,，這就是第二層做好了,。你可以知道平均每一層大概15個步驟。那你要做60層,，60×15,，接近一千次。就是這個芯片,，像手機里的芯片,，都要經(jīng)過一千次的加工。 所以基層線路要把很多很多步驟給它集成起來,，是大家集合的努力,。 今天要特別總結(jié)到一個問題上，不要強調(diào)個人的作用,，現(xiàn)在我們的宣傳老是突出個人的作用，是很不好的做法,。其實這個事不是一個人能做出來的,，是整個集體，而且是全世界所有的精英一起來努力,，經(jīng)過50年才把它做出來,。 如果哪個國家想把它據(jù)為己有是不切實際的，也是做不到的,。美國在這個芯片技術(shù)的開發(fā)上,，確實起了領(lǐng)先的作用，但是后來30年來,，這個技術(shù)和產(chǎn)業(yè)一直向亞洲移動,，現(xiàn)在75%以上的芯片生產(chǎn)線都在亞洲,，發(fā)明創(chuàng)造也好，生產(chǎn)規(guī)模也好,，多數(shù)都在亞洲,。 就是在美國建一條芯片生產(chǎn)線，也要大量購買其他國家的設(shè)備和材料,，也不是一個國家可以獨立搞起來的,。 我們中國也不要關(guān)起門自己干，只靠獨立自主,，自力更生是不可能發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的,。集成線路是一個全世界的集合的努力，是大家的財富,。 我在應用材料公司做了14年,，這個公司在美國硅谷有66個國家的精英通力合作，開發(fā)了一個又一個復雜的設(shè)備,。 剛才說沒有光刻機就沒有等離子體刻蝕機的微觀加工,，那么肯定光刻是最重要的。 但是最近從14納米以下的情況有新的變化,。就是光刻機曝光的時候,，出來的不是一個很直的深孔或深溝，而是變成彎彎曲曲的形狀,，是和光的波長有關(guān)系,。 現(xiàn)在我們做的尺度和波長幾乎是同樣數(shù)量級的，光刻出來會是彎彎曲曲的,，因為有個駐波效應,，一個光波打到表面反射，如果在某種特定情況下,，他互相衍射形成波紋,，然后你刻出來的就不對，就不是這個直筒了,，就沒法用,。 實際上，大量生產(chǎn)的光刻機,，只能刻出40納米的線條,。最新的光刻機叫深紫外的光刻機，EUV,，就是ASML開發(fā)了新的,，現(xiàn)在沒有完全大量生產(chǎn)，正在進入生產(chǎn),。 目前最好也做到20納米,。那我為什么說14納米是怎么回事呢,？其實靠等離子刻蝕機和薄膜的組合拳把它做出來，不是靠光刻做的,。如果通過光刻機刻出一個40納米的模板,，然后按這個模板刻下去，刻出一個墻,，你理解它是一個重剖面,。 這個墻是氧化硅的材料，是40納米,，這是通過光刻翻版出來,，然后呢我在上面鋪一層氮化硅薄膜，鋪的時間控制好,，這個側(cè)面的墻是20納米,，這樣的話呢，第二次用等離子刻蝕機刻,，有方向性地把上面的蓋去掉,，把底部去掉，就出來兩個叫邊墻,。這邊墻的厚度就是20納米,，這是刻的氮化物�,？痰镄枰眠x擇性的氣體刻,。 然后刻完以后第三次刻呢，我們換一些氣體專門刻氧化物,，把氧化物刻掉,，這個墻就留下來了。所以一個40納米的微觀結(jié)構(gòu)就翻成兩個20納米的結(jié)構(gòu)了,，這個叫二重模版,。 還有進一步的四層模板技術(shù)，在20納米的氮化物墻上,，再鋪一個10納米的氧化物的膜,，我第四次刻的時候把上頭蓋去掉，底去掉以后,，就出了四個邊墻。 然后再用不同的化學氣體,，把中間的核刻掉,，就變成了四個10納米的邊墻。20納米以下是這樣做出來,。這里就沒有光刻的事,，就是等離子與薄膜組合拳,，把它翻版就越翻越小。 所以目前來講呢,，這個14納米以后,，你可以看到刻蝕機和薄膜的市場漲得非常快,，因為本來是1:1:1的步驟,，現(xiàn)在變成1:3:5了。一次光靠大概三次薄膜,，要五次等離子刻蝕,。所以等離子體刻蝕機的市場增長最快，接下來薄膜設(shè)備增長的也很快,。 