關(guān)于真空腔室與進(jìn)入氣體流量不穩(wěn)定的問題

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) |8 U6 u; S5 X2 ]4 w. J* V6 k% H各位大俠：
0 f! _: n8 `" G2 W/ r9 G       最近碰到一個很棘手的問題難以解決，在這里請教各位大大,。
       我們的技術(shù)是低溫等離子體,，是在真空腔里到達(dá)我需要的真空度后進(jìn)氣放電這么一個過程,。（我們進(jìn)的氣是氨氣）
       但現(xiàn)在遇到的情況是在運行十幾次正常放電后，突然不進(jìn)氣就放電了,，比如正常我是40pa的時候通過質(zhì)量流量控制器進(jìn)氣,，達(dá)到75pa時放電。后來40pa進(jìn)氣,，就直接40pa放電,，但流量計反饋的是進(jìn)了氣的。（這個是我裝了質(zhì)量流量控制器的問題）
       后來我就把質(zhì)量流量計換成了轉(zhuǎn)子流量計，出現(xiàn)了一個新問題,。正常情況下到40pa的時候進(jìn)氣,，我給轉(zhuǎn)子流量計設(shè)定的值是9然后放電，但運行幾次后流量計上的數(shù)值就下降到8,，在運行幾次到7,，慢慢下降最后導(dǎo)致我不能放電。
, m+ X( p+ e0 {; g       這些問題我也咨詢過廠家的一些人都不清楚這個情況,，我也是第一次碰到這個情況,。
' ?3 u( R, B. t) W# m       在這里有沒有專業(yè)人士給我解答下的     謝謝了
        還有就是我的腔體里面四周有四氟板和高硼硅玻璃加工件，再加2個不銹鋼電極,，我現(xiàn)在有點懷疑是真空腔內(nèi)結(jié)構(gòu)的問題,。如果有專業(yè)真空的大大遇到過這個情況的麻煩教我下。在這里謝謝了
        
   

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