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自動清潔cmos的方法討論,!

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1#
發(fā)表于 2019-3-25 19:05:29 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
本帖最后由 sf-1224 于 2019-3-25 19:13 編輯

大家好,最近碰到一個自動清潔cmos的難題,,請熟悉此工藝的工程師幫忙支支招,,謝謝!詳細(xì)下面表述:
背      景:一個類似照相機(jī)的設(shè)備,,在無塵室進(jìn)行裝配,,其中有個清潔cmos的工藝。
清潔要求:a.無明顯劃痕,、臟污或者點(diǎn)塵,;b.不損傷器件
現(xiàn)有工藝:清潔→檢測。人工用棉簽/細(xì)纖維無塵布蘸無水乙醇(≥99.7%)清潔,,再用10倍顯微鏡觀察效果,。效果不錯!
問       題:如何實(shí)現(xiàn)自動化,?有沒有更好的方式清潔,?如何檢測?
目前方案:利用清潔機(jī)構(gòu)+細(xì)纖維無塵布(H009 6"*6")+無水乙醇/純水的方式清潔,;CCD檢測,。(不知道靠不靠譜,能不能達(dá)到10倍顯微鏡的放大效果,?)
方案說明:產(chǎn)品上方放置一個移動平臺,,串行完成清潔、抽塵和檢測工作,。注:此方案目前在考慮階段,,還有很多不足,請大家輕拍,!

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清潔工位示意圖

清潔工位示意圖

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方案

方案

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半自動驗(yàn)證2

半自動驗(yàn)證2

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半自動驗(yàn)證

半自動驗(yàn)證

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人工清潔示意

人工清潔示意

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產(chǎn)品放大10倍

產(chǎn)品放大10倍

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2#
發(fā)表于 2019-3-26 09:33:13 | 只看該作者
沒接觸過,,頂一下,!
3#
發(fā)表于 2019-3-26 11:15:00 | 只看該作者
個人愚見哈:
1.那個產(chǎn)品不是透明或半透明的吧,CCD檢測估計(jì)前面要裝個放大鏡才行(這個是個風(fēng)險(xiǎn),,可以簡單的只弄這部分讓軟件的測試一下效果),。如果檢測的背面能加反光燈,就能檢測比頭發(fā)絲還小的小點(diǎn),。主要看塵埃和產(chǎn)品那個面的顏色反差大不大,,如果很接近的話,那就比較不好檢測到,。
2.無水乙醇擦拭后揮發(fā)速度是否大于你產(chǎn)品移動速度,,否則要烘/吹干,在進(jìn)入檢測,。
3.能不能產(chǎn)品動,,無塵布袋整個裝置不動,分為一次和二次清潔,,主要考慮產(chǎn)品在輸送線上的夾緊和定位了(看不清你整個產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)咋樣的,,個人愚見)。
4#
發(fā)表于 2019-3-26 19:15:24 | 只看該作者
產(chǎn)品比較小,,定位輸送要設(shè)計(jì)的穩(wěn)妥一些,,精度穩(wěn)定性要著重考慮!
5#
 樓主| 發(fā)表于 2019-3-26 20:06:19 | 只看該作者
|執(zhí)★著發(fā)表于 03-26 11:15個人愚見哈:<br>
1.那個產(chǎn)品不是透明或半透明的吧,,CCD檢測估計(jì)前面要裝個放大鏡才行(這個是個風(fēng)險(xiǎn),,可以簡單的只弄這部分讓軟件的測試一下效果)。如果檢測的背面能加反光燈,,就能檢測比頭發(fā)絲還小的小點(diǎn),。主要看塵埃和產(chǎn)品那個面的顏色反差大不大,如果很接近的話,,那就比較不好檢測到,。<br>
2.無水乙醇擦拭后揮發(fā)速度是否大于你產(chǎn)品移動速度,,否則要烘/吹干,,在進(jìn)入檢測。<br>
3.能不能產(chǎn)品動,,無塵布袋整個裝置不動,,分為一次和二次清潔,主要考慮產(chǎn)品在輸送線上的夾緊和定位了(看不清你整個產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)咋樣的,,個人愚見),。<br>
謝謝你建議.1.產(chǎn)品為不透明,這個加放大鏡的方法還是要測試看效果的,!2.速干基本得2S,,這個提醒的好,!3.產(chǎn)品動,倒是個不錯的選擇,!可以考慮,,謝謝!
6#
 樓主| 發(fā)表于 2019-3-26 20:09:42 | 只看該作者
|遠(yuǎn)祥發(fā)表于 03-26 19:15產(chǎn)品比較小,,定位輸送要設(shè)計(jì)的穩(wěn)妥一些,,精度穩(wěn)定性要著重考慮!
這個在樣機(jī)上試過了,,謝謝提醒,!
7#
發(fā)表于 2021-4-26 00:06:11 | 只看該作者
請問下這個清潔裝置效果怎么樣?尺寸有多大,?在非無塵室環(huán)境可行嗎,?謝謝!
8#
發(fā)表于 2021-5-7 09:23:09 | 只看該作者
請問下這個清潔裝置效果怎么樣,?尺寸有多大,?在非無塵室環(huán)境可行嗎?謝謝,!
9#
 樓主| 發(fā)表于 2021-5-11 17:34:05 | 只看該作者
本帖最后由 sf-1224 于 2021-5-11 17:37 編輯
舒恩Schun 發(fā)表于 2021-5-7 09:23
請問下這個清潔裝置效果怎么樣,?尺寸有多大?在非無塵室環(huán)境可行嗎,?謝謝,!

1.目前這個方案還沒有推進(jìn),主要問題是清潔合格標(biāo)準(zhǔn)沒有明確,。目前用3D相機(jī)是可以檢測灰塵的(0.02mm大�,。�
2.非無塵室一般不適合裝sensor吧,!會有很多灰塵掉落,,我覺得擦不干凈的啊,!
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