現(xiàn)在因為光阻越做越薄越小,，它的準確度差了。所以在光刻膠的基礎(chǔ)上,，底下做成雙層模板或者三層模板,，那種比較復雜的叫模板的技術(shù)。這樣的話呢,，又增加了好多次的刻蝕,，先要把模板刻好，才能刻下面的東西,，所以等離子刻蝕機越來越多,，等離子刻蝕機的步驟從14納米到5納米增加了三倍。 但是光刻雖然步驟有限,，但每臺機器越來越貴�,，F(xiàn)在一臺光刻機，賣到兩億美元了,，就是那EUV最貴的,，我們的機器大概賣到400萬美金一臺。 ![]()
五 當然實際的這個過程不像我說的那么簡單,，我剛才只是示意,，二重模板，是將一個40納米的結(jié)構(gòu),，通過刻蝕和薄膜的組合拳,，翻版成兩個20納米的結(jié)構(gòu)。四重模板,，將進一步加工出四個10納米的結(jié)構(gòu),。 總的步驟，到了5納米的時候，最新的數(shù)據(jù)是2000個步驟,，才能做出來,，原來是1000多個步驟。 但是這樣2000步的步驟中,，加工的步驟,，大概1000多步。另外八九百步呢就是測試,，你每次做完都要測,，每次測試也需要設(shè)備，雖然測試不影響你加工的結(jié)果,。加在一塊呢,，2000次，夠復雜的,。 這里有個問題呢就是關(guān)于合格率的問題,，這是我們最大的困擾。什么叫合格率,，簡單的數(shù)學,。 如果某一個步驟是99%合格率，剛才說刻一個孔,，下面底部的直徑不能小于頂端直徑的十分之一,，如果小了就不合格。如果每個步驟合格率達到99%的話,，加工一千次下來合格率就是零了,。 如果每次合格率99.9%，那0.999的一千次方變成52%,，這也不行,，一個芯片生產(chǎn)公司要做到合格率80%到85%以上才賺錢，合格率80%以下就賠錢了,。 每一步的合格率一定要做到99.99%,，一千次后才能達到90%。現(xiàn)在最先進的芯片生產(chǎn)線可以做到92% 的合格率,，也就是反過來講,，一千多步，每一步都要99.99%,，也就是一臺刻蝕機每年要刻100萬萬億個孔,，每個孔都要刻準到頭發(fā)絲的1萬分之一到10萬分之一這么準，有點不可想象,。
剛才講那個倒三角形是整個數(shù)碼世界的圖像,，我把它翻過來去做分析。就是在國際上有多少公司能夠做這樣的東西。 軟件和電商這種產(chǎn)業(yè),，大到阿里巴巴，小到一個人在家里就可以開公司,，就可以做軟件賣,，對吧？美國中國很多人都在家賣的,。所以全球有多少公司沒人數(shù)過,，大概幾百萬個公司都可以做軟件。 但是全世界做電子系統(tǒng),，我估計有十幾萬到幾十萬公司,，包括做電子玩具的，大的像華為之類,。那全世界會芯片制造的公司有多少個,？能夠數(shù)得上的就一百多公司，其中真正好的就25個公司,。華力和中芯國際屬于全世界前25家,。 芯片制造前三家，英特爾臺積電三星,，三星今年的設(shè)備投資建廠投資就是240億美元,。一個公司比中國全國的投資還多，就非常壟斷了,。 再往下數(shù),，臺灣有一家聯(lián)電，韓國有海力士,，日本原來是有十幾個公司,，現(xiàn)在數(shù)得上前8家只有東芝了。美國還有兩家,，一家叫Micron美光,，原來專門做memory的，現(xiàn)在英特爾決定把memory全在中國做,，在大連非常大的投資,。 英特爾早期就是做memory的，我84年去英特爾中心研發(fā)部就做存儲器EPROM的,。后來英特爾集中力量做邏輯器件的CPU了,。然后還有一個格羅方德，是中東的阿布達比的投資商,，在美國建立一個叫全球晶圓,，國際上就這八家。 現(xiàn)在越來越壟斷，這個八家就生產(chǎn),，全世界大概80%以上的晶圓,。那看設(shè)備公司，就更集中了,。設(shè)備公司可以數(shù)得上大概就30個,，能做納米技術(shù)。 這里邊十個主要公司分成三類,，一類呢就是光刻機,，就ASML一家。