關(guān)于真空腔室與進(jìn)入氣體流量不穩(wěn)定的問題

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各位大俠：
       最近碰到一個很棘手的問題難以解決,，在這里請教各位大大。
       我們的技術(shù)是低溫等離子體,，是在真空腔里到達(dá)我需要的真空度后進(jìn)氣放電這么一個過程,。（我們進(jìn)的氣是氨氣）
: l! U! t) t# O3 |' l* v# n1 N* \1 n       但現(xiàn)在遇到的情況是在運(yùn)行十幾次正常放電后，突然不進(jìn)氣就放電了,，比如正常我是40pa的時候通過質(zhì)量流量控制器進(jìn)氣,，達(dá)到75pa時放電。后來40pa進(jìn)氣,，就直接40pa放電,，但流量計反饋的是進(jìn)了氣的。（這個是我裝了質(zhì)量流量控制器的問題）
       后來我就把質(zhì)量流量計換成了轉(zhuǎn)子流量計,，出現(xiàn)了一個新問題,。正常情況下到40pa的時候進(jìn)氣,，我給轉(zhuǎn)子流量計設(shè)定的值是9然后放電，但運(yùn)行幾次后流量計上的數(shù)值就下降到8,，在運(yùn)行幾次到7,，慢慢下降最后導(dǎo)致我不能放電。
       這些問題我也咨詢過廠家的一些人都不清楚這個情況,，我也是第一次碰到這個情況,。
       在這里有沒有專業(yè)人士給我解答下的     謝謝了
) ?+ j- T! P# i" x/ V7 n1 ]7 T        還有就是我的腔體里面四周有四氟板和高硼硅玻璃加工件，再加2個不銹鋼電極,，我現(xiàn)在有點(diǎn)懷疑是真空腔內(nèi)結(jié)構(gòu)的問題,。如果有專業(yè)真空的大大遇到過這個情況的麻煩教我下。在這里謝謝了
        
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