然后一類呢就是工藝設(shè)備,，就是我們這類設(shè)備,，就是應用材料公司，Lam Research,，美國兩家,，日本東京電子，三家,。還一類就是做測試設(shè)備的公司,，叫KLA-Tencor，占全世界50%以上的測試設(shè)備,。 應用材料公司是占全世界50%以上工藝設(shè)備,，這樣一個局面。應用材料公司和Lam Research,、東京電子這三家做工藝設(shè)備的公司都是做刻蝕機起家,。 為什么？因為刻蝕機是工藝設(shè)備最難做的一個,，如果你這公司只能做薄膜,，長不大，你公司必須首先刻蝕機站住腳,，再去做薄膜,，或者再去收購一些國外的公司，就全了,，然后再去做其他設(shè)備,，一共有十類設(shè)備，除了光刻除了測試設(shè)備,，還有七八類可以做,。像剛才拋光機也是一種，還有鍍銅,、離子濺射,、物理薄膜,。
六 我在84年進入英特爾中心研究開發(fā)部時，這些設(shè)備公司很小,，小到十幾個人,，大到一兩百，兩三百人,。 剛剛開始從濕法刻蝕,，發(fā)展到真空的干法刻蝕，正好在轉(zhuǎn)換的時候,，我在那做了兩年以后，因為我的興趣在做設(shè)備,，我的專長是做化學物理反應器的,，在國內(nèi)已經(jīng)做了十年了。 在英特爾我負責測試LamResearch做的介質(zhì)刻蝕機,，因為早期的單片刻蝕機很不成熟,，我給Lam的設(shè)備提了很多意見，后來他們就把我拉去做刻蝕機,，從86年加盟后,，開發(fā)了彩虹號電容性介質(zhì)等離子體刻蝕機，也開始了電感性等離子體源ICP技術(shù)的開發(fā),，五年后Lam成為國際最大的刻蝕機公司,，占了國際市場40%以上。 當時有30多個公司競爭,，結(jié)果Lam就脫穎而出了,。后來Lam去收購做薄膜的公司，但當時公司在管理上出了很多問題,。本來應用材料公司做老一代刻蝕機,，后來又做不過Lam。我又被應用材料公司拉去,，在應材工作了13年多,，幫助應用材料做出了幾種成功的刻蝕機，使應材的刻蝕機業(yè)務做到世界最大,，占了國際市場40%多,。 我在Lam的時候呢，和東京電子合作,，當時他們是一個銷售公司,，不會做設(shè)備，只會做銷售服務的,。后來Lam把他們教會了做刻蝕機,。我們現(xiàn)在有不少人是從這三個公司出來的,。
剛才講的這個市場是半導體前端設(shè)備，不算后端封裝,，就芯片加工設(shè)備的前端,，基本上三個階段。 80年代起步,，漲得比較快,，到2000年的時候已經(jīng)進入300億水平了。但是后來十來年呢沒有太長足的發(fā)展,，有點上下波動,。 到了2015到2016年以后，又在迅速的增長,。 最近幾年一直看好,，今年可以做到450億，到了2025年預計會到720億,。原因是做芯片的步驟越來越復雜,，而且設(shè)備越來越貴，終端應用也是日新月異,。 你看那起起伏伏的,，其實每一次的高潮都是一個單一產(chǎn)品，比如2007年高潮是手機,，2000年這個internet,，過去還有PC出來，還有電子表出來,，每一個產(chǎn)品就形成一個高潮,。 但是到現(xiàn)在為止，因為芯片已經(jīng)進到老百姓的生活的所有層面,，包括工業(yè)界所有層面,，所以它更多和經(jīng)濟發(fā)展就同步了，不是說一個單一產(chǎn)品出來,，一窩蜂,，所以增長幅度就降低了。 最近的應用越來越多,，所以它發(fā)展速度還是最快,。從技術(shù)的進步來講，把最先進公司的技術(shù)拿來做個比較,，大概得出結(jié)論是這樣,，一年半左右就往前走一代。 14納米進入大生產(chǎn)的時間,，平均在2014年底2015年初,。10納米就是在2016年中,。7納米是去年進入生產(chǎn)，2017年底,。5納米今年夏天進入試生產(chǎn),，明年會大生產(chǎn)。
國際上的進步大概一年半一代,，而中國呢,，目前40納米比較成熟，28納米還不能算完全成熟,。所以我們和國際上差三代,，現(xiàn)在有更加落后的可能，因為國際上進展太快,。 網(wǎng)上傳的說當國際大腕還在開發(fā)10納米和7納米器件時,，中微已宣布率先搞定5納米技術(shù)。寫這個文章的人把芯片器件和設(shè)備混淆起來,，為吸引眼球，夸大宣傳,，這種文風一定要糾正的,。 我們的設(shè)備性能是很好，可以加工5納米器件,，而且我們有雙臺機的設(shè)計,，國外都是一次加工一片，我們有一個很巧妙的設(shè)計,，一次可以加工兩片,，輸出量大，成本低,。 但是只靠刻蝕機是做不出器件的,。其實我們不做器件，我們只做設(shè)備,，然后像臺積電,、中芯國際買我們的設(shè)備去制造芯片，要十種不同的設(shè)備混合作戰(zhàn),，當然刻蝕機是除光刻機以外最關(guān)鍵的設(shè)備,。
臺積電把我們作為五大等離子體刻蝕設(shè)備廠商之一，就是應用材料,、Lam,、東京電子、我們還有一個日立的分公司,。我們勢頭非常好,，但是我們的市場占有率還是很有限的,。還要不斷提高5納米刻蝕應用的市場占有率。我們的前景會很好,。
七 我這解釋一下,，幾個領(lǐng)先的邏輯芯片生產(chǎn)廠家聲稱的10納米或7納米器件，大家計算方法不一樣,，原來一個門,，基本的三極管這樣放，給它一直擠,，大概到11納米就不能擠了,。 這樣擠不下去了怎么辦，立起來做,，這個叫FinFET,，這個新概念，是在膠州大學伯克利分校的教授胡正明提出來的,。但實際上門的長度還是這么大,，并沒小，只是把它方向變了,，再往下走怎么辦,？把它卷成一個卷，這個圈實際上又小了一點,，所以做到14納米以下,，已經(jīng)不是像過去意義上門電路多寬了。 這是他們最領(lǐng)先的技術(shù),，所以他們這樣說,，現(xiàn)在所謂5納米、3納米是一個虛擬的數(shù)字,。沒有一個真正的門是5納米的,。但是我們刻的東西確實有，最小的孔的底部,，差不多你要說10納米,、7納米底部就這么大，還有這個側(cè)墻,，已經(jīng)做得很薄了,，真正做到甚至三納米都有。
現(xiàn)在有人說摩爾定律會失效,，這個我澄清一下,，我是中國大概唯一一個有幸在80年代在英特爾工作時和摩爾和他太太吃過晚飯的人，我們聊了兩個小時,。 我是中國留學生,，最早進入英特爾的,，應該說第二個吧，有一次中國代表團來了以后,，摩爾出來見,，就說我們公司有沒有大陸來的留學生啊，就把我找去了,。 摩爾定律其實不是一個嚴格的定律,，摩爾定律，只是一種設(shè)想,。而且開始講的不是18個月,，原來他說是兩年，后來又有人說是一年,，他還更正了一次,，來回來去。 后來人們傳的就是,，摩爾講的是十八個月,，有兩件事發(fā)生：第一個是堆積的擠壓程度增加了一倍，它的運算速度提高一倍,。后來他還出了澄清說memory和logic不一樣,。所以我不認為摩爾定律是一個定律，它只是一種說法,，而且這個說法后來和實際的發(fā)展速度很接近。說摩爾定律實際是一種商業(yè)炒作,。人們總是希望拿一個東西來炒作,，納米技術(shù)也一樣，原子分子組成我們的現(xiàn)實世界,，為什么要叫納米技術(shù)和微米技術(shù),？
八 中國現(xiàn)在要產(chǎn)業(yè)升級，從制造大國到制造強國,，你仔細想一想,，我們要做的事太多了，但是其實核心的東西并不多,。怎么樣才能成為一個制造強國,？ 我的想法，就是在不多的關(guān)鍵裝備和關(guān)鍵裝置上的突破,。大國重器首先一個就是高端半導體設(shè)備,。 現(xiàn)在投一條線大概是少則50億美金，多則70億美金,，80%的錢都是買設(shè)備,，而且現(xiàn)在95%以上的設(shè)備都是國外的,。所以如果你沒有這個高端設(shè)備的基礎(chǔ)，也就說80%的技術(shù)其實不在我們手里,，都在人家手里,，你只要一臺機器進不來就完蛋了。
還有一個就是宏觀加工的五軸聯(lián)動加工中心,，你看中國有成千上萬的加工廠,，但是買的不是德國就是日本的設(shè)備。高精尖的宏觀加工的母機,，就是五軸聯(lián)動加工,，現(xiàn)在美國都做不好，沒有做出來,，這并不是那么容易做,。但是中國一定要下決心把它做出來。 前面說到光刻機,，光刻機里面那個鏡頭怎么做,？鏡頭做不出，反光碗做不出,，激光源做不出就還是不會做,。然后大飛機里面就是發(fā)動機，做了大飛機殼子,，里面核心的發(fā)動機是買的,，甚至汽車都是這樣，就是城市里跑的車里的引擎和換檔器恐怕百分之八九十都是買的,。
我們現(xiàn)在問題在哪呢,？在國內(nèi)發(fā)展經(jīng)濟有兩個誤導，一個是只要你規(guī)模大就是好公司,，還有一個只要你賺錢就好,，這個觀念一定要改，其實規(guī)模大,、賺錢的公司,，就讓民間做一下，馬云沒有什么政府支持,，直接過幾千億了,。阿里巴巴不會做芯片，也不懂怎么做設(shè)備,，但為什么這么大,？因為他有創(chuàng)新的商業(yè)模式和有力的市場機制，可以發(fā)展起來，不需要政府推動,。 而政府就要推動這些最基礎(chǔ)的大國重器,。有了這個，其他的數(shù)碼產(chǎn)業(yè)什么都有了,，沒這個的話,，就沒有數(shù)碼產(chǎn)業(yè)，就沒有現(xiàn)代經(jīng)濟的發(fā)展,。 其實大國重器能列出來的也就十多個,，你把這十多個做好，中國就是制造強國,。 但是大國重器有三個特點：第一個開發(fā)成本特別高,，少則幾億，十幾億,，多則幾十億,，上百億。第二是開發(fā)周期長,，短則5年10年,，多則幾十年，甚至上百年,。第三是每一個產(chǎn)品都被國際兩三家公司壟斷,，有的甚至一家半。進入門檻特別高,。 目前我們做的設(shè)備有相當關(guān)鍵的零部件還是從外國買的,，而且往往是一個零部件，全世界只有兩家,，有的甚至只有一家能做,。這些店都是百年老店，他盯著一個東西做,。 去年我們和美國大公司打了半年多的官司,，為了什么,？是為了一個大的碳化硅的一個盤子,，這個盤子是石墨底，上面扣那個碳化硅這么大的盤,，很重的,。它在我們的反應器里每分鐘要轉(zhuǎn)1000轉(zhuǎn)。溫度提到1100度,，很高的溫度,，正負1度的溫度，非常苛刻的情況下,，轉(zhuǎn)得非�,？欤厦娣帕撕芏喙杵烷_始沉積,，單晶就長,。 能做這個石墨底物的公司，全世界兩個,。一個就是我們這個德國公司,，在德國做了石墨盤，拿到美國去做碳化硅,，還有就是日本的東洋碳素,，就這么兩個公司能做出高質(zhì)量的石墨。石墨看來誰都會做,。但你做出這種半導體可以用的石墨,，就這么兩家，不是80年就是100年老店,。 那在這樣的特點下,，我們能和他們競爭嗎？毛主席的矛盾論,，講要抓主要矛盾,。如果我們要想把這仗打贏，就要知道主要矛盾在什么地方,。這是我講了十年的,，大聲疾呼的。我們的主要矛盾叫不對稱競爭,。 在上個世紀80年代,，全世界有30個設(shè)備公司，每個公司十幾個人到幾百個人,，很小,，拼了30年以后就剩三四家。現(xiàn)在已經(jīng)不是那個時候,，三個占壟斷地位的設(shè)備公司已經(jīng)大到年銷售百億美元的公司了,。 我們是后起之秀，現(xiàn)在國內(nèi)像我們中微算先進的公司,，和國外同類公司差20倍,，我的研發(fā)也跟他差20倍。在這種情況下怎么去趕上去,，這是一個課題,。首先是公司的規(guī)模不對稱,，然后市場占有不對稱，國內(nèi)外市場不對稱,，還有就是準入門檻不對稱,。你用了美國的設(shè)備20年，突然中國來一個新公司說,，你用我的新設(shè)備,，一般來說是不愿意試用的。
還有人才資源不對稱,，頂尖的專家都在美國,，還有日本和其他地方。
還有就是研發(fā)經(jīng)費的不對稱,，這是最重要的一個不對稱,，每年我們公司閉著眼睛狠命砸錢，一年是3億人民幣,，投資已經(jīng)投了十年了,。那全是虧錢，但是你要不投入就不行,。但是我們的3億只是我們對手的1/20,。 然后專利占有的不對稱，他已經(jīng)地雷陣都布好,，你走哪都踩地雷,。還有國家文化的不對稱，你說你要招外國的一流的人,，他跑到中國來不習慣,，不愿意來。還有呢,，我的機器拿到一些國家去,，思想上就會有一種阻礙，他對美國人最信,，對美國人服氣,，對日本人都不是很服氣。那為什么要用你的中國的哪,？ 創(chuàng)業(yè)發(fā)展環(huán)境不對稱,，這是一系列的政策問題了。我舉個簡單例子,，我到英特爾工作三個月拿到綠卡,，我回國了14年還沒拿到,，連我都沒拿到,，還是門外漢，這就是一個產(chǎn)業(yè)環(huán)境的問題。 所以這么多的問題就是一個不對稱,，在不對稱競爭下的策略,，和在對稱競爭下的策略完全不一樣，對稱競爭是靠你公司單打獨斗,，自立自強,，可是不對稱，在這樣的情況下,，光靠商業(yè)運作,，光靠一個公司的單打獨斗是絕對不行的。
像我們公司一年投3億,，你剛開始啟動的時候,，一分錢賺不來的時候，你三億從哪來,？你要一年行要兩年行,，你要五年十年人給你3億，我現(xiàn)在已經(jīng)融錢快50億了,，就像求爺爺告奶奶,，那真是很艱苦，所以怎么辦,？只有這個辦法可以解決,，就是國家的戰(zhàn)略推動和宏觀推動，和企業(yè)的自立自強要結(jié)合,。 只有這個機制能夠走下去,。但這要避免兩個趨勢，一個是國家的介入和推動把企業(yè)搞成國企,，缺乏靈活機動性,，但要全靠各個公司單打獨斗，你也根本就不是人家的對手,。所以這里最巧妙的是找到一種折中的方案,，既要有國家的大力支持，又要使得公司有相當靈活機動,。 毛澤東朱德在井岡山只有1000多人,，土槍土炮沒飯吃，22年統(tǒng)一全中國,。那絕對是最不對稱的競爭,，國民黨武裝到牙齒，日本也是,，怎么打贏了呢,，所以我一直用這個比,，我說我們比那時候好多了，就是能贏的,，但是要有這個,，就是國家的推動重點支持和企業(yè)的競爭力發(fā)展要緊密結(jié)合起來。 這里就牽涉到所有制的問題,，政策問題,，環(huán)境產(chǎn)業(yè)人才吸引的問題，我就提出這樣的概念,，一個產(chǎn)業(yè)就像一個鼎,，中國半導體產(chǎn)業(yè)的跨越發(fā)展這個鼎，需要三個腿來支撐,，就是要有資金,、人才和政策三個腿。 這三個腿有兩個條件,，第一,，三個腿都非常強，強有力,。第二個很重要的,，這三個腿必須平衡，不能一個腿很強,，另外一個腿很弱,。 資金里面就是三種，股本金,，還有低息貸款和研發(fā)資助,，一定要到位。 人才上,，國際人才,、國內(nèi)人才和領(lǐng)軍人才一定要到位。 政策上呢,，就是所有制的問題要解決,，投融資政策，進出口政策,、所得稅政策,、勞動法政策、本土化政策,、上市政策都需要升級,。 而我們回國研究十幾年，這一系列的政策都停留在一個引進技術(shù)來料加工的階段,，這對于一個國際大公司在中國運營是最能推動的,，但是對于自主創(chuàng)新,，創(chuàng)業(yè)發(fā)展，有很多的要改,，要升級。如果不升級的話,，中國的這個大國重器搞起不來,。
九 說到所有制的問題，在我國認為有錢就可以買公司股票當股東,，如果員工想得到公司股票,，對不起，拿同樣價錢買,，上市不能超過200人有公司股票,。而且公司激勵員工發(fā)的期權(quán)是不能上市的，員工一定要拿錢買成實股才能上市,。 概念的本質(zhì)就是承認只有資本是可以創(chuàng)造公司價值的,，但這是違反馬列主義的基本原理的。因為《資本論》講的是這個世界的財富,、價值是勞動創(chuàng)造的,，包括資本也是勞動創(chuàng)造的。 作為公司來講,，公司價值兩部分,，一部分資本投入叫有錢出錢，還有一部分就是創(chuàng)新,，人的勞動創(chuàng)造出來的價值叫有力出力,。 所以正確地用馬克思主義的理論來講，公司價值兩部分,，一部分是錢產(chǎn)生的價值,，一部分是勞動創(chuàng)造的價值，應該是錢創(chuàng)造的價值給你股票,，而勞動創(chuàng)造的價值給你期權(quán),。除了給你工資，剩余勞動創(chuàng)造價值的一部分變成一個期權(quán),，回饋給員工,。 所以在美國硅谷最先進的制度，是全員持股制,，投資的人有股票,，而出力的人有期權(quán)，期權(quán)經(jīng)過幾年的變化就自動變成股權(quán),，你可以拿出去賣跟股權(quán)一樣,。 而我國中認為只有有錢的人才可以拿股票當股東,，對員工和管理層來說，你要想拿到股票,，對不起和股東一樣要拿錢買,，而認為即使期權(quán)也只是一種增加員工收入的激勵而已。這概念是錯的,，這個實際上是只承認資本價值的資本主義,。 而美國的硅谷早已經(jīng)實行了期權(quán)激勵的全員持股的集體所有制了。我在一開始的時候剛剛拿到博士,，參加英特爾時還是中級工程師,，就給我每年幾百股期權(quán)，不需要拿錢買,，四年以后就變成你的了,，然后你拿到股票市場就可以賣了。 然后我到Lam Research已經(jīng)是一個產(chǎn)品開發(fā)的資深經(jīng)理了,，每年給我2000股期權(quán),，然后到應用材料公司做到VP時候每年是2萬股。 這三個公司從第一天就是全員持股的,，別的公司后來為什么倒掉了呢,？因為從第一天開始就是老板說了算，老板占很大股份,，沒有員工期權(quán)激勵,。為什么現(xiàn)在這三個公司變成這個領(lǐng)域世界最大的公司，因為所有制比較先進,。 我之前給大家開過玩笑,，說我曾經(jīng)犯了一個很大的錯誤，應用材料公司把我從Lam拉去,，給了我6000股,，我沒把它當回事，漲了兩三倍就賣掉了,。后來1股分成64股,，每股235美金，6000股就相當于8000萬美金,。所以說大家有這個夢想,，才到一個小公司去，做大了然后上市,。 現(xiàn)在我們就是全員持股制,，而且我們比全員持股比硅谷做得還徹底。我們工資和股票的曲線，紅的是工資,，每一級差10%,，藍的是期權(quán)，每一級差20%,，帶有非常平均的社會主義色彩,，連開車和看門的都有股票，我只有公司不到百分之一的股票,。期權(quán)是很低的,。 十幾年前，我們的管理曾和員工占公司股份33%,，現(xiàn)在占20%,，早期參加的員工承擔了很大的風險,，給的股也多,，股價也低。 你看我們加工出來的存儲元件形狀,，有著很復雜的微觀結(jié)構(gòu),，這是邏輯線路的形狀，這是存儲元件的形狀,。 我們現(xiàn)在一共是五大產(chǎn)品,，總的來講情況還比較好。這個前面三個產(chǎn)品比較成熟,，第一個就是CCP電容性等離子體介質(zhì)刻蝕機,，這也是最難做的。這種刻蝕機全世界的市場是200億人民幣,，相當于30億美金,。這個市場比較大，我們已經(jīng)成為國際三強,。 第二個設(shè)備是傳感器的刻蝕機,，不僅僅在大家的手機上，而且在照相機,、耳機,、指紋識別器都有應用，包括無人駕駛汽車,。這個市場并不大,，全世界的市場每年大約是30億人民幣。這方面我們已經(jīng)做成了國際最強設(shè)備,。國際上最強的兩家做傳感器的,，一個是德國的博世，還有一個是意法半導體,，他們都用我們的設(shè)備,。 然后MOCVD,，這個市場也不大，只有30億人民幣的市場,，這個已經(jīng)成為國際上的前兩強,。還有兩個產(chǎn)品，這個ICP電感性等離子體刻蝕機技術(shù)是我1987年在Lam首先開發(fā)的,，現(xiàn)在已經(jīng)有三百億人民幣的總市場,，我們這個產(chǎn)品已經(jīng)進入市場，希望我們能在最近三五年有很大的收獲,。 我們還有一個副產(chǎn)品是做空氣凈化器的,，因為在一般的工業(yè)上存在嚴重的空氣污染的問題。
十 另外我們公司還有一個特點是,，是中國唯一的一家公司,，11年來一直和美國三大公司打官司沒斷過，而且每次打得很兇險,。 網(wǎng)上對我們有誤解,，對我們的報道有一段是錯的，說我們從美國回來之前,，美國國安局搜查我們的文件,，沒收了600萬件等等都是誤傳。其實我們回來他們沒有采取任何行動,。 到2004年回國的時候,，我們非常的小心，每個人都要簽字畫押,，不能帶回任何文件,，數(shù)據(jù)和設(shè)計圖紙。 在我們回國之前就出了一件大事,，一個大陸留學生和一個臺灣留學生在硅谷做PC機的生產(chǎn)的,，想回國做一個PC機公司，就從原公司拿了一些圖紙,，還有一些零部件,，從舊金山要坐飛機回國了。 實PC在我們的眼里是買芯片弄個殼子裝起來就行,，現(xiàn)在高中生就可以裝PC的,。結(jié)果他們公司發(fā)現(xiàn)他拿了東西，就報告了國安局,，國安局就在門口等他,，出境時被抓到了。 據(jù)說要判很多年徒刑。所以我想我們這么十幾個都是最頂尖的專家回來,，搞的不是PC而是高端設(shè)備,，風險很大。所以我們就特別小心,，所有的人所有的電腦,、U盤全都不讓帶，我們做的很嚴格,，很守法,，每人都簽字畫押，宣誓不帶什么東西,。 我們對競爭者的3000多個專利做了深入的分析,，確保我們的設(shè)計不會侵犯任何人的專利。 對我們自己獨特的的設(shè)計,，也申請了1000多個專利,。我們還對競爭對手可能在哪些方面向我們發(fā)難也做了充分的準備。然而到了3年以后我們做出很了很好的設(shè)備,，開始要打入國際最先進的生產(chǎn)線了,。 這時候美國的老東家就開始坐不住了,，所以就跑到美國聯(lián)邦法院就告我個人和公司,。理由就是說你們30多人從應用材料公司來的，這么短時間做出一個好的設(shè)備,，一定是用了原公司的商業(yè)機密技術(shù),。 這基本就是一個邏輯的訴訟，不需要證據(jù)的,。在美國沒有證據(jù)也可以告,，但是我們就要證明我們是清白。怎么證明呢,？我要請美國一流的律師來查我所有的文件,。是我們雇了律師查我們自己600多萬件文件和30多人的PC機和辦公室，不是美國政府查我的,，這個現(xiàn)在要澄清這個事,。 我們請了MOFO是美國最好的專利律師，我們請了美國十大專利律師之一,。我們一定要請一流的,，因為我不敢請二流，萬一打輸了怎么辦,？ 我們把我們公司這三年來所有的那個電腦系統(tǒng)的軟件全來徹查,，有沒有發(fā)現(xiàn)原公司的技術(shù)圖紙。32人的辦公室，所有的文件都查,，每個人的PC都要查,。這是一個誠信系統(tǒng)，美國原公司也是這樣,，全公司都要查有沒有中微的東西,，是對等的查。 結(jié)果查了兩年半,。光是我們付律師費,，看我們自己的文件，就花了2500萬美金,。由于我們沒有任何有關(guān)對方的圖紙,，工藝配方和數(shù)據(jù)，所以后來就和他們和解了,，官司不打了,，還說以后要合作了。 如果查實一個人拿了什么關(guān)鍵的技術(shù)圖紙,，那肯定是要治罪的,，作為法人代表，我也是有罪責的,。這次的較量再一次的說明了“打鐵還得自身硬“,。必須重視知識產(chǎn)權(quán)，商業(yè)機密,，要遵守我國的法律,，也要遵守美國的法律，就能處于不敗之地,。
作 者：尹志堯 圖 片：視覺中國 來 源：科工力量（ID：guanchacaijing）
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發(fā)表于 2018-8-31 09:55:19
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